Диагностика плазмы зондами проводимости. Андреев В.Л - 8 стр.

UptoLike

8
à) íåïðîâîäÿùèìè ìàòåðèàëàìè (óìåíüøàþùèìè ýôôåêòèâíóþ
ïëîùàäü ïîâåðõíîñòè) çà ñ÷åò àáëÿöèè òåïëîçàùèòíîãî ïîêðûòèÿ (ÒÇÏ);
á) ïðîâîäÿùèìè ìàòåðèàëàìè (óâåëè÷èâàþùèìè ýôôåêòèâíóþ
ïëîùàäü ïîâåðõíîñòè) çà ñ÷åò ðàñïûëåíèÿ ýëåêòðîäîâ.
7. Ñëîé ýëåêòðîííî-èîííîãî ðàñïëàâà íà ïîâåðõíîñòè èçîëÿòîðà, çà-
ìûêàþùèé ýëåêòðîäû.
Åñëè âëèÿþùèå ôàêòîðû, íà÷èíàÿ ñ òðåòüåãî, îáóñëîâëåíû êîíñò-
ðóêöèåé çîíäîâîãî äàò÷èêà, òî ïåðâûå äâà îïðåäåëÿþò ïðèìåíÿåìîñòü
òåîðèè ýëåêòðè÷åñêèõ çîíäîâ (îáðàáîòêà âîëüò-àìïåðíûõ õàðàêòåðèñ-
òèê â çàâèñèìîñòè îò äàâëåíèÿ â ïðèñòåíî÷íîì ñëîå).
Ðàññìîòðèì âëèÿíèå äàâëåíèÿ â ïðèñòåíî÷íîì ñëîå íà ðåçóëüòàòû
çîíäîâûõ èçìåðåíèé. Ïî ðåçóëüòàòàì îöåíî÷íûõ ðàñ÷åòîâ äëÿ êîíè÷åñ-
êîãî àïïàðàòà, âõîäÿùåãî â àòìîñôåðó ñ ãèïåðçâóêîâîé ñêîðîñòüþ, äèà-
ïàçîí âîçìîæíûõ çíà÷åíèé äàâëåíèÿ â ïðèñòåíî÷íîì ñëîå ïðè ðåàëüíî
âîçìîæíûõ ñêîðîñòÿõ ïîëåòà è óãëå êîíóñà β
ê
= 15
î
ñîñòàâèë 0,1810
2
8,3710
5
Ïà, à ïðè óãëå β
ê
= 20
î
0,3210
2
14,4910
5
Ïà. Êàê èçâåñòíî,
âàæíåéøèì ôàêòîðîì, îïðåäåëÿþùèì âèä çîíäîâîé õàðàêòåðèñòèêè, ÿâëÿ-
åòñÿ ñðåäíÿÿ äëèíà ñâîáîäíîãî ïðîáåãà çàðÿæåííûõ ÷àñòèö λ.
 çîíäîâîé òåîðèè ðàññìàòðèâàþòñÿ òðè ñëó÷àÿ [10].
1. λ >> d, ãäå d ðàäèóñ ýëåêòðîäà çîíäà; ñòîëêíîâåíèÿ ìåæäó ÷àñ-
òèöàìè èãðàåò íåçíà÷èòåëüíóþ ðîëü, è èõ ìîæíî íå ó÷èòûâàòü, ïëàçìó
ñ÷èòàþò áåññòîëêíîâèòåëüíîé.
2. λ << d, ïëàçìà ñòîëêíîâèòåëüíàÿ, íåîáõîäèìî ó÷èòûâàòü ñòîëê-
íîâåíèå è äèôôóçèîííûå ïðîöåññû â ãàçå.
3. ld ïðîìåæóòî÷íûé ñëó÷àé.
Ïåðâûé âàðèàíò õîðîøî èçó÷åí, îñòàëüíûå ðàçðàáîòàíû â çíà÷èòåëüíî
ìåíüøåé ñòåïåíè.
Äëèíà ñâîáîäíîãî ïðîáåãà çàðÿæåííîé ÷àñòèöû ïðè ïîñòîÿííîé òåì-
ïåðàòóðå îáðàòíî ïðîïîðöèîíàëüíà äàâëåíèþ â ãàçå [13]. Îöåíèì âîç-
ìîæíûå çíà÷åíèÿ λ äëÿ óêàçàííûõ âûøå äàâëåíèé.
Ñàìàÿ îðèåíòèðîâî÷íàÿ îöåíêà ìîæåò áûòü ïðîèçâåäåíà íà îñíîâå
ãàçîêèíåòè÷åñêîé òåîðèè ãàçîâ, ñîãëàñíî âûâîäàì êîòîðîé ñðåäíÿÿ äëèíà
ñâîáîäíîãî ïðîáåãà ýëåêòðîíà
42
λ= λ
em
, (1.1)
ãäå λ
m
ñðåäíÿÿ äëèíà ñâîáîäíîãî ïðîáåãà ìîëåêóë ãàçà, â êîòîðîì
äâèæåòñÿ ýëåêòðîí. Äëèíà æå ñâîáîäíîãî ïðîáåãà èîíà