Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин. Агеев О.А - 33 стр.

UptoLike

35
Рис.10. Полупроводниковая пластина с разными скоростями поверхно-
стной рекомбинации на боковых гранях в скрещенных электрическом и маг-
нитном полях
Рис. 11. Схема включения ГМРП
Рис.12. Топология ГМРП на основе одновременно выращенных локаль-
ных пленок моно- и поликристаллического кремния