Наклонная ионная имплантация. Бормонтов Е.Н - 9 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

9
В результате вычислений по данной программе получены следующие
результаты :
x,мкм
N,см
-3
x,мкм
N,см
-3
0 1.9E+15
0.096
8.8E+16
0.009
9.3E+15
0.105
6.4E+16
0.017
2.1E+16
0.114
4.2E+16
0.026
3.8E+16
0.122
2.4E+16
0.035
5.9E+16
0.131
1.1E+16
0.044
8.3E+16
0.14
3.1E+15
0.052
1E+17 0.149
-1.7E+15
0.061
1.2E+17
0.157
-4.2E+15
0.07 1.2E+17
0.166
-5.4E+15
0.079
1.2E+17
0.175
-5.9E+15
0.087
1E+17
Данная задача эффективно решается средствами MathCAD 2000. Ниже
приведен листинг решения задачи на Mathcad 2000 и график распределения
суммарной концентрации фосфора и исходной примеси в подложке (рис.2).
qe1.610
19−
⋅ Kul⋅:= KulAsec⋅≡θ20
π
180
⋅:= Q10
12
cm
2−
:=
Rp7.3110
6−
⋅ cm:=∆Rp3.010
6−
⋅ cm:=∆Rt2.5510
6−
⋅ cm:=
∆R ∆Rp
2
cos θ
()
2
⋅
1
2
∆Rt
2
sin θ
()
2
⋅+:=
XmRp4∆Rp⋅+:=
Ni
1
qe500⋅
cm
2
Vsec⋅
⋅ 2⋅ ohm⋅ cm⋅
:=
Nx()
Q
π
2
∆R⋅ 1erfRp
cos θ
()
2∆R
⋅
+
⋅
e
xRpcos θ()⋅− ()
2
2∆R
2
⋅
−
⋅:=
Nfx()Nx()Ni−:=
                                                         9




      В резуль тате вы числен ий по дан н ой программеполучен ы следую щ ие
      резуль таты :

                            x,мк м               N,см-3        x,мк м               N,см-3
                              0                 1.9E+15        0.096              8.8E+16
                            0.009               9.3E+15        0.105              6.4E+16
                            0.017               2.1E+16        0.114              4.2E+16
                            0.026               3.8E+16        0.122              2.4E+16
                            0.035               5.9E+16        0.131              1.1E+16
                            0.044               8.3E+16         0.14              3.1E+15
                            0.052                1E+17         0.149              -1.7E+15
                            0.061               1.2E+17        0.157              -4.2E+15
                             0.07               1.2E+17        0.166              -5.4E+15
                            0.079               1.2E+17        0.175              -5.9E+15
                                                 0.087         1E+17

     Д ан н ая задача э ф ф ек тивн о реш ается средствами MathCAD 2000. Н иж е
приведен листин г реш ен ия задачи н а Mathcad 2000 и граф ик распределен ия
суммарн ой к он цен трации ф осф ораи исходн ой примеси в подлож к е(рис.2).

               − 19                                                           π                         12   −2
 qe := 1.6 ⋅ 10       ⋅ Kul         Kul ≡ A ⋅ sec            θ := 20 ⋅                   Q := 10 cm
                                                                          180
                      −6                               −6                                      −6
  Rp := 7.31 ⋅ 10 cm ∆Rp := 3.0 ⋅ 10 cm                            ∆Rt := 2.55 ⋅ 10 cm

  ∆R := ∆Rp ⋅ cos ( θ ) +                    ∆Rt ⋅ sin ( θ )
                  2                2     1       2             2
                                         2
  Xm := Rp + 4 ⋅ ∆Rp

                                1
  Ni :=
                               2
                           cm
          qe ⋅ 500 ⋅                   ⋅ 2 ⋅ ohm ⋅ cm
                       V ⋅ sec
                                                                                                    2
                                                                              ( x− Rp ⋅cos( θ ) )
                                                                          −
                                        Q                                                  2
                                                                                    2⋅∆R
  N( x) :=                                                           ⋅e
              π                                    cos ( θ )  
                  ⋅ ∆R ⋅  1 + erf  Rp ⋅                      
              2                                      2 ∆R    
  Nf( x) := N( x) − Ni

Страницы