ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
27
КОНТРОЛЬНЫЕ ВОПРОСЫ
1. Изложите физические основы вольт - фарадного метода контроля профиля
легирования.
2. Какие физические ограничения существуют для применения метода в
исследовательской практике ?
3. Назовите основные методы контроля профиля легирования
полупроводников и преимущества вольт - фарадного метода .
4. Сформулируйте допущения аппроксимации истощённого слоя. Когда
нужно учитывать поправку Кеннеди-О 'Брайена ?
5. На каких глубинах становится существенной поправка на влияние
свободных носителей? Как можно учесть свободные носители заряда , не прибегая
к измерению низкочастотной ВФХ?
6. Сформулируйте критерий, согласно которому можно пренебречь влиянием
перезарядки поверхностных состояний.
7. Назовите основные параметры распределения ионно -имплантированной
примеси . Каким образом они определяются?
8. Назовите характерные профили распределения примеси при
диффузионной загонке и разгонке . Что понимается под диффузионной длиной?
9. Чем определяется разрешение вольт- фарадного метода по координате ?
10. Получите критерий для оценки нижнего предела концентрации ионно -
имплантированной примеси , начиная с которой неучёт поправки Кеннеди-
О 'Брайена может привести к ошибке , превышающей 4% в предположении
гауссова распределения, если 06,0
=
∆
p
R мкм.
ЛИТЕРАТУРА
1. Бормонтов Е.Н. Физика и метрология МДП-структур . -Воронеж, 1997.-
C.80-88.
2. Павлов Л.П. Методы измерения параметров полупроводниковых
материалов. -М ., 1987. - C. 172-181.
3. Батавин В .В ., Концевой В .А., Федорович Ю .В . Измерение параметров
полупроводниковых материалов и структур . -М ., 1985. - C. 82-97.
4. Рембеза С .И . Методы измерения основных параметров полупроводников.
-Воронеж, 1989. - C. 63-67.
5. МОП-СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов /
Под ред. П . Антонетти . -М ., 1988. - C. 114-130.
6. Риссел Х., Ругге И . Ионная имплантация. -М ., 1983. - 425 с.
Составитель: Бормонтов Евгений Николаевич
Редактор : Тихомирова Ольга Александровна
К О НТ Р О Л ЬНЫ Е ВО ПР О СЫ
1. И зло ж и те ф и зи че ски е о сно вы во льт-ф а р а дно го ме то да ко нтр о ля пр о ф и ля
ле ги р о ва ни я.
2. Ка ки е ф и зи че ски е о гр а ни че ни я сущ е ствую т для пр и ме не ни я ме то да в
и ссле до ва те льско й пр а кти ке ?
3. Н а зо ви те о сно вны е ме то ды ко нтр о ля пр о ф и ля ле ги р о ва ни я
по лупр о во дни ко в и пр е и мущ е ства во льт-ф а р а дно го ме то да .
4. Сф о р мули р уйте до пущ е ни я а ппр о кси ма ци и и сто щ ённо го сло я. Ко гда
нуж но учи ты ва тьпо пр а вку Ке нне ди -О 'Бр а йе на ?
5. Н а ка ки х глуб и на х ста но ви тся сущ е стве нно й по пр а вка на вли яни е
сво б о дны х но си те ле й? Ка к мо ж но уче стьсво б о дны е но си те ли за р яда , не пр и б е га я
к и зме р е ни ю ни зко ча сто тно й В Ф Х ?
6. Сф о р мули р уйте кр и те р и й, со гла сно ко то р о му мо ж но пр е не б р е чьвли яни е м
пе р е за р ядки по ве р х но стны х со сто яни й.
7. Н а зо ви те о сно вны е па р а ме тр ы р а спр е де ле ни я и о нно -и мпла нти р о ва нно й
пр и ме си . Ка ки м о б р а зо м о ни о пр е де ляю тся?
8. Н а зо ви те х а р а кте р ны е пр о ф и ли р а спр е де ле ни я пр и ме си пр и
ди ф ф узи о нно й за го нке и р а зго нке . Ч то по ни ма е тся по д ди ф ф узи о нно й дли но й?
9. Ч е м о пр е де ляе тся р а зр е ш е ни е во льт-ф а р а дно го ме то да по ко о р ди на те ?
10. П о лучи те кр и те р и й для о це нки ни ж не го пр е де ла ко нце нтр а ци и и о нно -
и мпла нти р о ва нно й пр и ме си , на чи на я с ко то р о й не учёт по пр а вки Ке нне ди -
О 'Бр а йе на мо ж е т пр и ве сти к о ш и б ке , пр е вы ш а ю щ е й 4% в пр е дпо ло ж е ни и
га уссо ва р а спр е де ле ни я, е сли ∆R p = 0,06 мкм.
Л И ТЕР А ТУР А
1. Бо р мо нто в Е.Н . Ф и зи ка и ме тр о ло ги я М Д П -стр уктур . -В о р о не ж , 1997.-
C.80-88.
2. П а вло в Л .П . М е то ды и зме р е ни я па р а ме тр о в по лупр о во дни ко вы х
ма те р и а ло в. -М ., 1987. - C. 172-181.
3. Ба та ви н В .В ., Ко нце во й В .А., Ф е до р о ви ч Ю .В . И зме р е ни е па р а ме тр о в
по лупр о во дни ко вы х ма те р и а ло в и стр уктур . -М ., 1985. - C. 82-97.
4. Ре мб е за С.И . М е то ды и зме р е ни я о сно вны х па р а ме тр о в по лупр о во дни ко в.
-В о р о не ж , 1989. - C. 63-67.
5. М О П -СБИ С. М о де ли р о ва ни е эле ме нто в и те х но ло ги че ски х пр о це ссо в /
П о д р е д. П . Анто не тти . -М ., 1988. - C. 114-130.
6. Ри ссе л Х ., Ругге И . И о нна я и мпла нта ци я. -М ., 1983. - 425 с.
Со ста ви те ль: Бо р мо нто в Евге ни й Н и ко ла е ви ч
Ре да кто р : Ти х о ми р о ва О льга Але кса ндр о вна
27
