Диффузионное перераспределение ионно-имплантированных примесей. Быкадорова Г.В - 8 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

8
ТАБЛИЦА РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСИ
x, мкм N, см
-3
logN
0.00
0.01
0.02
0.03
0.04
0.05
0.06
0.06
0.07
0.08
0.09
0.10
0.11
0.12
0.13
0.14
0.15
0.16
0.17
0.18
1.8E+019
1.8E+019
1.9E+019
1.8E+019
1.7E+019
1.6E+019
1.3E+019
9.7E+018
6.7E+018
4.3E+018
2.5E+018
1.3E+018
6.3E+017
2.8E+017
1.1E+017
4.0E+016
1.3E+016
3.5E+015
-3.4E+014
-5.6E+014
19.28
19.28
19.29
19.29
19.26
19.21
19.13
19.01
18.85
18.65
18.41
18.14
17.82
17.46
17.06
16.62
16.13
15.56
14.55
14.76
один p-n переход на глубине 0.17 мкм.
N, см -3
1.00E+14
1.00E+15
1.00E+16
1.00E+17
1.00E+18
1.00E+19
1.00E+20
00.050.10.150.2
x, мкм
Рис.1. Распределение ионно- имплантированной сурьмы (Е=50 кэВ ,
Q=10 мкКл/см
2
) после диффузионной разгонки при температуре 1000 °С
в течение 30 минут в подложке марки КДБ20 
                                             8
                 Т А БЛ И Ц А РА СПРЕ Д Е Л Е Н И Я ПРИ М Е СИ

       x, м км                       N, см -3               logN
        0.00                       1.8E+019                   19.28
        0.01                       1.8E+019                   19.28
        0.02                       1.9E+019                   19.29
        0.03                       1.8E+019                   19.29
        0.04                       1.7E+019                   19.26
        0.05                       1.6E+019                   19.21
        0.06                       1.3E+019                   19.13
        0.06                       9.7E+018                   19.01
        0.07                       6.7E+018                   18.85
        0.08                       4.3E+018                   18.65
        0.09                       2.5E+018                   18.41
        0.10                       1.3E+018                   18.14
        0.11                       6.3E+017                   17.82
        0.12                       2.8E+017                   17.46
        0.13                       1.1E+017                   17.06
        0.14                       4.0E+016                   16.62
        0.15                       1.3E+016                   16.13
        0.16                       3.5E+015                   15.56
        0.17                       -3.4E+014                  14.55
        0.18                       -5.6E+014                  14.76


один p-n переходнаглу бине0.17 мкм.
                                       N, с м -3

    1.00E+20

    1.00E+19

    1.00E+18

    1.00E+17

    1.00E+16

    1.00E+15

    1.00E+14
               0            0.05                 0.1     0.15           0.2
                                                                      x, м км
Рис.1. Распределение ионно-имплантированной су рь мы (Е =50 кэВ ,
Q=10 мкК л/см2) последиф ф у зионной разгонки при температу ре1000 °С
втечение30 мину твподлож кемарки К Д Б20

Страницы