Диффузионное перераспределение ионно-имплантированных примесей. Быкадорова Г.В - 3 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

3
СОДЕРЖАНИЕ
1. Диффузия примеси из ионно - имплантированного слоя с начальным
гауссовским распределением . ………………………………….. ……… 4
2. Диффузия примеси из ионно - имплантированного слоя с начальным
распределением Пирсон-4 ………………………………………………. 10
3. Построение концентрационных профилей после диффузионной
разгонки ионно - имплантированной примеси с помощью
комбинированного распределения ……………………………………. 20
Литература ………………………………………………………………… 25 
                                        3




                             СО Д Е РЖ А Н И Е



1. Д иф ф у зия примеси из ионно-имплантированного слоя с началь ны м
   гау ссовским распределением. … … … … … … … … … … … … … .. … … …       4
2. Д иф ф у зия примеси из ионно-имплантированного слоя с началь ны м
   распределением Пирсон-4 … … … … … … … … … … … … … … … … … … . 10
3. Построениеконцентрационны х проф илей последиф ф у зионной
  разгонки ионно-имплантированной примеси с помощ ь ю
  комбинированного распределения … … … … … … … … … … … … … … . 20
Л итерату ра… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … …           25

Страницы