Методы расчета ионно-имплантированных структур. Быкадорова Г.В - 1 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

Министерство образования РФ
Воронежский госуниверситет
Физический факультет
Кафедра физики полупроводников и микроэлектроники
Методические указания
Методы расчета
ионно -имплантированных структур
(для студентов 4,5 курсов физического факультета
специальности 014100
"Микроэлектроника и полупроводниковые приборы")
Составили: Быкадорова Г.В .
Гольдфарб В .А.
Дикарев В .И.
Левин А.Ю .
Воронеж
2002 
         Министерство образования РФ

          Воронежский госуниверситет

              Физический факультет
Кафедра физики полупроводников и микроэлектроники




              Методические указания

               Методы расчета
       ионно-имплантированных структур

 (для студентов 4,5 курсов физического факультета
              специальности 014100
"Микроэлектроника и полупроводниковые приборы")




                               Составили: Быкадорова Г.В.
                                         Гольдфарб В.А.
                                         Дикарев В.И.
                                         Левин А.Ю.




                    Воронеж
                      2002

Страницы