Процессы микро- и нанотехнологии. Аверин И.А. - 1 стр.

UptoLike

Составители: 

РПД МЭ CД.04 - 2002
ПЕНЗЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ
Факультет радиоэлектроники
Кафедра микроэлектроники
Система методического обеспечения
учебного процесса
Рабочая программа дисциплины
Процессы микро- и нанотехнологии
по подготовке специалиста инженера
по направлению 654100 – Электроника и микроэлектроника
специальности 200100 – Микроэлектроника и твердотельная электроника
Экземпляр
Пенза 2002
                                               РПД МЭ CД.04 - 2002

    ПЕНЗЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

               Факультет радиоэлектроники
               Кафедра микроэлектроники




          Система методического обеспечения
                  учебного процесса
           Рабочая программа дисциплины




Процессы микро- и нанотехнологии


по подготовке специалиста инженера


по направлению 654100 – Электроника и микроэлектроника


специальности 200100 – Микроэлектроника и твердотельная электроника




                                            Экземпляр №




                        Пенза 2002