ВУЗ:
Составители:
Рубрика:
2
Настоящие учебно -методические материалы являются дополнением к
учебному пособию «Физика и метрология МДП-структур» (Воронеж. Изд-во
ВГУ . 1997), в котором изложены физические основы теории структур металл-
диэлектрик-полупроводник, методы анализа равновесных характеристик и
неравновесных процессов, свойства и методы исследования МДП-структур ,
составляющих основу элементной базы твердотельной электроники.
Эффективным средством исследования таких структур являются
электрофизические методы, анализу и практической реализации которых и
посвящено настоящее пособие . Особое внимание в пособии обращено на
корректность применимости методов и интерпретацию получаемых результатов,
поскольку обеспечивая высокую чувствительность, электрофизические измерения
дают лишь косвенную информацию об исследуемом объекте .
Материалы пособия подготовлены для практических занятий по спецкурсам
«Физика МДП-структур» и «МДП-приборы», которые читаются для студентов,
обучающихся по специальности «Микроэлектроника и полупроводниковые
приборы», однако могут представлять интерес и для студентов других
физических специальностей.
Печатается по решению НМС физического
факультета от 26 декабря 2001г.
Н а сто ящ и е уче б но -ме то ди че ски е ма те р и а лы являю тся до по лне ни е м к
уче б но му по со б и ю «Ф и зи ка и ме тр о ло ги я М Д П -стр уктур » (В о р о не ж . И зд-во
В ГУ . 1997), в ко то р о м и зло ж е ны ф и зи че ски е о сно вы те о р и и стр уктур ме та лл-
ди эле ктр и к-по лупр о во дни к, ме то ды а на ли за р а вно ве сны х х а р а кте р и сти к и
не р а вно ве сны х пр о це ссо в, сво йства и ме то ды и ссле до ва ни я М Д П -стр уктур ,
со ста вляю щ и х о сно ву эле ме нтно й б а зы тве р до те льно й эле ктр о ни ки .
Э ф ф е кти вны м ср е дство м и ссле до ва ни я та ки х стр уктур являю тся
эле ктр о ф и зи че ски е ме то ды , а на ли зу и пр а кти че ско й р е а ли за ци и ко то р ы х и
по свящ е но на сто ящ е е по со б и е . О со б о е вни ма ни е в по со б и и о б р а щ е но на
ко р р е ктно стьпр и ме ни мо сти ме то до в и и нте р пр е та ци ю по луча е мы х р е зульта то в,
по ско льку о б е спе чи ва я вы со кую чувстви те льно сть, эле ктр о ф и зи че ски е и зме р е ни я
да ю тли ш ько све нную и нф о р ма ци ю о б и ссле дуе мо м о б ъе кте .
М а те р и а лы по со б и я по дго то вле ны для пр а кти че ски х за няти й по спе цкур са м
«Ф и зи ка М Д П -стр уктур » и «М Д П -пр и б о р ы », ко то р ы е чи та ю тся для студе нто в,
о б уча ю щ и х ся по спе ци а льно сти «М и кр о эле ктр о ни ка и по лупр о во дни ко вы е
пр и б о р ы », о дна ко мо гут пр е дста влять и нте р е с и для студе нто в др уги х
ф и зи че ски х спе ци а льно сте й.
П е ча та е тся по р е ш е ни ю Н М С ф и зи че ско го
ф а культе та о т26 де ка б р я 2001г.
2
