Диффузионное перераспределение ионно-имплантированных примесей. Быкадорова Г.В - 7 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

7
z4:=sqrt(2
*
dRp
*
dRp+z1
*
z1);
z5:=1+erf((z2-z3)/z4);
z5:=exp(-(z+Rp)/z4
*
(z+Rp)/z4*z5;
z5:=exp(-(z-Rp)/z4
*
(z-Rp)/z4)
*
(1+erf((z2+z3)/z4));
fn:=nm
*
z5;
end;
Begin
writeln (‘ ’);
write (‘ Исходная концентрация в подложке (см -3)? ‘); readln (ni);
write (‘ Доза имплантации (мкКл/см 2)? ‘); readln (doza);
doza:=doza
*
6.25e+12;
write (‘ Нормальный пробег (см )? ‘); readln (Rp);
write (‘ Среднекв. Отклонение (см )? ’); readln (dRp);
write (‘ Температура дифф. разгонки (гр. цельсия )? ’); readln (tem);
tem:=tem+273;
write (‘ Время диффузии (мин.)? ’); readln (time);
time:=time
*
60;
d:=dsb(tem); d:=d
*
time;
n:=xmax/20; nm:=doza/sqrt(pi
*
(2
*
dRp
*
dRp+4
*
d));
for i:=0 to 20 do begin
x[i]:=i
*
h; n[i]:=fn(x[i]-ni);
end;
if nm>ni then begin
xj1:=-1; xj2:=0.0;
for i:=1 to 20 do begin
if ((n[i-1]<=0.0) and (n[i]>=0.0)) then xj1:=(x[i-1]+x[i])/2;
if ((n[i-1]>=0.0) and (n[i]<=0.0)) then xj2:=(x[i-1]+x[i])/2;
end; end;
writeln (‘ ’);
writeln (‘ Таблица распределения примеси ’);
writeln (‘ ’); writeln (‘x, мкмN, см -3log|N| ‘); writeln (‘ ’);
for i:=0 to 20 do
writeln (x[i]*1.0e4:18:3, ‘‘ n[i]:9, ln(abs(n[i]))/2.3:15:2);
writeln (‘ ’);
write (‘ ’);
if xj1<0.0 then
writeln (‘Один p-n переход на глубине’, xj2
*
1e4:5:2,’мкм’);
else begin write (‘Два p-n перехода на глубинах’);
writeln(xj1
*
1e4:5:2,’мкм и’, xj2
*
1e4:5:2,’мкм’) end;
writeln (‘ ’)
End. 
                                      7
 z4:=sqrt(2*dRp*dRp+z1*z1);
 z5:=1+erf((z2-z3)/z4);
 z5:=exp(-(z+Rp)/z4*(z+Rp)/z4*z5;
 z5:=exp(-(z-Rp)/z4*(z-Rp)/z4)*(1+erf((z2+z3)/z4));
 fn:=nm*z5;
  end;
Begin
  writeln (‘ ’);
  write (‘ И сходная концентрация вподлож ке(см-3)? ‘); readln (ni);
  write (‘ Д озаимплантации (мкК л/см2)? ‘); readln (doza);
  doza:=doza*6.25e+12;
  write (‘ Н ормаль ны й пробег (см)? ‘); readln (Rp);
  write (‘ Среднекв. О тклонение(см)? ’); readln (dRp);
  write (‘ Т емперату радиф ф . разгонки (гр. цель сия)? ’); readln (tem);
  tem:=tem+273;
  write (‘ В ремя диф ф у зии (мин.)? ’); readln (time);
  time:=time *60;
  d:=dsb(tem); d:=d*time;
  n:=xmax/20; nm:=doza/sqrt(pi*(2*dRp*dRp+4*d));
  for i:=0 to 20 do begin
       x[i]:=i*h; n[i]:=fn(x[i]-ni);
  end;
  if nm>ni then begin
       xj1:=-1; xj2:=0.0;
       for i:=1 to 20 do begin
       if ((n[i-1]<=0.0) and (n[i]>=0.0)) then xj1:=(x[i-1]+x[i])/2;
       if ((n[i-1]>=0.0) and (n[i]<=0.0)) then xj2:=(x[i-1]+x[i])/2;
  end; end;
  writeln (‘ ’);
  writeln (‘            Т аблицараспределения примеси ’);
  writeln (‘ ’); writeln (‘x, мкмN, см-3log|N| ‘); writeln (‘ ’);
  for i:=0 to 20 do
  writeln (x[i]*1.0e4:18:3, ‘‘ n[i]:9, ln(abs(n[i]))/2.3:15:2);
  writeln (‘ ’);
  write (‘          ’);
  if xj1<0.0 then
  writeln (‘О дин p-n переход наглу бине’, xj2*1e4:5:2,’мкм’);
  else begin write (‘Д ваp-n переходанаглу бинах’);
  writeln(xj1*1e4:5:2,’мкм и’, xj2*1e4:5:2,’мкм’) end;
  writeln (‘ ’)
  End.

Страницы