Составители:
Рубрика:
7
äà óìåíüøàåò ýôôåêòèâíóþ ïëîùàäü åãî ïîâåðõíîñòè. Íàîáîðîò, îñàæ-
äåíèå ïðîâîäÿùåãî ìàòåðèàëà, îáðàçóþùåãîñÿ â ðåçóëüòàòå èñïàðåíèÿ
èëè ðàñïûëåíèÿ ïîâåðõíîñòè ýëåêòðîäà, íà ïîâåðõíîñòè èçîëÿòîðîâ, ïðè-
ìûêàþùèõ ê ýëåêòðîäàì, ìîæåò óâåëè÷èâàòü ýôôåêòèâíóþ ïëîùàäü
ýëåêòðîäîâ è âûçûâàòü óòå÷êó òîêà. Óñòàíîâëåíî, ÷òî äëÿ ñâåäåíèÿ ê
ìèíèìóìó âëèÿíèÿ çàãðÿçíåíèÿ ñ óñïåõîì ìîæíî èñïîëüçîâàòü ìåòîä
ïîääåðæàíèÿ çîíäà ïîä áîëüøèìè îòðèöàòåëüíûìè ïîòåíöèàëàìè (ïî-
ðÿäêà 100200 Â) è íàëîæåíèÿ íà íåãî èìïóëüñà íàïðÿæåíèÿ, ïðè êîòî-
ðîì íàïðÿæåíèå íà çîíäå èçìåíÿåòñÿ â ïðåäåëàõ, îáåñïå÷èâàþùèõ ïî-
ëó÷åíèå çîíäîâîé õàðàêòåðèñòèêè. Áîëüøîé îòðèöàòåëüíûé ïîòåíöèàë
âûçûâàåò áîìáàðäèðîâêó ïîâåðõíîñòè çîíäà äîñòàòî÷íî âûñîêîýíåð-
ãåòè÷åñêèìè èîíàìè, ÷òî ïðèâîäèò ê ðàñïûëåíèþ çàãðÿçíåíèÿ è ïîëó-
÷åíèþ, òàêèì îáðàçîì, ÷èñòîé ïîâåðõíîñòè ïåðåä ñíÿòèåì çîíäîâîé õà-
ðàêòåðèñòèêè.
Ýëåêòðè÷åñêèå çîíäû ðàáîòàþò ïðè áîëüøèõ òåìïåðàòóðàõ îêðóæà-
þùåé ñðåäû (ïëàçìîîáðàçîâàíèÿ). Â ýòèõ óñëîâèÿõ ïîâåðõíîñòü äèý-
ëåêòðèêà, èç êîòîðîãî èçãîòîâëåí èçîëÿòîð çîíäà, ìîæåò ðàñïëàâèòüñÿ è
ñòàòü òîêîïðîâîäÿùåé. Ïðè ýòîì òîê çîíäà çàìêíåòñÿ ÷åðåç ðàñïëàâ-
ëåííûé ñëîé äèýëåêòðèêà è èçìåðåíèå ïàðàìåòðîâ ïëàçìû ñòàíîâèòñÿ
íåâîçìîæíûì. Ñëåäîâàòåëüíî, ê äèýëåêòðè÷åñêèì ìàòåðèàëàì, ïðèìå-
íÿåìûì äëÿ èçãîòîâëåíèÿ çîíäîâûõ äàò÷èêîâ (ñîâîêóïíîñòü ýëåêòðîäà
è èçîëÿòîðà), äîëæíû ïðåäúÿâëÿòüñÿ âûñîêèå òðåáîâàíèÿ (òåðìîñòîé-
êîñòü, ìåõàíè÷åñêàÿ ïðî÷íîñòü).
Íà îñíîâàíèè âûøåèçëîæåííîãî ïðèâåäåì ïåðå÷åíü ôàêòîðîâ, îêà-
çûâàþùèõ ñóùåñòâåííîå âëèÿíèå íà îïðåäåëåíèå ïàðàìåòðîâ ïëàç-
ìîîáðàçîâàíèÿ ñ ïîìîùüþ çîíäîâûõ äàò÷èêîâ â óñëîâèÿõ ðåàëüíî-
ãî ïîëåòà.
1. Ñòàòè÷åñêîå äàâëåíèå â ïðèñòåíî÷íîì ïîãðàíè÷íîì ñëîå Ð
ñ
.
2. Ïîëíîå äàâëåíèå Ð
ï
(ñ ó÷åòîì ñêîðîñòè òåëà, íà êîòîðîì óñòàíîâ-
ëåí çîíä).
3. Ðàñïûëåíèå ìàòåðèàëà ýëåêòðîäîâ (èçìåíåíèå ãåîìåòðèè) ïîä äåé-
ñòâèåì âûñîêîé òåìïåðàòóðû ïëàçìîîáðàçîâàíèÿ.
4. Òåðìîýëåêòðîííàÿ ýìèññèÿ ïðè òåìïåðàòóðå, ñîîòâåòñòâóþùåé
òåìïåðàòóðå âûõîäà ýëåêòðîíîâ èç ìåòàëëà ýëåêòðîäîâ.
5. Âòîðè÷íàÿ ýëåêòðîííàÿ ýìèññèÿ â ðåçóëüòàòå áîìáàðäèðîâêè çîí-
äîâ èîíàìè.
6. Çàãðÿçíåíèå ïîâåðõíîñòè ýëåêòðîäîâ:
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 5
- 6
- 7
- 8
- 9
- …
- следующая ›
- последняя »
