Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 52 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

МИРЭА | Москва

Составители: 

Рубрика: 

52
Рис.12. СЗМ головка Solver P47H с винтами регулировки поло-
жения лазерного луча и четырехсекционного фотодиода
Настроить частоту генератора, возбуждающего колебания
кантилевера на резонансную частоту последнего.
Установить значение «Set point» равное приблизительно 50%
от значения «MAG» в отведенном состоянии.
Запустить процедуру автоматического подвода образца к зон-
ду. Процедура автоматического подвода начинается при нажатии
кнопки «Landing». При этом включается шаговый двигатель, кото-
рый начинает перемешать образец в направлении зонда. Одновре-
менно происходит автоматическое включение обратной связи. В ре-
зультате включения обратной связи пьезосканер (а вместе с ним и
зонд) выдвинется на максимальную величину по оси
Z
в направле-
нии образца. В исходном состоянии зонд находится на достаточно
большом расстоянии от образца (около 1 мм) по сравнению с вели-
чиной максимально возможного перемещения пьезосканера (около
2 микрон) по оси
Z
. Хотя зонд и приближается к зонду в результате
полного выдвижения сканера, расстояние между зондом и образцом
остается еще достаточно большим для того, чтобы между ними воз-
никло какое-либо взаимодействие. Поэтому уровень текущего сиг-
нала «MAG» не меняется, разница между уровнем «MAG» и «Set 
                               52




 Рис.12. СЗМ головка Solver P47H с винтами регулировки поло-
    жения лазерного луча и четырехсекционного фотодиода
     Настроить частоту генератора, возбуждающего колебания
кантилевера на резонансную частоту последнего.
     Установить значение «Set point» равное приблизительно 50%
от значения «MAG» в отведенном состоянии.
     Запустить процедуру автоматического подвода образца к зон-
ду. Процедура автоматического подвода начинается при нажатии
кнопки «Landing». При этом включается шаговый двигатель, кото-
рый начинает перемешать образец в направлении зонда. Одновре-
менно происходит автоматическое включение обратной связи. В ре-
зультате включения обратной связи пьезосканер (а вместе с ним и
зонд) выдвинется на максимальную величину по оси Z в направле-
нии образца. В исходном состоянии зонд находится на достаточно
большом расстоянии от образца (около 1 мм) по сравнению с вели-
чиной максимально возможного перемещения пьезосканера (около
2 микрон) по оси Z . Хотя зонд и приближается к зонду в результате
полного выдвижения сканера, расстояние между зондом и образцом
остается еще достаточно большим для того, чтобы между ними воз-
никло какое-либо взаимодействие. Поэтому уровень текущего сиг-
нала «MAG» не меняется, разница между уровнем «MAG» и «Set

Страницы