Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин. Агеев О.А - 60 стр.

UptoLike

62
Рис.28. Технологические этапы изготовления интегральных тензопре-
образователей: 1 - кремниевая пластина; 2 - мембрана; 3 - тензорезисторы; 4
- канавки для разделения на отдельные чипы
Рис. 29. Определение местоположения точечного тензорезистора на
круглой мембране