Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 39 стр.

                              39

ном элементе, пропорциональная рельефу поверхности, записыва-
ется в память компьютера. Затем зонд возвращается в исходную
точку и переходит на следующую строку сканирования (кадровая
развертка), и процесс повторяется вновь. Записанный таким обра-
зом при сканировании сигнал обратной связи обрабатывается ком-
пьютером, и затем СЗМ изображение рельефа поверхности
Z = f ( x, y ) строится с помощью средств компьютерной графи-
ки. Наряду с исследованием рельефа поверхности, СЗМ позволяют
изучать различные свойства поверхности: механические, электри-
ческие, магнитные, оптические и многие другие.
     Информация, полученная с помощью СЗМ, хранится в виде
двумерного массива целых чисел aij (матрицы). Физический смысл
данных чисел определяется той величиной, которая оцифровыва-
лась в процессе сканирования. Каждому значению пары индексов ij
соответствует определенная точка поверхности в пределах поля
сканирования. Как правило, такие массивы чисел представляют со-
бой квадратные матрицы, имеющие размер 256×256 или 512×512
элементов. Визуализация СЗМ данных производится средствами
компьютерной графики, в основном, в виде трехмерных и двумер-
ных яркостных (или цветовых) изображений. В последнем случае
яркость или цвет однозначно связаны с представляемой величиной
в данной точке поверхности.
     Локальные СЗМ измерения, как правило, сопряжены с реги-
страцией зависимостей исследуемых величин от различных па-
раметров. Например, это зависимости величины электрического
тока через контакт зонд-поверхность от приложенного напряже-
ния, зависимости различных параметров силового взаимодейст-
вия зонда и поверхности от расстояния зонд-образец и др. Данная
информация хранится в виде векторных массивов. Для их визуа-
лизации в программном обеспечении микроскопов предусматри-
вается набор средств представления графиков функций.
     СЗМ изображения, наряду с полезной информацией, содержат
также много побочной информации, искажающей данные о морфо-
логии и свойствах поверхности. Искажения в СЗМ изображениях
поверхности, обусловлены неидеальностью аппаратуры и внешни-
ми паразитными воздействиями.