Диагностика плазмы зондами проводимости. Андреев В.Л - 80 стр.

UptoLike

80
()
[]
ð
ÇÄÐ
ð
ýô p
ð
2
2
2
2
àà
p
2
2
pp
ÇÄÐ ÇÄÐ
p
22
ý
ô
ý
ôpp
2
ð
ó
äöäëöäëöä
äó
öä ö ä
()
öä öä
.
ó
e
e
l
eee eT
T
R
TT N NN T T
TT R R
f
f
λ
+
ϑ


′′
+++


=


′′
++ +



+

′′
ϑ +



+


l
l
ll
(2.24)
ãäå
i
ϕ
ïðîèçâîäíàÿ ïî i-ìó ïàðàìåòðó â äàííûé ìîìåíò âðåìåíè;
,,,,,,
àýôðððÇÄÐ
,
ó
ee
T
NTTlR
ϑ
çíà÷åíèÿ ïàðàìåòðà â äàííûé ìî-
ìåíò âðåìåíè;
,, ,,,
ýô ð à ÇÄÐ
ó,ó ó ó ó óëó
ee
NTTTR
ϑ
îòíîñèòåëüíàÿ ñðåäíåêâàäðà-
òè÷åñêàÿ ïîãðåøíîñòü îïðåäåëåíèÿ ïàðàìåòðîâ.
Îòíîñèòåëüíàÿ ñðåäíåêâàäðàòè÷åñêàÿ ïîãðåøíîñòü èçìåðåíèÿ òîëùè-
íû ðàñïëàâëåííîãî ñëîÿ ìîæåò áûòü íàéäåíà ïî ñëåäóþùåé ôîðìóëå:
()
()
2
2
pp
ÇÄÐ
ääóä.
R
=+
l
(2.25)
Íà ðèñ. 2.9 ïðèâåäåíà ðàñ÷åò-
íàÿ çàâèñèìîñòü ïîãðåøíîñòè
îïðåäåëåíèÿ ýëåêòðîïðîâîäíîñ-
òè ñëîÿ ðàñïëàâà δσ
ð
îò âåëè÷è-
íû σ
ð
äëÿ ôèêñèðîâàííîé òîë-
ùèíû l
ð
= 510
4
ì. Âûñîêèé óðî-
âåíü ïîãðåøíîñòè â íà÷àëå äèà-
ïàçîíà σ
ð
îáúÿñíÿåòñÿ áîëüøè-
ìè çíà÷åíèÿìè ïðîèçâîäíûõ ïî
Ðèñ. 2.9. Çàâèñèìîñòü ñðåäíåêâàäðàòè÷åñêîé
îòíîñèòåëüíîé ïîãðåøíîñòè îïðåäåëåíèÿ
ýëåêòðîïðîâîäíîñòè ñëîÿ ðàñïëàâà δσ
ð
îò
âåëè÷èíû σ
ð
ïî ðåçóëüòàòàì ðàäèîìåòðè-
÷åñêèõ è çîíäîâûõ èçìåðåíèé
0
20
1000110
100
σ
ð
,1/Îìì
δσ
ð
, %