Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 27 стр.

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Ⱦɥɹ ɩɨɥɭɱɟɧɢɹ ɜɵɫɨɤɨɝɨ ɢ ɫɜɟɪɯɜɵɫɨɤɨɝɨ ɜɚɤɭɭɦɚ ɫ ɩɨɦɨɳɶɸ ɚɞ-
ɫɨɪɛɰɢɨɧɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɧɟɨɛɯɨɞɢɦɚ ɩɟɪɢɨɞɢɱɟɫɤɚɹ ɩɪɨɤɚɱɤɚ ɧɟɚɞɫɨɪɛɢɪɭ-
ɟɦɵɯ ɝɚɡɨɜ ɜɫɩɨɦɨɝɚɬɟɥɶɧɵɦ ɧɚɫɨɫɨɦ ɨɛɴɟɦɧɨɝɨ ɞɟɣɫɬɜɢɹ.
Ʉ ɞɨɫɬɨɢɧɫɬɜɚɦ ɚɞɫɨɪɛɰɢɨɧɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɨɬɧɨɫɹɬɫɹ: ɩɪɨɫɬɨɬɚ ɤɨɧɫɬ-
ɪɭɤɰɢɢ; ɨɬɫɭɬɫɬɜɢɟ ɷɥɟɤɬɪɨɩɢɬɚɧɢɹ (ɢɦɟɸɳɢɟɫɹ ɷɥɟɤɬɪɨɧɚɝɪɟɜɚɬɟɥɢ
ɜɤɥɸɱɚɸɬɫɹ ɬɨɥɶɤɨ ɧɚ ɜɪɟɦɹ ɨɛɟɡɝɚɠɢɜɚɧɢɹ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɚ); ɨɛɟɫɩɟɱɟɧɢɟ
ɛɟɡɦɚɫɥɹɧɨɣ ɨɬɤɚɱɤɢ ɜ ɲɢɪɨɤɨɦ ɢɧɬɟɪɜɚɥɟ ɞɚɜɥɟɧɢɣ: ɨɬ ɚɬɦɨɫɮɟɪɧɨɝɨ ɞɨ
ɜɵɫɨɤɨɝɨ ɜɚɤɭɭɦɚ.
ɋɪɟɞɢ ɧɟɞɨɫɬɚɬɤɨɜ ɚɞɫɨɪɛɰɢɨɧɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɫɥɟɞɭɟɬ ɨɬɦɟɬɢɬɶ: ɨɝɪɚɧɢ-
ɱɟɧɧɭɸ ɫɨɪɛɰɢɨɧɧɭɸ ɟɦɤɨɫɬɶ ɧɚɫɨɫɚ ɩɨ ɜɨɡɞɭɯɭ ɢ ɡɚɜɢɫɢɦɨɫɬɶ ɞɚɜɥɟɧɢɹ
ɧɚɞ ɧɚɫɨɫɨɦ ɨɬ ɤɨɥɢɱɟɫɬɜɚ ɩɨɝɥɨɳɟɧɧɨɝɨ ɝɚɡɚ; ɦɚɥɭɸ ɫɨɪɛɰɢɨɧɧɭɸ ɟɦ-
ɤɨɫɬɶ ɧɚɫɨɫɚ ɩɨ ɜɨɞɨɪɨɞɭ, ɤɨɬɨɪɵɣ ɹɜɥɹɟɬɫɹ ɨɫɧɨɜɧɵɦ ɤɨɦɩɨɧɟɧɬɨɦ ɝɚɡɨ-
ɨɬɞɟɥɟɧɢɹ ɛɨɥɶɲɢɧɫɬɜɚ ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢɨɧɧɵɯ ɦɚɬɟɪɢɚɥɨɜ; ɧɟɨɛɯɨɞɢɦɨɫɬɶ
ɛɟɫɩɟɪɟɛɨɣɧɨɣ ɡɚɥɢɜɤɢ ɠɢɞɤɨɝɨ ɚɡɨɬɚ ɜ ɫɢɫɬɟɦɭ ɨɯɥɚɠɞɟɧɢɹ ɧɚɫɨɫɚ; ɧɟɨɛ-
ɯɨɞɢɦɨɫɬɶ ɜ ɱɚɫɬɨɣ ɪɟɝɟɧɟɪɚɰɢɢ (ɨɛɟɡɝɚɠɢɜɚɧɢɟ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɚ) ɧɚɫɨɫɚ (ɩɪɢ
ɷɬɨɦ ɤɚɱɟɫɬɜɨ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɚ ɩɨɫɥɟ ɧɟɫɤɨɥɶɤɢɯ ɰɢɤɥɨɜ ɪɟɝɟɧɟɪɚɰɢɢ ɡɚɦɟɬɧɨ
ɭɯɭɞɲɚɟɬɫɹ: ɚɞɫɨɪɛɟɧɬ ɨɫɵɩɚɟɬɫɹ, ɨɛɭɝɥɢɜɚɟɬɫɹ ɢ ɬ. ɩ.); ɜɨɡɦɨɠɧɨɫɬɶ ɡɚ-
ɩɵɥɟɧɢɹ ɜɚɤɭɭɦɧɨɣ ɫɢɫɬɟɦɵ ɢ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɨɝɨ ɨɛɴɟɤɬɚ ɩɪɨɞɭɤɬɚɦɢ ɪɚɡɥɨ-
ɠɟɧɢɹ ɢ ɨɫɵɩɚɧɢɹ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɨɜ, ɬɚɤ ɤɚɤ ɜɫɟ ɜɢɞɵ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɨɜ, ɩɪɢɦɟɧɹɟ-
ɦɵɯ ɜ ɷɬɢɯ ɧɚɫɨɫɚɯ, ɜ ɬɨɣ ɢɥɢ ɢɧɨɣ ɫɬɟɩɟɧɢ ɹɜɥɹɸɬɫɹ ɢɫɬɨɱɧɢɤɚɦɢ ɩɵɥɢ.
ɋɨɪɛɰɢɨɧɧɚɹ ɟɦɤɨɫɬɶ ɧɚɫɨɫɚ ɩɨ ɜɨɞɨɪɨɞɭ ɦɨɠɟɬ ɛɵɬɶ ɩɨɜɵɲɟɧɚ ɩɪɢ-
ɦɟɧɟɧɢɟɦ ɚɤɬɢɜɢɪɨɜɚɧɧɵɯ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɨɜ: ɩɥɚɬɢɧɢɪɨɜɚɧɧɵɯ ɢɥɢ ɩɚɥɥɚɞɢɪɨ-
ɜɚɧɧɵɯ ɫɢɥɢɤɚɝɟɥɟɣ ɢ ɬ. ɩ. ɇɚɫɨɫɵ ɫ ɚɤɬɢɜɢɪɨɜɚɧɧɵɦɢ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɚɦɢ ɩɨ-
ɡɜɨɥɹɸɬ ɩɨɥɭɱɢɬɶ ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɞɨ 10
-8
ɉɚ ɩɪɢ ɤɪɚɬɤɨɜɪɟɦɟɧɧɨɣ
ɩɪɟɞɜɚɪɢɬɟɥɶɧɨɣ ɨɬɤɚɱɤɟ ɜɫɩɨɦɨɝɚɬɟɥɶɧɵɦ ɧɚɫɨɫɨɦ ɫ ɰɟɥɶɸ ɫɧɢɠɟɧɢɹ
ɩɚɪɰɢɚɥɶɧɨɝɨ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɢɧɟɪɬɧɵɯ ɝɚɡɨɜ: ɝɟɥɢɹ ɢ ɧɟɨɧɚ.
2.4. Ʉɪɢɨɤɨɧɞɟɧɫɚɰɢɨɧɧɚɹ ɨɬɤɚɱɤɚ
Ⱦɟɣɫɬɜɢɟ ɤɪɢɨɤɨɧɞɟɧɫɚɰɢɨɧɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɨɫɧɨɜɚɧɨ ɧɚ ɩɨɝɥɨɳɟɧɢɢ ɨɬ-
ɤɚɱɢɜɚɟɦɨɝɨ ɝɚɡɚ ɨɯɥɚɠɞɟɧɧɨɣ ɞɨ ɧɢɡɤɨɣ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɵ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɶɸ. Ɍɚ-
ɤɚɹ ɨɬɤɚɱɤɚ ɜɨɡɦɨɠɧɚ ɩɪɢ ɭɫɥɨɜɢɢ, ɱɬɨ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɨɝɨ ɝɚɡɚ ɜ ɜɚ-
ɤɭɭɦɧɨɣ ɫɢɫɬɟɦɟ ɜɵɲɟ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɟɝɨ ɧɚɫɵɳɟɧɧɵɯ ɩɚɪɨɜ ɜ ɧɚɫɨɫɟ. Ɂɧɚɱɟ-
ɧɢɟ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɧɚɫɵɳɟɧɧɵɯ ɩɚɪɨɜ ɪɚɡɥɢɱɧɵɯ ɜɟɳɟɫɬɜ ɩɪɢɜɟɞɟɧɵ ɧɚ ɪɢɫ. 18.
27
    Ⱦɥɹ ɩɨɥɭɱɟɧɢɹ ɜɵɫɨɤɨɝɨ ɢ ɫɜɟɪɯɜɵɫɨɤɨɝɨ ɜɚɤɭɭɦɚ ɫ ɩɨɦɨɳɶɸ ɚɞ-
ɫɨɪɛɰɢɨɧɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɧɟɨɛɯɨɞɢɦɚ ɩɟɪɢɨɞɢɱɟɫɤɚɹ ɩɪɨɤɚɱɤɚ ɧɟɚɞɫɨɪɛɢɪɭ-
ɟɦɵɯ ɝɚɡɨɜ ɜɫɩɨɦɨɝɚɬɟɥɶɧɵɦ ɧɚɫɨɫɨɦ ɨɛɴɟɦɧɨɝɨ ɞɟɣɫɬɜɢɹ.
    Ʉ ɞɨɫɬɨɢɧɫɬɜɚɦ ɚɞɫɨɪɛɰɢɨɧɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɨɬɧɨɫɹɬɫɹ: ɩɪɨɫɬɨɬɚ ɤɨɧɫɬ-
ɪɭɤɰɢɢ; ɨɬɫɭɬɫɬɜɢɟ ɷɥɟɤɬɪɨɩɢɬɚɧɢɹ (ɢɦɟɸɳɢɟɫɹ ɷɥɟɤɬɪɨɧɚɝɪɟɜɚɬɟɥɢ
ɜɤɥɸɱɚɸɬɫɹ ɬɨɥɶɤɨ ɧɚ ɜɪɟɦɹ ɨɛɟɡɝɚɠɢɜɚɧɢɹ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɚ); ɨɛɟɫɩɟɱɟɧɢɟ
ɛɟɡɦɚɫɥɹɧɨɣ ɨɬɤɚɱɤɢ ɜ ɲɢɪɨɤɨɦ ɢɧɬɟɪɜɚɥɟ ɞɚɜɥɟɧɢɣ: ɨɬ ɚɬɦɨɫɮɟɪɧɨɝɨ ɞɨ
ɜɵɫɨɤɨɝɨ ɜɚɤɭɭɦɚ.
    ɋɪɟɞɢ ɧɟɞɨɫɬɚɬɤɨɜ ɚɞɫɨɪɛɰɢɨɧɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɫɥɟɞɭɟɬ ɨɬɦɟɬɢɬɶ: ɨɝɪɚɧɢ-
ɱɟɧɧɭɸ ɫɨɪɛɰɢɨɧɧɭɸ ɟɦɤɨɫɬɶ ɧɚɫɨɫɚ ɩɨ ɜɨɡɞɭɯɭ ɢ ɡɚɜɢɫɢɦɨɫɬɶ ɞɚɜɥɟɧɢɹ
ɧɚɞ ɧɚɫɨɫɨɦ ɨɬ ɤɨɥɢɱɟɫɬɜɚ ɩɨɝɥɨɳɟɧɧɨɝɨ ɝɚɡɚ; ɦɚɥɭɸ ɫɨɪɛɰɢɨɧɧɭɸ ɟɦ-
ɤɨɫɬɶ ɧɚɫɨɫɚ ɩɨ ɜɨɞɨɪɨɞɭ, ɤɨɬɨɪɵɣ ɹɜɥɹɟɬɫɹ ɨɫɧɨɜɧɵɦ ɤɨɦɩɨɧɟɧɬɨɦ ɝɚɡɨ-
ɨɬɞɟɥɟɧɢɹ ɛɨɥɶɲɢɧɫɬɜɚ ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢɨɧɧɵɯ ɦɚɬɟɪɢɚɥɨɜ; ɧɟɨɛɯɨɞɢɦɨɫɬɶ
ɛɟɫɩɟɪɟɛɨɣɧɨɣ ɡɚɥɢɜɤɢ ɠɢɞɤɨɝɨ ɚɡɨɬɚ ɜ ɫɢɫɬɟɦɭ ɨɯɥɚɠɞɟɧɢɹ ɧɚɫɨɫɚ; ɧɟɨɛ-
ɯɨɞɢɦɨɫɬɶ ɜ ɱɚɫɬɨɣ ɪɟɝɟɧɟɪɚɰɢɢ (ɨɛɟɡɝɚɠɢɜɚɧɢɟ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɚ) ɧɚɫɨɫɚ (ɩɪɢ
ɷɬɨɦ ɤɚɱɟɫɬɜɨ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɚ ɩɨɫɥɟ ɧɟɫɤɨɥɶɤɢɯ ɰɢɤɥɨɜ ɪɟɝɟɧɟɪɚɰɢɢ ɡɚɦɟɬɧɨ
ɭɯɭɞɲɚɟɬɫɹ: ɚɞɫɨɪɛɟɧɬ ɨɫɵɩɚɟɬɫɹ, ɨɛɭɝɥɢɜɚɟɬɫɹ ɢ ɬ. ɩ.); ɜɨɡɦɨɠɧɨɫɬɶ ɡɚ-
ɩɵɥɟɧɢɹ ɜɚɤɭɭɦɧɨɣ ɫɢɫɬɟɦɵ ɢ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɨɝɨ ɨɛɴɟɤɬɚ ɩɪɨɞɭɤɬɚɦɢ ɪɚɡɥɨ-
ɠɟɧɢɹ ɢ ɨɫɵɩɚɧɢɹ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɨɜ, ɬɚɤ ɤɚɤ ɜɫɟ ɜɢɞɵ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɨɜ, ɩɪɢɦɟɧɹɟ-
ɦɵɯ ɜ ɷɬɢɯ ɧɚɫɨɫɚɯ, ɜ ɬɨɣ ɢɥɢ ɢɧɨɣ ɫɬɟɩɟɧɢ ɹɜɥɹɸɬɫɹ ɢɫɬɨɱɧɢɤɚɦɢ ɩɵɥɢ.
    ɋɨɪɛɰɢɨɧɧɚɹ ɟɦɤɨɫɬɶ ɧɚɫɨɫɚ ɩɨ ɜɨɞɨɪɨɞɭ ɦɨɠɟɬ ɛɵɬɶ ɩɨɜɵɲɟɧɚ ɩɪɢ-
ɦɟɧɟɧɢɟɦ ɚɤɬɢɜɢɪɨɜɚɧɧɵɯ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɨɜ: ɩɥɚɬɢɧɢɪɨɜɚɧɧɵɯ ɢɥɢ ɩɚɥɥɚɞɢɪɨ-
ɜɚɧɧɵɯ ɫɢɥɢɤɚɝɟɥɟɣ ɢ ɬ. ɩ. ɇɚɫɨɫɵ ɫ ɚɤɬɢɜɢɪɨɜɚɧɧɵɦɢ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɚɦɢ ɩɨ-
ɡɜɨɥɹɸɬ ɩɨɥɭɱɢɬɶ ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɞɨ 10-8 ɉɚ ɩɪɢ ɤɪɚɬɤɨɜɪɟɦɟɧɧɨɣ
ɩɪɟɞɜɚɪɢɬɟɥɶɧɨɣ ɨɬɤɚɱɤɟ ɜɫɩɨɦɨɝɚɬɟɥɶɧɵɦ ɧɚɫɨɫɨɦ ɫ ɰɟɥɶɸ ɫɧɢɠɟɧɢɹ
ɩɚɪɰɢɚɥɶɧɨɝɨ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɢɧɟɪɬɧɵɯ ɝɚɡɨɜ: ɝɟɥɢɹ ɢ ɧɟɨɧɚ.

    2.4. Ʉɪɢɨɤɨɧɞɟɧɫɚɰɢɨɧɧɚɹ ɨɬɤɚɱɤɚ

     Ⱦɟɣɫɬɜɢɟ ɤɪɢɨɤɨɧɞɟɧɫɚɰɢɨɧɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɨɫɧɨɜɚɧɨ ɧɚ ɩɨɝɥɨɳɟɧɢɢ ɨɬ-
ɤɚɱɢɜɚɟɦɨɝɨ ɝɚɡɚ ɨɯɥɚɠɞɟɧɧɨɣ ɞɨ ɧɢɡɤɨɣ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɵ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɶɸ. Ɍɚ-
ɤɚɹ ɨɬɤɚɱɤɚ ɜɨɡɦɨɠɧɚ ɩɪɢ ɭɫɥɨɜɢɢ, ɱɬɨ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɨɝɨ ɝɚɡɚ ɜ ɜɚ-
ɤɭɭɦɧɨɣ ɫɢɫɬɟɦɟ ɜɵɲɟ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɟɝɨ ɧɚɫɵɳɟɧɧɵɯ ɩɚɪɨɜ ɜ ɧɚɫɨɫɟ. Ɂɧɚɱɟ-
ɧɢɟ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɧɚɫɵɳɟɧɧɵɯ ɩɚɪɨɜ ɪɚɡɥɢɱɧɵɯ ɜɟɳɟɫɬɜ ɩɪɢɜɟɞɟɧɵ ɧɚ ɪɢɫ. 18.



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