Составители:
Рубрика:
81
ïàðàìåòðàì
ðýô
,,
e
T
N
ϑ
è ñîîòâåòñòâåííî áîëüøèìè ñëàãàåìûìè ñ
ýòèìè ïàðàìåòðàìè â óðàâíåíèè (2.24).  ïðèâåäåííîì ðàñ÷åòå èñïîëü-
çîâàëèñü ñëåäóþùèå ïîãðåøíîñòè:
ýô ÇÄÐ
5%,
ee
NR T
δϑ δ δ δλ δ
==
===
àð
10 %,
TT
δδ
==
ð
10 %;l
δ
=
ïàðàìåòðû ïëàçìû ñëåäóþùèå:
ýô
ϑ=
= 6,4⋅10
9
Ãö,
14 3
10 1/
ñì ,
e
N
=
6000
Ê
e
T
=
. Ðàñ÷åòû ïðîâîäèëèñü äëÿ
λ = 3,2 ñì, T
ð
= 3000 Ê, l
ð
= 10
3
ì.
Êàê âèäíî èç ðèñ. 2.9, â äèàïàçîíå èçìåíåíèÿ
ð
ó
îò 1,0 äî 10
4
1/Îì⋅ì
âåëè÷èíà îòíîñèòåëüíîé ñðåäíåêâàäðàòè÷åñêîé ïîãðåøíîñòè íå ïðåâûøà-
åò 40 %. Âèäíî, ÷òî âåëè÷èíà îøèáêè (ïðè ôèêñèðîâàííîì l
ð
) óìåíüøàåò-
ñÿ ñ ðîñòîì
ð
ó
.
Ðàññìàòðèâàÿ âåëè÷èíó îòíîñèòåëüíîé ñðåäíåêâàäðàòè÷åñêîé ïî-
ãðåøíîñòè
ð
ä
l
, îòìåòèì, ÷òî â îñíîâíîì äëÿ âñåõ çíà÷åíèé
ð
σ
óäîâ-
ëåòâîðÿåòñÿ ðàâåíñòâî
ðð
ääó
l
≈
, êîòîðîå âûòåêàåò èç òîãî, ÷òî ðå-
àëüíàÿ ïîãðåøíîñòü îïðåäåëåíèÿ ñîïðîòèâëåíèÿ ÇÄÏ íå ïðåâûøàåò
5 %, ò. å. õàðàêòåð èçìåíåíèÿ è âåëè÷èíà ïîãðåøíîñòè îïðåäåëåíèÿ òîë-
ùèíû ñëîÿ ðàñïëàâà àíàëîãè÷íû îïðåäåëåíèþ ïîãðåøíîñòè óäåëüíîé
ýëåêòðîïðîâîäíîñòè.
Òàêèì îáðàçîì, ðàçðàáîòàíà ìåòîäèêà êàëèáðîâêè çîíäîâûõ äàò÷è-
êîâ íà ñïåöèàëüíîì ñòåíäîâîì êîìïëåêñå è ðàçðàáîòàíû ìåòðîëîãè-
÷åñêèå îñíîâû êàëèáðîâêè.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 79
- 80
- 81
- 82
- 83
- …
- следующая ›
- последняя »
