ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
34
ной 5 мкм, выращенной на подложке КДБ-10. Роль боковой поверхности с
повышенной скоростью рекомбинации играет пленка ПК, выращенная в еди-
ном технологическом процессе с монокристаллической, а противоположная
боковая поверхность элемента формируется с помощью диффузии атомов
бора на всю толщину эпитаксиальной пленки (рис.12).
Для пленки с концентрацией электронов 10
15
см
-3
, подвижностью носи-
телей 10
3
см
2
/с и временем жизни носителей, равным 0.1 мкс, длина диффу-
зионного пробега, вычисленная из соотношений
,
τ
D
L
D
=
,
μ
q
k
T
D =
оказывается равной 15 мкм.
Для получения максимальной чувствительности ширина образцов, со-
гласно (28), выбиралась равной 1.4L
D
, т.е. 22 мкм.
Значение α
Bmax
для германия при L
D
=3·10
-3
М, рассчитанное по формуле
(34), оказывается равным 5⋅10
-3
м
3
В
-2
с
-1
,
а максимальная магнитная чувстви-
тельность при Е=10 В/см и
l =1 см составляет 50 mB/mТ.
Чувствительность ГМР-элемента для Si собственной проводимости, из-
за более низкой подвижности носителей, на порядок меньше, чем в германии.
Для легированных кремниевых пленок n-типа проводимости чувствитель-
ность ниже на много порядков, в частности, для пленок с концентрацией
10
15
см
-3
, применяемых для изготовления линейных ИС, чувствительность
составляет 45 нВ/Т. Применение же описанной конструкции интегрального
ГМР-элемента, изготовленного на одновременно выращенных пленках моно-
и поликристаллического кремния, позволяет получить чувствительность в
пределах 0,15-0,3 мВ/мТ, что почти на 7 порядков выше расчетных значений
для данной концентрации и соответствует значению, получаемому из форму-
лы (34) для
концентрации носителей 5·10
10
см
-3
, т.е. почти для собственной
концентрации.
Истощение рабочей области ГМРП свободными носителями заряда про-
исходит вследствие расширения ОПЗ обратносмещенного p-n-перехода, соз-
данного с помощью разделительной диффузии атомов бора. Действительно,
при напряжении 30 В в пленке с концентрацией легирующей примеси 10
15
см
-
3
обедненный слой p-n-перехода расширяется в область монокремния при-
мерно на 14 мкм.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 30
- 31
- 32
- 33
- 34
- …
- следующая ›
- последняя »
