ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
62
Рис.28. Технологические этапы изготовления интегральных тензопре-
образователей: 1 - кремниевая пластина; 2 - мембрана; 3 - тензорезисторы; 4
- канавки для разделения на отдельные чипы
Рис. 29. Определение местоположения точечного тензорезистора на
круглой мембране
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 58
- 59
- 60
- 61
- 62
- …
- следующая ›
- последняя »
