Электрохимия полупроводников. Батенков В.А. - 20 стр.

UptoLike

Составители: 

Рубрика: 

20
Если концентрация ловушек в полупроводнике мала по сравнению с плотностью избы-
точных носителей заряда, т. е. если N
t
« n, то количеством электронов N
t
f
t
, оседающих на ло-
вушках, можно пренебречь. При этом условии избыточная концентрация электронов будет
равна избыточной концентрации пазонов, т. е.
n = p и R
n
* = R
р
* = R*. Из равенства уравнений
(49) и (50) найдём функцию распределения f
t
, для электронов, находящихся на ловушках.
f
t
= (C
n
n* +
C
р
p
1
) / [C
n
(n* + n
1
) +
C
р
(p* + p
1
)]. (53)
Подставив это выражение f
t
в уравнение (49), получим общее уравнение для R:
R = C
n
C
р
(n*p* – n
1
p
1
) / [C
n
(n* + n
1
) +
C
р
(p* + p
1
)]. (54)
С учётом уравнений (48), (51) и (7) (n
1
p
1
=
n
i
2
= np) его можно преобразовать к виду:
R = C
n
C
р
(n*p* – n
i
2
) / {С
n
[n* + N
c
exp (E
t
–E
c
)/kT ] + С
p
[p* + N
v
exp(E
v
–E
t
)/kT ]}. (55)
Зная скорость рекомбинации неравновесных носителей заряда R = dn/dt =
n/τ, можно
определить время жизни
τ пары электронпазон. При R
n
= R
р
и n = p имеем:
τ = n /R = (п*п)/R = n [C
n
(n* + n
1
) +
C
р
(p* + p
1
)] / [C
n
C
р
(n*p* – n
1
p
1
)]. (56)
Заменив п* на п +
n и p* на p + p, получим:
τ = (n + n
1
+ n) / [C
р
(n + p + n)] +
(p + p
1
+ p) / [C
n
(n + p + n)], (57)
где C
n
=
σ
n
v
tп
N
t
= 1/τ
п
и C
р
=
σ
р
v
tр
N
t
= 1/τ
р
.
При малом уровне возбуждения, когда
n « п и p « p, уравнение (57) примет вид:
τ = τ
ро
(n + n
1
)/(n + p) + τ
по
(p + p
1
)/(n + p), (58)
где
τ
ро
время жизни равновесных пазоновнеосновных носителей заряда в п-типе;
τ
по
время жизни равновесных электроновнеосновных носителей заряда в р-типе.
Для невырожденного полупроводника п-типа при п
» р, п » р
1
и п < п
1
получим:
τ
р
τ
ро
n
1
/n = τ
ро
exp (E
t
– E
F
)/kT = τ
ро
(N
c
/n)
exp (E
t
– E
c
)/kT. (59)
Аналогичное выражение для
τ
п
получается для невырожденного полупроводника р-типа.
Как следует из уравнения (59), в полупроводнике п-типа увеличение концентрации сво-
бодных электронов п (донорной примеси),
уменьшает время жизни пазонов τ
р
неосновных
носителей заряда в п-типе.
И наоборот, увеличивается τ
р
с уменьшением концентрации сво-
бодных электронов п. При высоких концентрациях донорной примеси, когда полупроводник
начинает вырождаться, время жизни пазонов
τ
р
, достигнув минимального значения, переста-
ёт зависеть от степени легирования.
Для германия п-типа при комнатной температуре
τ
р
уменьшается: с 210
–3
с при п = 10
14
см
–3
до 410
–5
с при п = 10
17
см
–3
и может быть описано эмпирическим уравнением [1, рис. 7-8]:
τ
р
10
–4.6
[(10
17
.6
/п)
½
+ 1], с. (60)
10. Вольтамперные ха рактер истики контактов
металл полупроводник
Контактам металлполупроводник (МП) посвящена обширная литература: и теории
униполярной проводимости, и способам получения контактов МП, и зависимости их вольт-
амперных характеристик (ВАХ) от различных факторов. Это неслучайно, поскольку кон-
такты МП являются
основой полупроводниковой электроники, особенно выпрямляющие
контакты металлполупроводник n-типа. Хотя методы создания таких контактов разные
вакуумное напыление, электроосаждение, наплавление и другиеих ВАХ обычно мало за-
висят от способа изготовления, но существенноот условий его выполнения.
Содержание этого параграфа, даже представленного в простейшей форме, требует от
неподготовленного читателя знания ряда исходных сведений, изложенных выше, в главе 1 и
в других разделах данного издания, а также в книгах по физике полупроводников [1-3]. По-
этому, при необходимости, сначала следует изучить эти сведения.
      Если концентрация ловушек в полупроводнике мала по сравнению с плотностью избы-
точных носителей заряда, т. е. если Nt « ∆n, то количеством электронов Nt ft, оседающих на ло-
вушках, можно пренебречь. При этом условии избыточная концентрация электронов будет
равна избыточной концентрации пазонов, т. е. ∆n = ∆p и Rn* = Rр* = R*. Из равенства уравнений
(49) и (50) найдём функцию распределения ft, для электронов, находящихся на ловушках.
      ft = (Cn n* + Cр p1) / [Cn(n* + n1) + Cр(p* + p1)].                             (53)
      Подставив это выражение ft в уравнение (49), получим общее уравнение для R:
      R = Cn Cр (n*p* – n1p1) / [Cn(n* + n1) + Cр(p* + p1)].                          (54)
                                                       2
      С учётом уравнений (48), (51) и (7) (n1 p1 = ni = np) его можно преобразовать к виду:
     R = CnCр (n*p* – ni2) / {Сn [n* + Nc exp (Et –Ec)/kT ] + Сp [p* + Nv exp(Ev–Et)/kT ]}. (55)
        Зная скорость рекомбинации неравновесных носителей заряда R = dn/dt = ∆n/τ, можно
определить время жизни τ пары электрон–пазон. При Rn = Rр и ∆n = ∆p имеем:
        τ = ∆n /R = (п* – п)/R = ∆n [Cn(n* + n1) + Cр(p* + p1)] / [Cn Cр (n*p* – n1p1)]. (56)
        Заменив п* на п + ∆n и p* на p + ∆p, получим:
        τ = (n + n1 + ∆n) / [Cр (n + p + ∆n)] + (p + p1 + ∆p) / [Cn (n + p + ∆n)],       (57)
где Cn = σn vtп Nt = 1/τп и Cр = σр vtр Nt = 1/τр.
        При малом уровне возбуждения, когда ∆n « п и ∆p « p, уравнение (57) примет вид:
        τ = τро(n + n1)/(n + p) + τпо(p + p1)/(n + p),                                   (58)
где τ р о – время жизни равновесных пазонов – неосновных носителей заряда в п-типе;
τ п о – время жизни равновесных электронов – неосновных носителей заряда в р-типе.
        Для невырожденного полупроводника п-типа при п » р, п » р1 и п < п1 получим:
     τр ≈ τро n1/n = τро exp (Et – EF)/kT = τро (Nc /n) exp (Et – Ec)/kT.                  (59)
      Аналогичное выражение для τп получается для невырожденного полупроводника р-типа.
      Как следует из уравнения (59), в полупроводнике п-типа увеличение концентрации сво-
бодных электронов п (донорной примеси), уменьшает время жизни пазонов τр – неосновных
носителей заряда в п-типе. И наоборот, увеличивается τр с уменьшением концентрации сво-
бодных электронов п. При высоких концентрациях донорной примеси, когда полупроводник
начинает вырождаться, время жизни пазонов τр, достигнув минимального значения, переста-
ёт зависеть от степени легирования.
      Для германия п-типа при комнатной температуре τр уменьшается: с 2⋅10–3 с при п = 1014 см–3
до 4⋅10–5 с при п = 1017 см–3 и может быть описано эмпирическим уравнением [1, рис. 7-8]:
     τр ≈ 10–4.6[(1017.6/п)½ + 1], с.                                                      (60)

     10. Вольтамперные характеристики контактов
         металл – полупроводник
      Контактам металл – полупроводник (МП) посвящена обширная литература: и теории
униполярной проводимости, и способам получения контактов МП, и зависимости их вольт-
амперных характеристик (ВАХ) от различных факторов. Это неслучайно, поскольку кон-
такты МП являются основой полупроводниковой электроники, особенно выпрямляющие
контакты металл – полупроводник n-типа. Хотя методы создания таких контактов разные –
вакуумное напыление, электроосаждение, наплавление и другие – их ВАХ обычно мало за-
висят от способа изготовления, но существенно – от условий его выполнения.
      Содержание этого параграфа, даже представленного в простейшей форме, требует от
неподготовленного читателя знания ряда исходных сведений, изложенных выше, в главе 1 и
в других разделах данного издания, а также в книгах по физике полупроводников [1-3]. По-
этому, при необходимости, сначала следует изучить эти сведения.

                                                 20