Процессы микро- и нанотехнологии. Аверин И.А. - 4 стр.

РПД МЭ СД.04 - 20002

Контроль
текущий на занятиях                                                9 семестр
защита курсовой работы (проекта) с оценкой
зачет                                                               9 семестр
сдача экзамена                                                      9 семестр

4 Цель и задачи дисциплины

   4.1 Целью дисциплины является научить студентов           способам нанесения, удаления и
модифицирования вещества на микро- и наноуровне, используемых при создании компонентов
твердотельной электроники и интегральных микросхем.
    4.2 В результате изучения дисциплины студент должен:
   4.2.1. Знать:
   − современные операции микро- и нанотехнологии;
   − физико-технологические и экономические ограничения миниатюризации и интеграции;
   − принципы организации базовых технологических процессов создания компонентов
твердотельной электроники и интегральных микросхем.
   4.2.2. Иметь навыки:
   − реализации современных способов нанесения, удаления и модифицирования материалов при
создании элементной базы электронной техники;
    - работы на оборудовании, используемом в микроэлектронном производстве

5 Место дисциплины в учебном процессе

    Дисциплина относится к циклу специальных дисциплин, и блоку дисциплин, обеспечивающих
конструкторско-технологическую подготовку.
    Изучение данной дисциплины базируется на следующих дисциплинах:
    Физика; Технология материалов электронной техники;; Материалы и элементы электронной
техники; Химия; Микроэлектроника; Вакуумная и плазменная электроника; Твердотельная
электроника.
     Основные положения дисциплины должны быть использованы в дальнейшем при изучении:
Технология полупроводниковых приборов и ИМС; Проектирование и конструирование
полупроводниковых ИМС.

6 Сводные данные об основных разделах дисциплины и распределении часов по видам занятий

Название раздела                                       Количество часов занятий
                                                             Аудиторных                     Уровни
                                                                                            изучения
                                         лекцион-       Практиче- Лаборатор- Самостоя-
                                         ных            ских      ных        тельных
                                                        занятий
Введение                                     2 часа                   2 часа                А1
Системный подход к процессам микро- и        4 часа                   2 часа      6 часов   В1
нанотехнологии
Производственная чистота, гигиена и          6 часов                 6 часов      10 часов В1, В2
безопасность.
Оборудование и методы нанесения              6 часов                 6 часов      10 часов Б1, В1
вещества.
Оборудование и методы удаления               5 часов                  2 часа      8 часов   В2
вещества
Оборудование и методы                        6 часов                  2 часа      8 часов   В1
модифицирования вещества.