Диффузионное перераспределение ионно-имплантированных примесей. Быкадорова Г.В - 1 стр.

М И Н И СТ Е РСТ В О О БРА ЗО В А Н И Я РО ССИ Й СК О Й Ф Е Д Е РА Ц И И

  В О РО Н Е Ж СК И Й ГО СУ Д А РСТ В Е Н Н Ы Й У Н И В Е РСИ Т Е Т




                Д и ф ф уз
                         и он н ое пе р е р а спр е де ле н и е
               и он н о-и м пла н ти р ова н н ы х пр и м е се й

        Практику м к спецку рсу “М оделирование         в
       микроэлектронике”   по     специаль ности  014100
       "М икроэлектроника и полу проводниковы еприборы "




                                  В оронеж
                                     2003