Диагностика плазмы зондами проводимости. Андреев В.Л - 6 стр.

UptoLike

6
 èçâåñòíîé ëèòåðàòóðå ìîæíî âûäåëèòü ëèøü íåñêîëüêî ýêñïåðè-
ìåíòàëüíûõ ðàáîò, ïîñâÿùåííûõ ýëåêòðè÷åñêîìó çîíäèðîâàíèþ ïëàç-
ìåííûõ ñòðóé ïðè äàâëåíèè, áëèçêîì ê àòìîñôåðíîìó, è òåìïåðàòóðàõ
âûøå (56)10
3
Ê. Ðåçóëüòàòû íåêîòîðûõ èç íèõ ïðîòèâîðå÷àò êàê äðóã
äðóãó, òàê è âûâîäàì ñîîòâåòñòâóþùèõ òåîðèé [10, 11].
 óñëîâèÿõ ðåàëüíîãî ïîëåòà çîíä ïîäâåðãàåòñÿ âîçäåéñòâèþ âûñî-
êèõ òåìïåðàòóð, èç-çà ÷åãî ïðîèñõîäèò ðàñïûëåíèå ìàòåðèàëà çîíäà,
ò. å. ãåîìåòðè÷åñêèå ðàçìåðû çîíäà ìåíÿþòñÿ. Ýòè èçìåíåíèÿ ãåîìåò-
ðèè íåîáõîäèìî ó÷èòûâàòü ïðè îáðàáîòêå ðåçóëüòàòîâ çîíäîâûõ èçìå-
ðåíèé. Ñêîðîñòè ðàñïûëåíèÿ çàâèñÿò îò ðÿäà ôàêòîðîâ (òåïëîâîãî ïîòî-
êà, ìàòåðèàëà ýëåêòðîäîâ è ò. ä.). Òàêèì îáðàçîì, ïðîöåññ ðàñïûëåíèÿ
ìàòåðèàëà çîíäà ïëàçìîé âíîñèò ïîãðåøíîñòü â ðåçóëüòàòû çîíäîâûõ
èçìåðåíèé, êîòîðóþ òðóäíî ó÷åñòü. Êðîìå òîãî, åñëè ïîâåðõíîñòü çîí-
äà íàãðåòà äî äîñòàòî÷íî âûñîêîé òåìïåðàòóðû îòíîñèòåëüíî òåìïå-
ðàòóðû, ñîîòâåòñòâóþùåé ðàáîòå âûõîäà ýëåêòðîíîâ èç ìåòàëëà, òî
âîçíèêàåò òåðìîýëåêòðîííàÿ ýìèññèÿ. Ýìèññèÿ ìîæåò òàêæå âîçíèê-
íóòü â ðåçóëüòàòå áîìáàðäèðîâêè çîíäîâ èîíàìè (âòîðè÷íàÿ ýëåêòðîí-
íàÿ ýìèññèÿ). Ýìèññèÿ ýëåêòðîíîâ ìîæåò ñóùåñòâåííî èçìåíèòü ðàñ-
ïðåäåëåíèÿ ïîòåíöèàëà îêîëî çîíäà, òàê ÷òî òåîðèè, íå ó÷èòûâàþùèå
ýìèññèþ, ìîãóò îêàçàòüñÿ íåïðàâîìåðíûìè. Èìååòñÿ ðÿä ðàáîò, â êî-
òîðûõ ðàññìàòðèâàåòñÿ âëèÿíèå ýìèññèè ýëåêòðîíîâ íà ðåçóëüòàòû çîí-
äîâûõ èçìåðåíèé. Èç íèõ ñëåäóåò, ÷òî ýìèññèÿ íå âëèÿåò íà ýëåêòðîí-
íûé òîê íàñûùåíèÿ, à íàáëþäàåìûé èëè êàæóùèéñÿ èîííûé òîê íàñû-
ùåíèÿ â ðåçóëüòàòå ýìèññèè íàðàñòàåò.
Êîãäà óðîâåíü ýìèññèè îòíîñèòåëüíî íåâûñîê, ýëåêòðîííóþ òåìïå-
ðàòóðó ìîæíî ïîëó÷èòü îáû÷íûì ñïîñîáîì, ââåäÿ íåîáõîäèìûå ïîïðàâ-
êè. Ýòî âîçìîæíî, íàïðèìåð, äëÿ ñëó÷àÿ âòîðè÷íîé ýëåêòðîííîé ýìèñ-
ñèè, âûçâàííîé èîííîé áîìáàðäèðîâêîé çîíäà. Íà ïðàêòèêå óðîâåíü ýëåê-
òðîííîé ýìèññèè íåèçâåñòåí, è íå ñóùåñòâóåò ïðîñòîãî ìåòîäà îïðåäå-
ëåíèÿ òåìïåðàòóðû ýëåêòðîíîâ èëè ïîòåíöèàëà ïðîñòðàíñòâà íà îñíîâå
èçìåðåííûõ âîëüò-àìïåðíûõ õàðàêòåðèñòèê. Êðîìå ýòîãî, â ðåàëüíûõ
óñëîâèÿõ ðàáîòû çîíä çàãðÿçíÿåòñÿ. Ïîâåðõíîñòíûå îñàäêè èçìåíÿþò
ñâîéñòâà ïîâåðõíîñòè [12]. Ýòî ïðèâîäèò ê ñèëüíûì èñêàæåíèÿì âîëüò-
àìïåðíûõ õàðàêòåðèñòèê, âûðàæàþùèìñÿ â óìåíüøåíèè èõ íàêëîíà ñ
óâåëè÷åíèåì çàãðÿçíåíèÿ ïîâåðõíîñòè, ÷òî âåäåò ê áîëüøîìó çàâûøå-
íèþ èçìåðåííîãî çíà÷åíèÿ ýëåêòðîííîé òåìïåðàòóðû. Îñàæäåíèå íå-
ïðîâîäÿùèõ ìàòåðèàëîâ íà îòäåëüíûõ ó÷àñòêàõ ïîâåðõíîñòè ýëåêòðî-