Диагностика плазмы зондами проводимости. Андреев В.Л - 20 стр.

UptoLike

20
11
1
çä.ïë 1 îá1
çä ïë
22
2
çä.ïë 1 îá2
çä ïë
2
ln
2
2;
ln
2
2.
DL
dL
RKR
l
DL
dL
RKR
l
+
=+
πσ
+
=+
πσ
(1.33)
 äàëüíåéøåì ó÷òåì, ÷òî D
1
>> 2L
1
, D
2
>> 2L
2
, d >> 2L
1
, d >> 2L
2
.
Òàêæå íåòðóäíî çàìåòèòü, ÷òî ïðè áëèçêèõ çíà÷åíèÿõ D
1
è D
2
, ìíîãî
áîëüøèõ L, 2R
îá1
2R
îá2
.
Âû÷èòàÿ èç ñîïðîòèâëåíèÿ R
çä.ïë1
, èçìåðåííîãî ïåðâîé ïàðîé ýëåêò-
ðîäîâ, ñîïðîòèâëåíèå R
çä.ïë2
, èçìåðåííîå äðóãîé ïàðîé ýëåêòðîäîâ (ïðè
D
1
D
2
), è èñïîëüçóÿ (1.21), ïîëó÷èì âûðàæåíèå äëÿ îïðåäåëåíèÿ êîí-
öåíòðàöèè ýëåêòðîíîâ ïëàçìû ÷åðåç èçìåðåííûå ñîïðîòèâëåíèÿ äàò÷è-
êîâ ïðîâîäèìîñòè ïðè îòñóòñòâèè èíòåíñèâíîãî íàãðåâà åãî èçîëÿòîðà â
ñëåäóþùåì âèäå:
()
12
11
ýô
8
çä äç.ïë1 çä.ïë2
ln ln
.
2,82 10
e
DD
KK
dd
N
lR R

′′
−ν


=
⋅π
(1.34)
Åñëè ïðåíåáðå÷ü âåëè÷èíîé îáúåìíîãî çàðÿäà, ðàñ÷åòû ìîãóò áûòü
óïðîùåíû è ïðè ýòîì äëÿ èçìåðåíèé ìîæíî èñïîëüçîâàòü òîëüêî îäèí
ÇÄÏ.  ýòîì ñëó÷àå âûðàæåíèå äëÿ îïðåäåëåíèÿ êîíöåíòðàöèè ýëåêò-
ðîíîâ áóäåò èìåòü ñëåäóþùèé âèä:
D
1
D
2
Ðèñ. 1.3. Êîíñòðóêöèÿ ÇÄÏ ñ äâóìÿ ýëåêòðîäàìè