Методы расчета ионно-имплантированных структур. Быкадорова Г.В

UptoLike

Методы расчета ионно-имплантированных структур. Быкадорова Г.В

РЕШЕНИЕ (файл) вывод, красное-белое: 

Читать

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Дисциплина: 

ВГУ | Воронеж - ВМиММ

Составители: 

Формат файла: 

PDF

Ключевые слова: 

  • методические указания

Количество страниц: 

25
Источник файла
В данных методических указаниях рассмотрены методы расчета концентрационных профилей и электрофизических параметров полупроводниковых структур, полученных ионной имплантацией. Каждый раздел содержит физическую и математическую модели технологического процесса, задания и контрольные вопросы. Для ряда типовых задач приведены решения с соответствующим программным обеспечением, написанным на языке Паскаль и ориентированным на использование персональных компьютеров типа IBM. Методические указания предназначены для проведения аудиторных занятий и самостоятельной работы студентов физического факультета 4 и 5 курсов по специальности "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы", а также студентов 6 курса, обучающихся в магистратуре по направлению "Физика" (специализация "Полупроводниковые приборы и микроэлектроника") при изучении спецкурсов "Математическое моделирование технологических процессов в микроэлектронике", "Физические основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных схем", "Физические основы микроэлектроники и нано электроники".

Рекомендуемые учебно-методические материалы

Численные методы обработки данных в системе Mathcad. Радченко Ю.С
Просмотреть (PDF)
Радченко Ю.С., Захаров А.В
Радченко Ю.С., Захаров А.В Численные методы обработки данных в системе Mathcad: Практикум. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2004. - 31 с.
Вычислительные методы обработки и планирования экспериментов. Радченко Ю.С
Просмотреть (PDF)
Радченко Ю.С., Овчинникова Т.М.
Радченко Ю.С., Овчинникова Т.М. Вычислительные методы обработки и планирования экспериментов: Лабораторный практикум. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2000. - 35 с.
Практикум по численным методам и математическому моделированию. Радченко Ю.С
Просмотреть (PDF)
Радченко Ю.С., Бутейко В.К., Захаров А.В.
Радченко Ю.С., Бутейко В.К., Захаров А.В. Практикум по численным методам и математическому моделированию. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2002. - 32 с.
Компьютерный практикум по методам математической физики с использованием системы Mathematica. Уравнения в частных производных и интегральные уравнения. Дорофеев Д.Л
Просмотреть (PDF)
Дорофеев Д.Л., Долгих А.В., Чернов В.Е., Артыщенко С.В.
Дорофеев Д.Л., Долгих А.В., Чернов В.Е., Артыщенко С.В. Компьютерный практикум по методам математической физики с использованием системы Mathematica. Уравнения в частных производных и интегральные уравнения: Учебно-методическое пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2008. - 28 с.
Численное интегрирование и дифференцирование. Трофимов В.П.
Просмотреть (PDF)
Трофимов В.П.
Трофимов В.П. Численное интегрирование и дифференцирование: Учебно-методическое пособие по курсу "Методы вычислений". - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2002. - 25 с.
Оптимальное управление процессами, описываемыми уравнениями теплопроводности. Куликов А.А
Просмотреть (PDF)
Куликов А.А., Астахов А.Т.
Куликов А.А., Астахов А.Т. Оптимальное управление процессами, описываемыми уравнениями теплопроводности: Методическое пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2003. - 23 с.
Избранные вопросы курса численных методов. Выпуск VII. Одношаговые методы решения задачи Коши. Гудович Н.Н.
Просмотреть (PDF)
Гудович Н.Н.
Гудович Н.Н. Избранные вопросы курса численных методов. Выпуск VII. Одношаговые методы решения задачи Коши: Учебное пособие. - Воронеж: ИПЦ ВГУ, 2002. - 31 с.
Смешанные задачи для уравнения теплопроводности и уравнения колебаний. Куликов А.А.
Просмотреть (PDF)
Куликов А.А.
Куликов А.А. Смешанные задачи для уравнения теплопроводности и уравнения колебаний: Учебно-методическое пособие. - Воронеж: ИПЦ ВГУ, 2007. - 67 с.
Избранные вопросы курса численных методов. Выпуск 3. Интерполяция кубическими сплайнами. Гудович Н.Н.
Просмотреть (PDF)
Гудович Н.Н.
Гудович Н.Н. Избранные вопросы курса численных методов. Выпуск 3. Интерполяция кубическими сплайнами. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2002. - 36 с.
Моделирование фазированных антенных решеток в миллиметровом диапазоне. Часть 4. Струков И.Ф
Просмотреть (PDF)
Струков И.Ф., Радченко Ю.С.
Струков И.Ф., Радченко Ю.С. Моделирование фазированных антенных решеток в миллиметровом диапазоне. Часть 4: Учебное пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2005. - 39 с.
Моделирование процессов и устройств в частотной области в системе Mathcad. Радченко Ю.С
Просмотреть (PDF)
Радченко Ю.С., Коробова А.Д.
Радченко Ю.С., Коробова А.Д. Моделирование процессов и устройств в частотной области в системе Mathcad: Учебное пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2006. - 47 с.
Специальный курс "Математические модели в гидродинамике". Глушко А.В
Просмотреть (PDF)
Глушко А.В., Глушко В.П.
Глушко А.В., Глушко В.П. Специальный курс "Математические модели в гидродинамике": Учебно-методическое пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2003. - 39 с.
Математическое моделирование случайных величин: Практическое пособие к курсу "Пакеты прикладных программ". Голуб В.А
Просмотреть (PDF)
Голуб В.А., Жукова Т.М., Соколова М.А
Голуб В.А., Жукова Т.М., Соколова М.А Математическое моделирование случайных величин: Практическое пособие к курсу "Пакеты прикладных программ". - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2005. - 27 с.
Математические модели неньютоновских жидкостей. Звягин В.Г
Просмотреть (PDF)
Звягин В.Г., Воротников Д.А.
Звягин В.Г., Воротников Д.А. Математические модели ньютоновских жидкостей: Учебное пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2004. - 43 с.
Моделирование экономических процессов. Учебное пособие. Баева Н.Б.
Просмотреть (PDF)
Баева Н.Б.
Баева Н.Б. Моделирование экономических процессов: Учебное пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2003. - 28 с.
Численное решение нестационарных краевых задач математической физики. Куликов А.А.
Просмотреть (PDF)
Куликов А.А.
Куликов А.А. Численное решение нестационарных краевых задач математической физики: Методическое пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2002. - 44 с.
Методы математической обработки данных психолого-педагогического исследования. Зыкова Н.Ю
Просмотреть (PDF)
Зыкова Н.Ю., Лапкова О.С., Хлоповских О.С.
Зыкова Н.Ю., Лапкова О.С., Хлоповских О.С. Методы математической обработки данных психолого-педагогического исследования: Учебное пособие для вузов. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2008. - 84 с.
Математическое моделирование и компьютерный эксперимент. Артемов М.А
Просмотреть (PDF)
Артемов М.А., Коржов Е.Н.
Артемов М.А., Коржов Е.Н. Математическое моделирование и компьютерный эксперимент: Методическое пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2001. - 39 с.
Применение метода конечных элементов в механике сплошных сред. Вервейко Н.Д
Просмотреть (PDF)
Вервейко Н.Д., Семыкина Т.Д., Гребенников Д.Ю., Яковлев А.Ю.
Вервейко Н.Д., Семыкина Т.Д., Гребенников Д.Ю., Яковлев А.Ю. Применение метода конечных элементов в механике сплошных сред: Учебно-методическое пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2003. - 51 с.
Расчет конструкций за пределами упругости. Иванищева О.И
Просмотреть (PDF)
Иванищева О.И., Семыкина Т.Д., Щеглова Ю.Д.
Иванищева О.И., Семыкина Т.Д., Щеглова Ю.Д. Расчет конструкций за пределами упругости: Учебно-методическое пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2004. - 27 с.
Численные методы. Решения систем линейных алгебраических уравнений. Трофимов В.П.
Просмотреть (PDF)
Трофимов В.П.
Трофимов В.П. Численные методы. Решения систем линейных алгебраических уравнений: Учебно-методическое пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2004. - 35 с.
Избранные вопросы курса численных методов. Выпуск 2. Многочлен Ньютона. Гудович Н.Н.
Просмотреть (PDF)
Гудович Н.Н.
Гудович Н.Н. Избранные вопросы курса численных методов. Выпуск 2. Многочлен Ньютона. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2002. - 28 с.
Избранные вопросы курса численных методов. Выпуск 4. Численное интегрирование. Гудович Н.Н.
Просмотреть (PDF)
Гудович Н.Н.
Гудович Н.Н. Избранные вопросы курса численных методов. Выпуск 4. Численное интегрирование. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2002. - 36 с.
Численные методы решения обыкновенных дифференциальных уравнений. Трофимов В.П.
Просмотреть (PDF)
Трофимов В.П.
Трофимов В.П. Численные методы решения обыкновенных дифференциальных уравнений: Методические указания по курсу "Методы вычислений". - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2002. - 21 с.
Моделирование экономических и производственных процессов. Баева Н.Б.
Просмотреть (PDF)
Баева Н.Б.
Баева Н.Б. Моделирование экономических и производственных процессов: Методические указания для решения задач по спецкурсу. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2002. - 49 с.
Моделирование экономических процессов. Баева Н.Б.
Просмотреть (PDF)
Баева Н.Б.
Баева Н.Б. Моделирование экономических процессов: Методическое пособие для вузов. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2008. - 29 с.
Математическое и экспериментальное моделирование электродиализа. Васильева В.И
Просмотреть (PDF)
Васильева В.И., Григорчук О.В., Шапошник В.А.
Васильева В.И., Григорчук О.В., Шапошник В.А. Математическое и экспериментальное моделирование электродиализа: Методические указания к лабораторным работам по физической химии мембранных процессов. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2002. - 25 с.
Избранные вопросы курса численных методов. Выпуск 1. Интерполяция алгебраическими многочленами. Многочлен Лагранжа. Гудович Н.Н.
Просмотреть (PDF)
Гудович Н.Н.
Гудович Н.Н. Избранные вопросы курса численных методов. Выпуск 1. Интерполяция алгебраическими многочленами. Многочлен Лагранжа. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2002. - 36 с.
Вычислительные методы для физиков. Часть 1: Аппроксимация функций, численное дифференцирование. Курганский С.И
Просмотреть (PDF)
Курганский С.И., Дубровский О.И., Куркина Л.И.
Курганский С.И., Дубровский О.И., Куркина Л.И. Вычислительные методы для физиков. Часть 1: Аппроксимация функций, численное дифференцирование: Учебное пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 1998. - 20 с.
Численные методы решения скалярных уравнений. Трофимов В.П.
Просмотреть (PDF)
Трофимов В.П.
Трофимов В.П. Численные методы решения скалярных уравнений: Учебно-методическое пособие. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2003. - 19 с.
Методы расчета ионно-имплантированных структур. Быкадорова Г.В
Просмотреть (PDF)
Быкадорова Г.В., Гольдфарб В.А., Дикарев В.И., Левин А.Ю.
Быкадорова Г.В., Гольдфарб В.А., Дикарев В.И., Левин А.Ю. Методы расчета ионно-имплантированных структур: Методические указания. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2002. - 25 с.
Языки программирования для численных методов. Глушакова Т.Н
Просмотреть (PDF)
Глушакова Т.Н., Есипенко Д.Г., Шашкин А.И., Эксаревская М.Е.
Глушакова Т.Н., Есипенко Д.Г., Шашкин А.И., Эксаревская М.Е. Языки программирования для численных методов: Методические указания к спецкурсу. - Воронеж: Изд-во ВГУ, 2001. - 79 с.