Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 38 стр.

                               38

цом. На рис. 10 схематично показан общий принцип организации
обратной связи СЗМ




       Рис.10. Схема организации системы обратной связи
                     зондового микроскопа
      Система обратной связи поддерживает значение параметра P
постоянным, равным величине P0 , задаваемой оператором. Если
расстояние зонд – поверхность изменяется (например, увеличива-
ется), то происходит изменение (увеличение) параметра P .
      В системе ОС формируется разностный сигнал, пропорцио-
нальный величине ∆P = P − P0 , который усиливается до нужной
величины и подается на исполнительный элемент ИЭ. Исполни-
тельный элемент отрабатывает данный разностный сигнал, при-
ближая зонд к поверхности или отодвигая его до тех пор, пока раз-
ностный сигнал не станет равным нулю. Таким образом можно
поддерживать расстояние зонд-образец с высокой точностью. В
существующих СЗМ точность удержания расстояния зонд-
поверхность достигает величины ~0.001 нм. При перемещении
зонда вдоль поверхности образца происходит изменение параметра
взаимодействия P , обусловленное рельефом поверхности. Систе-
ма ОС отрабатывает эти изменения, так что при перемещении зон-
да в плоскости X , Y сигнал на исполнительном элементе оказыва-
ется пропорциональным рельефу поверхности. При сканировании
зонд вначале движется над образцом вдоль определенной линии
(строчная развертка), при этом величина сигнала на исполнитель-