Электрофизические методы исследования МДП-структур. Бормонтов Е.Н. - 11 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

11
N
=
1
0
с
м
A
1
8
-
3
2
⇔
1
0
1
7
1
⇔
1
0
1
7
5
⇔
1
0
1
6
2
⇔
1
0
1
6
1
⇔
1
0
1
6
5
⇔
1
0
1
5
2
⇔
1
0
1
5
1
⇔
1
0
1
5
5
⇔
1
0
1
4
2
⇔
1
0
1
4
1
⇔
1
0
1
4
100 1000 10000
Толщина слоя окисла, А
1,0
0,01
C
/
C
T
I
0,1
Рис. 4. Зависимость нормированной емкости от толщины слоя окисла . Параметр
кривых – уровень легирования кремния. 
                   1,0                         -3
                                 см       18

                            = 10
                         NA
                                     17
                            1   0
                           2⇔1 7
                             10
                           1⇔16
                             10
                           5⇔ 6
                               1

                             1 0
                           2⇔16
                            10
                           1⇔15
                             10
        CT / C I



                           5⇔15
                   0,1      10
                               ⇔
                          2

                                15

                               10
                               ⇔
                           1
                                14

                               10
                           5⇔
                               14
                            10




                               ⇔
                          2




                                14

                               10
                               ⇔
                           1




              0,01
                  100                                      1000                    10000
                                                Тол щ и н а с л оя ок и с л а, А


Ри с. 4. За ви си мо стьно р ми р о ва нно й е мко сти о тто лщ и ны сло я о ки сла . П а р а ме тр
        кр и вы х – ур о ве ньле ги р о ва ни я кр е мни я.




                                                           11

Страницы