Материалы твёрдотельной микро- и наноэлектроники. Брусенцов Ю.А - 21 стр.

UptoLike

21
2. ПОЗИСТОРЫ
(ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ТВЁРДЫЕ РАСТВОРЫ
НА ОСНОВЕ ТИТАНАТА БАРИЯ)
Рассмотренные ранее оксидные полупроводники имеют очень
широкий интервал сопротивлений. По величине проводимости они
обеспечивают практически весь диапазон, необходимый для практиче-
ского использования. Серьёзным недостатком этих полупроводников
является их невысокий ТКС, составляющий всего несколько процен-
тов на 1 °С.
Во многих электронных схемах требуются датчики температуры
и термосопротивления с положительным ТКС. Для этих целей стали
разрабатываться и использоваться материалы, в которых наблюдается
аномальное изменение электросопротивления при фазовом переходе с
положительным ТКС до 50 % на 1 °С. Такие полупроводники получи-
ли название позисторов.
Материалы этого класса могут использоваться в качестве датчи-
ков, преобразующих механические колебания в электрические и на-
оборот.
Такие полупроводниковые материалы используются в качестве
излучателей ультразвуковых колебаний в дефектоскопии, а также пье-
зоэлектрических резонаторов, применяемых вместо колебательных
контуров и др.
Материалами пьезоэлементов служат как природные пьезоэлек-
трические материалы (кварц, сегнетова соль), так и искусственная пье-
зокерамика на основе титаната бария (ТБ-1), цирконата-титаната свин-
ца и др.
Технология этих материалов отличается рядом особенностей, ха-
рактерных для изготовления керамики. Наиболее широкое применение
в радиоэлектронике нашла пьезокерамика на основе твёрдых раство-
ров PbZrO
3
PbTiO
3
(ЦТС). При соотношении 53 54 % мол. PbZrO
3
и
47 46 % мол. PbTiO
3
керамика имеет наиболее высокие пьезоэлек-
трические характеристики. Для увеличения диэлектрической прони-
цаемости и расширения интервала рабочих температур в керамику
ЦТС вводят добавки бария или стронция.
Для получения сегнетомягкого материала керамику легируют ок-
сидами трех- и пятивалентных металлов (La
2
O
3
, Ta
2
O
3
, Sb
2
O
3
и др.).
При этом на несколько порядков возрастает удельное сопротивление и
уменьшается коэрцитивная сила пьезокерамики. Сегнетотвёрдый ма-
териал получают добавкой Fe
2
O
3
, который увеличивает коэрцитивную
силу и затрудняет поляризацию.