Материалы твёрдотельной микро- и наноэлектроники. Брусенцов Ю.А - 22 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Формование заготовок проводят прессованием. В результате не-

равномерного распределения давления формируются зоны неодинако-

вой плотности заготовки, что приводит к ухудшению свойств (расще-

плению резонансной частоты). Поэтому после прессования эти зоны

должны стачиваться. Затем заготовка поступает на обжиг при темпе-

ратуре 1200 – 1300 °С.

Характерной особенностью этого процесса является то, что при

температуре свыше 1100 °С происходит интенсивное испарение окси-

да свинца из заготовки, что приводит к изменению химического соста-

ва керамики. Поэтому для предотвращения этого обжиг проводят в

атмосфере, контролируемой по давлению PbO. С этой целью между

заготовками помещают источники паров PbO (например, цирконат

свинца), спрессованные при давлениях, значительно меньших, чем

заготовки пьезокерамики. Такие же результаты можно получить при

горячем прессовании, так как температура отжига снижается до 800 °С.

Отличительной чертой технологии изготовления пьезокерамики явля-

ется необходимость поляризации её сильным постоянным электриче-

ским полем. Для предотвращения поверхностного перекрытия поляри-

зацию проводят в изолирующей среде – трансформаторном масле или

кремний-органической жидкости в течение 1–2 часов.