Электрофизические методы исследования МДП-структур. Часть 2. Бормонтов Е.Н. - 27 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

27
Тогда с учетом того, что полная ёмкость МДП-структуры определяется
соотношением
s
tW
i
CtC εε
0
)(
1
)(
1
+=
, (7)
подставляя выражение (6) в формулу (7), получим связь между
)
(
t
C
и
)
(
t
n
:
()
2
1
0
)(
2
1
)(
++= t
n
Q
g
V
i
C
qN
s
i
C
tC
i
C
A
εε
. (8)
Заметим , что для реальных МДП-структур характер релаксации
неравновесной ёмкости также определяется формулой (8), только вместо
V
g
нужно использовать разность напряжений ( V
g
- V
FB
), а вместо
n
-
сумму зарядов
ss
n
+
.
Соотношение для определения поверхностной плотности заряда в
инверсионном слое
)
(
t
n
по результатам измерения релаксационной
кривой C(t) получается простым преобразованием формулы (8):
g
V
i
C
tC
i
C
i
C
qN
s
t
n
Q
A
−
−
= 1
)(2
)(
2
0
εε
. (9)
Скорость генерации электронно- дырочных пар определяется
соотношением
2
1
0
)(2
)(
1
)(
−=−=
tC
i
C
dt
d
i
C
N
s
dt
t
n
dQ
q
tG
A
εε
. (10)
Таким образом , соотношение (10) позволяет экспериментально
определить суммарный темп генерации носителей заряда в обеднённом
слое по углу наклона зависимости C
i
/C(t) в каждый момент времени t . Для
выделения отдельных составляющих генерационного процесса следует
рассмотреть основные механизмы релаксации инверсионного слоя . 
                                        27

Т огда с учетом того, что полная ёмкость М Д П -структуры определя ется
соотнош ением
                          1 = 1 + W (t ) ,                            (7)
                         C (t ) Ci ε 0ε s
подставля я вы раж ение (6) в ф ормулу (7), получим свя зь меж ду C(t) и
 Qn (t ) :
                                                      1
                Ci     
                     = 1 +
                            2Ci
                                    (            
                                                  )
                                   C V + Qn (t )  2 .
               C (t )  ε 0ε s qN A i g
                                                                         (8)
                                                 

Заметим, что для реальны х М Д П -структур характер релаксации
неравновесной ёмкости такж еопределя ется ф ормулой (8), только вместо
Vg нуж но использовать разность напря ж ений ( Vg - VFB ), авместо Qn -
сумму заря дов Qn + Qss .
     Соотнош ение для определения поверхностной плотности заря да в
инверсионном слое Qn (t ) по результатам измерения релаксационной
кривой C(t) получается просты м преоб разованием ф ормулы (8):
                       ε 0ε s qN A  Ci  2 
             Qn (t ) =                    − 1 − CiV g .
                           2Ci  C (t ) 
                                                                         (9)
                                              
Скорость     генерации          электронно-ды рочны х      пар определя ется
соотнош ением
                                                          1
                         dQ (t ) ε ε N     C 
             G (t ) = − 1 n = − 0 s A d  i  2 .                       (10)
                        q dt       2Ci dt  C (t ) 

      Т аким об разом, соотнош ение (10) позволя ет экспериментально
определить суммарны й темп генерации носителей заря да в об еднённом
слоепо углу наклоназависимости Ci /C(t) в каж ды й момент времени t. Д ля
вы деления отдельны х составля ю щ их генерационного процессаследует
рассмотреть основны е механизмы релаксации инверсионного слоя .

Страницы