ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
3
ПРЕДИСЛОВИЕ
Прошло более полувека со дня открытия транзисторного эффекта (1948 г), который
привел к бурному развитию полупроводниковой электроники, созданию новой современной
промышленности по выпуску малогабаритных, энергоэкономных, долговечных устройств на
основе полупроводников. Человечество ждет революция в области информатики, связи, бла-
годаря широкому внедрению новой полупроводниковой оргтехники в виде компьютеров,
средств печати, коммуникаций, например, в виде сети Интернет.
Химические и электрохимические процессы широко используются в технологии изго-
товления полупроводниковых устройств. Кроме того, эти процессы, особенно электрохими-
ческие, связанные с прохождением электрического тока, часто определяют стабильность и
долговечность работы приборов и схем. Отсюда ясна необходимость знания электрохимии
полупроводников, т. е. природы и кинетики электрохимических процессов с участием полу-
проводников для того, чтобы уметь прогнозировать и управлять этими процессами.
Однако, несмотря на обилие научной, технической и учебной литературы по физике и
технологии полупроводников и полупроводниковых устройств до настоящего времени учеб-
ников и учебных пособий по электрохимии полупроводников нет. Есть ряд хороших науч-
ных обзоров и монографий (Д. Тарнера, Х. Геришера и др.), изданных за рубежом преиму-
щественно в 60-х годах. В нашей стране большой вклад в изучение и освоение электрохимии
полупроводников внесли изданные на русском языке монографии по электрохимии полупро-
водников В.А. Ефимова и И.Г. Ерусалимчика (1963), В.А. Мямлина и Ю.В. Плескова (1965),
Ю.Я. Гуревича и Ю.В. Плескова (1983). Но это академические издания, особенно последние
две работы, рассчитанные, во-первых, на достаточно подготовленного специалиста. Во-
вторых, они, на год их издания, содержат обзор практически всех научных сообщений по из-
лагаемой теме, что, бесспорно, хорошо для специалиста в этой области. Но эта многогран-
ность затрудняет восприятие главных моментов тому, кто впервые изучает электрохимию
полупроводников. В-третьих, изданные небольшими тиражами и давно, они стали библио-
графической редкостью, недоступной массовому читателю.
Настоящее учебное пособие представляет собой изложение курса лекций по электрохи-
мии полупроводников, которые автор более трёх десятилетий читал студентам 4 курса Том-
ского и Алтайского университетов, специализирующихся по физикохимии полупроводни-
ков. Оно включает переработанное учебное пособие по электрохимии полупроводников, из-
данное автором в 1998 году. В пособии учтено, что студенты предварительно изучают курсы
физической химии, физики, химии и термодинамики полупроводников. Поэтому общие во-
просы этих курсов в пособии не освещаются. Однако чтобы расширить круг читателей и
сделать пособие более доступным для студентов младших курсов и работников электронной
промышленности, в начале пособия и каждой главы, а также некоторых разделов приводятся
элементарные понятия физики полупроводников и общей электрохимии, необходимые для
понимания последующего материала. С другой стороны, в пособие не включен ряд теорети-
ческих разработок, носящих скорее академический, чем познавательный характер.
Особенность данного учебного пособия – изложение различных объяснений экспери-
ментальных фактов разными авторами, поскольку в этой новой, развивающейся науке не всё
ещё выкристаллизовалось, не всё ещё приведено к единому знаменателю. Но, учитывая, что
это учебное пособие, в нем приведены ссылки лишь на обзорные, первые или наиболее важ-
ные, по мнению автора, работы. Для удобства читателя, желающего углубить свои знания по
отдельным разделам электрохимии полупроводников, ссылки на используемую литературу
указываются непосредственно в тексте, а список её приводится в конце каждой главы.
ПРЕДИСЛОВ ИЕ Прошло более полувека со дня открытия транзисторного эффекта (1948 г), который привел к бурному развитию полупроводниковой электроники, созданию новой современной промышленности по выпуску малогабаритных, энергоэкономных, долговечных устройств на основе полупроводников. Человечество ждет революция в области информатики, связи, бла- годаря широкому внедрению новой полупроводниковой оргтехники в виде компьютеров, средств печати, коммуникаций, например, в виде сети Интернет. Химические и электрохимические процессы широко используются в технологии изго- товления полупроводниковых устройств. Кроме того, эти процессы, особенно электрохими- ческие, связанные с прохождением электрического тока, часто определяют стабильность и долговечность работы приборов и схем. Отсюда ясна необходимость знания электрохимии полупроводников, т. е. природы и кинетики электрохимических процессов с участием полу- проводников для того, чтобы уметь прогнозировать и управлять этими процессами. Однако, несмотря на обилие научной, технической и учебной литературы по физике и технологии полупроводников и полупроводниковых устройств до настоящего времени учеб- ников и учебных пособий по электрохимии полупроводников нет. Есть ряд хороших науч- ных обзоров и монографий (Д. Тарнера, Х. Геришера и др.), изданных за рубежом преиму- щественно в 60-х годах. В нашей стране большой вклад в изучение и освоение электрохимии полупроводников внесли изданные на русском языке монографии по электрохимии полупро- водников В.А. Ефимова и И.Г. Ерусалимчика (1963), В.А. Мямлина и Ю.В. Плескова (1965), Ю.Я. Гуревича и Ю.В. Плескова (1983). Но это академические издания, особенно последние две работы, рассчитанные, во-первых, на достаточно подготовленного специалиста. Во- вторых, они, на год их издания, содержат обзор практически всех научных сообщений по из- лагаемой теме, что, бесспорно, хорошо для специалиста в этой области. Но эта многогран- ность затрудняет восприятие главных моментов тому, кто впервые изучает электрохимию полупроводников. В-третьих, изданные небольшими тиражами и давно, они стали библио- графической редкостью, недоступной массовому читателю. Настоящее учебное пособие представляет собой изложение курса лекций по электрохи- мии полупроводников, которые автор более трёх десятилетий читал студентам 4 курса Том- ского и Алтайского университетов, специализирующихся по физикохимии полупроводни- ков. Оно включает переработанное учебное пособие по электрохимии полупроводников, из- данное автором в 1998 году. В пособии учтено, что студенты предварительно изучают курсы физической химии, физики, химии и термодинамики полупроводников. Поэтому общие во- просы этих курсов в пособии не освещаются. Однако чтобы расширить круг читателей и сделать пособие более доступным для студентов младших курсов и работников электронной промышленности, в начале пособия и каждой главы, а также некоторых разделов приводятся элементарные понятия физики полупроводников и общей электрохимии, необходимые для понимания последующего материала. С другой стороны, в пособие не включен ряд теорети- ческих разработок, носящих скорее академический, чем познавательный характер. Особенность данного учебного пособия изложение различных объяснений экспери- ментальных фактов разными авторами, поскольку в этой новой, развивающейся науке не всё ещё выкристаллизовалось, не всё ещё приведено к единому знаменателю. Но, учитывая, что это учебное пособие, в нем приведены ссылки лишь на обзорные, первые или наиболее важ- ные, по мнению автора, работы. Для удобства читателя, желающего углубить свои знания по отдельным разделам электрохимии полупроводников, ссылки на используемую литературу указываются непосредственно в тексте, а список её приводится в конце каждой главы. 3