Диагностика плазмы зондами проводимости. Андреев В.Л - 82 стр.

UptoLike

82
3. ÝÊÑÏÅÐÈÌÅÍÒÀËÜÍÛÅ ÐÅÇÓËÜÒÀÒÛ
ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß ÏÀÐÀÌÅÒÐÎÂ ÏËÀÇÌÛ
3.1. Êàëèáðîâêà çîíäîâûõ äàò÷èêîâ
Äëÿ ðàñ÷åòà ïàðàìåòðîâ ïðèáîðòîâîé ïëàçìû è ñëîÿ ðàñïëàâà ÒÇÏ
ïî ðåçóëüòàòàì çîíäîâûõ èçìåðåíèé íåîáõîäèìà ïðåäâàðèòåëüíàÿ êà-
ëèáðîâêà ÇÄÏ è ÇÄÐ. Êàëèáðîâêà âêëþ÷àåò â ñåáÿ ñëåäóþùèå ïðîöå-
äóðû:
îïðåäåëåíèå õàðàêòåðà èçìåíåíèÿ ãåîìåòðèè ýëåêòðîäîâ ÇÄÏ â
çàâèñèìîñòè îò ïëîòíîñòè òåïëîâîãî ïîòîêà;
îïðåäåëåíèå çàâèñèìîñòè ñîïðîòèâëåíèÿ çîíäîâîãî äàò÷èêà îò ïëîò-
íîñòè òåïëîâîãî ïîòîêà äëÿ ðàçëè÷íûõ Ò3Ï;
 îïðåäåëåíèå âåëè÷èíû ýëåêòðîïðîâîäíîñòè ðàçëè÷íûõ âèäîâ ÒÇÏ
è ýôôåêòèâíîé òîëùèíû ðàñïëàâëåííîãî ñëîÿ ýòèõ ìàòåðèàëîâ;
 îòðàáîòêó èíæåíåðíîé ìåòîäèêè çîíäîâûõ èçìåðåíèé.
Ðàíåå áûëî ïðåäëîæåíî â êà÷åñòâå èçîëÿòîðà çîíäîâûõ äàò÷èêîâ
èñïîëüçîâàòü, íàïðèìåð, êåðàìèêó ÂÈÎ-18, à â êà÷åñòâå ýëåêòðîäîâ
âîëüôðàì èëè ñïëàâ âîëüôðàìà ñ 20 % ðåíèÿ. Ïîýòîìó â êà÷åñòâå ïðè-
ìåðà ïðèâåäåì ðåçóëüòàòû äëÿ ìàòåðèàëà ýëåêòðîäîâ âîëüôðàìîâîé
ïðîâîëîêè, à äëÿ èçîëÿòîðà  êåðàìèêè ÂÈÎ-18 è êîìïîçèòíîãî ìàòåðè-
àëà ÐÒÏ-170.
Íà ðèñ. 3.1 ïðèâåäåíî òèïè÷íîå èç-
ìåíåíèå ïëîòíîñòè òåïëîâîãî ïîòîêà
íà áîêîâîé ïîâåðõíîñòè ÃËÀ â äèàïàçî-
íå 0,12,0 êÂò/ñì
2
çà èíòåðâàë 020 ñ.
Ïðåäâàðèòåëüíàÿ îöåíêà èçìåíåíèÿ
ïëîòíîñòè òåïëîâîãî ïîòîêà â ñòðóå ëàáî-
ðàòîðíîé ïëàçìû ñòåíäà äëÿ êàëèáðîâ-
êè ïîêàçàëà, ÷òî ïðè ðàññòîÿíèÿõ ìåæ-
äó èîíèçèðóþùåé êàìåðîé ïëàçìîòðî-
íà è êàëèáðóåìûì çîíäîì â 100, 150,
200 è 250 ìì ïîëíîñòüþ ïåðåêðûâàåò-
ñÿ òðåáóåìûé äèàïàçîí èçìåíåíèÿ òåï-
0
0.5
10
15 20
1
1,5
2
q10
7
,
Âò/ì
t, ñ
Ðèñ. 3.1. Âðåìåííàÿ çàâèñèìîñòü òåï-
ëîâîãî ïîòîêà íà áîêîâîé ïîâåðõíîñ-
òè ÃËÀ: x
1
, x
2
ðàññòîÿíèÿ îòíîñè-
òåëüíî íà÷àëà àïïàðàòà, x
1
< x
2
x
1
x
2
,