Применение гальваномагнитных явлений в полупроводниках для создания приборов и устройств СВЧ диапазона. Антропов В.А - 74 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ПГУ | Пенза

Составители: 

Рубрика: 

74
примеси 8·10
19
м
-3
и подвижностью электронов, равной при 78К
(20-30)
м
2
/В·с.
Пластинки длиной 10 – 12, шириной 4-6 и толщиной (0,5-1) мм вы-
резались из монокристалла антимонида индия, полученного методом зонной
плавки. Шлифовкой с последующим травлением толщина пластинки дово-
дилась до (0,15- 0,25) мм. Токовые и холловские контакты припаивались к
датчикам индием. Для увеличения рассеиваемой мощности и стабильной
работы датчика пластинка приклеивалась к подложке с хорошей теплопро-
водностью. Поскольку в процессе работы датчик неоднократно подвергается
резкому охлаждению и нагреванию, подложка должна иметь близкий к InSb
коэффициент линейного расширения α (для InSb α ~ 4· 10
-6)
. В качестве
подложек вначале были использованы молибден (α ~ 5,1 ·10
-6
) и стекло (α ~
10
-7
- 3·10
-6
). Оказалось, что можно использовать также медную подложку (α
= 16,2 ·10
-6
), если датчик Холла приклеивать к ней через тонкий (10 – 15)
микрон слой слюды. Чтобы уменьшить влияние резких колебаний темпера-
туры, датчик Холла вместе с подложкой помещается в герметично закрытый
кожух из текстолита или оргстекла. Ниже приводятся результаты измерения
характеристик двух датчиков на постоянном токе. Сопротивление датчиков
между токовыми электродами равно 15 – 25ом, а между холловскими – 40 –
90ом.
На рис.2.22 показана зависимость ЭДС Холла U
H
от величины
управляющего тока I при напряжённости магнитного поля Н =8000 А/м для
датчика 1. 
примеси 8·1019 м-3 и подвижностью электронов, равной при 78К
(20-30) м 2 /В·с.

        Пластинки длиной 10 – 12, шириной 4-6 и толщиной (0,5-1) мм вы-
резались из монокристалла антимонида индия, полученного методом зонной
плавки. Шлифовкой с последующим травлением толщина пластинки дово-
дилась до (0,15- 0,25) мм. Токовые и холловские контакты припаивались к
датчикам индием. Для увеличения рассеиваемой мощности и стабильной
работы датчика пластинка приклеивалась к подложке с хорошей теплопро-
водностью. Поскольку в процессе работы датчик неоднократно подвергается
резкому охлаждению и нагреванию, подложка должна иметь близкий к InSb
коэффициент линейного расширения α (для InSb α ~ 4· 10-6). В качестве
подложек вначале были использованы молибден (α ~ 5,1 ·10-6) и стекло (α ~
10-7- 3·10-6). Оказалось, что можно использовать также медную подложку (α
= 16,2 ·10-6), если датчик Холла приклеивать к ней через тонкий (10 – 15)
микрон слой слюды. Чтобы уменьшить влияние резких колебаний темпера-
туры, датчик Холла вместе с подложкой помещается в герметично закрытый
кожух из текстолита или оргстекла. Ниже приводятся результаты измерения
характеристик двух датчиков на постоянном токе. Сопротивление датчиков
между токовыми электродами равно 15 – 25ом, а между холловскими – 40 –
90ом.

        На рис.2.22 показана зависимость ЭДС Холла U H от величины
управляющего тока I при напряжённости магнитного поля Н =8000 А/м для
датчика 1.




                                                                            74

Страницы