Получение и исследования наноструктур. Вальднер В.О - 53 стр.

                              53

Point» остается большой. Выдвижение сканера регистрируется по
показаниям аналогового индикатора удлинения сканера.
     Выбрать с помощью оптической системы участок сканирова-
ния.
     Настроить параметры сканирования: значение «Set Point» -
около 50% от значения «MAG» в отведенном состоянии, область
сканирования 2микрона на 2 микрона, количество точек 512×512,
частота сканирования 0.5 - 0.75Гц.
     Запустить сканирование, подбирая, при необходимость пара-
метры сканирования для получения наиболее качественного изо-
бражения. Получить изображение поверхности тестового образца.
     Отвести с помощью шагового двигателя образец от зонда на
расстояние 0.5 -1мм, снять СЗМ головку с основания.
     Снять магнитный держатель образца с основания СЗМ.
     Заменить тестовый образец на образец, полученный при вы-
полнении лабораторной работы Н-1 «Получение двумерных нано-
структур методом анодного травления» и повторить этапы 6-19
выполнения работы.
     После получения АСМ изображений сохранить их в файле
для дальнейшей обработки.
     Снять образец и выключить прибор (контроллер СЗМ выклю-
чается тумблером, находящимся на нем).
     Обработать АСМ изображения тестового образца и образца,
полученного при выполнении лабораторной работы Н-1 «Получе-
ние двумерных наноструктур методом анодного травления».
          Обработка и представление результатов
     1.В отчете представить:
     -АСМ изображение тестового образца;
     -АСМ изображение образца, полученного при выполнении
лабораторной работы Н-1 «Получение двумерных наноструктур
методом анодного травления».
     Изображения должны быть представлены в одинаковых мас-
штабах.
     2.Используя АСМ изображения, определить средний размер
пор и среднее расстояние между порами для обоих образцов.