Наклонная ионная имплантация. Бормонтов Е.Н - 8 стр.

                                  8

       s:=s+sx; j2:=j2+1
      until abs(sx)<1e-10;
      erf:=s*2/sqrt(3.141592653589);
      end;
begin
writeln(' '); write('И сходн ая подлож к а: тип (n) или (p)? '); readln (tip);
if tip='n' then mu:=1400 else mu:=500;
write(' ,удель н оесопротивлен ие в О м*см? '); readln(ro);
Nicx:=1/(ro*eq*mu);
write(' ,э н ергия в к э В ? '); readln(e);
Rp:=Rpp(e);
dRp1:=dRpp1(e); dRp2:=dRpp2(e);
write(' ,дозав ион /см2 '); readln(q);
write(' уголпаден ия ион ов в градусах? '); readln(tetta); tetta:=tetta*pi/180;
dR:=dRp1*dRp1*cos(tetta)*cos(tetta);
dR:=dR+dRp2*dRp2*sin(tetta)*sin(tetta)/2; dR:=sqrt(dR);
j1:=20;
if Rp>=3*dRp1 then begin
  xj2:=Rp*cos(tetta)+dR*sqrt(2*ln(q/(sqrt(2*pi)*dR*Nicx)));
  xmax:=xj2+dR;
   h:=xmax/j1; Nmax:=q/(sqrt(2*pi)*dR);
  for j:=0 to j1 do
  begin
    x[j]:=h*j;
    econs:=x[j]-Rp*cos(tetta);
    N[j]:=Nmax*exp(-econs*econs/(2*dR1*dR1))-Nicx;
    writeln(x[j]*1e4:7:3,' mkm ',' ',N[j]:10,' cm-3 ');
  end;
end
else begin
  Nmax:= q/(sqrt(pi/2)*dR);
  Nmax:=Nmax/(1+erf(Rp*cos(tetta)/(sqrt(2)*dR)));
  xj2:=Rp*cos(tetta)+dR*sqrt(2*ln(Nmax/Nicx));
  xmax:=xj2+dR;
  h:=xmax/j1;
  for j:=0 to j1 do
  begin
    x[j]:=h*j;
    econs:=x[j]-Rp*cos(tetta);
    N[j]:=Nmax*exp(-econs*econs/(2*dR*dR))-Nicx;
    writeln(x[j]*1e4:7:3,' mkm ',' ',N[j]:10,' cm-3 ');
  end;
end;
readln(o)
end.