Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 26 стр.

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ВГУ | Воронеж

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Ɋɢɫ. 17. Ʉɨɧɫɬɪɭɤɬɢɜɧɵɟ ɫɯɟɦɵ ɤɪɢɨɚɞɫɨɪɛɰɢɨɧɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ
ɋɯɟɦɵ ɤɪɢɨɚɞɫɨɪɛɰɢɨɧɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɫ ɧɟɩɨɞɜɢɠɧɵɦ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɨɦ
ɤɨɧɫɬɪɭɤɬɢɜɧɨ ɩɪɨɫɬɵ, ɧɨ ɬɪɟɛɭɸɬ ɞɨɩɨɥɧɢɬɟɥɶɧɨɣ ɚɪɦɚɬɭɪɵ ɢ ɞɭɛɥɢɪɨ-
ɜɚɧɢɹ ɨɬɤɚɱɧɵɯ ɫɪɟɞɫɬɜ ɞɥɹ ɨɛɟɫɩɟɱɟɧɢɹ ɧɟɩɪɟɪɵɜɧɨɝɨ ɩɪɨɰɟɫɫɚ ɨɬɤɚɱɤɢ,
ɢɦɟɸɬ ɜɵɫɨɤɢɟ ɷɤɫɩɥɭɚɬɚɰɢɨɧɧɵɟ ɪɚɫɯɨɞɵ ɤɪɢɨɚɝɟɧɬɚ ɢ ɷɥɟɤɬɪɨɷɧɟɪɝɢɢ
ɧɚ ɢɡɦɟɧɟɧɢɟ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɵ ɧɟ ɬɨɥɶɤɨ ɫɚɦɨɝɨ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɚ, ɧɨ ɢ ɤɨɪɩɭɫɚ ɧɚ-
ɫɨɫɚ.
Ɍɚɛɥɢɰɚ 2
ɋɜɨɣɫɬɜɚ ɫɠɢɠɟɧɧɵɯ ɝɚɡɨɜ
ɉɚɪɚɦɟɬɪɵ N
2
Ne H
2
He
Ɍɟɦɩɟɪɚɬɭɪɚ ɤɢɩɟɧɢɹ ɩɪɢ ɚɬɦɨɫɮɟɪ-
ɧɨɦ ɞɚɜɥɟɧɢɢ, Ʉ
77,3 27,2 20,4 4,2
ɉɥɨɬɧɨɫɬɶ ɜ ɠɢɞɤɨɦ ɫɨɫɬɨɹɧɢɢ, ɝ/ɫɦ
3
0,81 1,18 0,07 0,13
Ɍɟɩɥɨɬɚ ɩɚɪɨɨɛɪɚɡɨɜɚɧɢɹ, ɤȾɠ/ɥ 162 102 31,7 2,7
ɋɤɨɪɨɫɬɶ ɢɫɩɚɪɟɧɢɹ ɩɪɢ ɬɟɩɥɨɜɨɣ
ɧɚɝɪɭɡɤɟ 1 ȼɬ, ɥ/ɱ
0,021 0,035 0,16 1,4
ɋɯɟɦɚ ɤɪɢɨɚɞɫɨɪɛɰɢɨɧɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ ɫ ɞɜɢɠɭɳɢɦɫɹ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɨɦ
(ɪɢɫ. 17ɜ) ɨɛɟɫɩɟɱɢɜɚɟɬ ɩɨɫɬɨɹɧɫɬɜɨ ɛɵɫɬɪɨɬɵ ɨɬɤɚɱɤɢ ɢ ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɝɨ ɞɚɜ-
ɥɟɧɢɹ ɧɟɡɚɜɢɫɢɦɨ ɨɬ ɜɪɟɦɟɧɢ ɪɚɛɨɬɵ ɧɚɫɨɫɚ. Ⱥɞɫɨɪɛɟɧɬ ɞɜɢɠɟɬɫɹ ɩɨ
ɡɚɦɤɧɭɬɨɦɭ ɤɨɧɬɭɪɭ ɫ ɥɢɧɟɣɧɨɣ ɫɤɨɪɨɫɬɶɸ X
ɥ
, ɩɪɨɯɨɞɹ ɧɚ ɫɜɨɟɦ ɩɭɬɢ ɤɚ-
ɦɟɪɭ ɚɞɫɨɪɛɰɢɢ 1, ɲɥɸɡ 2, ɧɚɝɪɟɜɚɬɟɥɶ 5, ɤɚɦɟɪɭ ɞɟɫɨɪɛɰɢɢ 4, ɲɥɸɡ 3, ɯɨ-
ɥɨɞɢɥɶɧɢɤ 6, ɢ ɜɧɨɜɶ ɩɨɩɚɞɚɟɬ ɜ ɤɚɦɟɪɭ ɚɞɫɨɪɛɰɢɢ.
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         Ɋɢɫ. 17. Ʉɨɧɫɬɪɭɤɬɢɜɧɵɟ ɫɯɟɦɵ ɤɪɢɨɚɞɫɨɪɛɰɢɨɧɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ

     ɋɯɟɦɵ ɤɪɢɨɚɞɫɨɪɛɰɢɨɧɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɫ ɧɟɩɨɞɜɢɠɧɵɦ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɨɦ
ɤɨɧɫɬɪɭɤɬɢɜɧɨ ɩɪɨɫɬɵ, ɧɨ ɬɪɟɛɭɸɬ ɞɨɩɨɥɧɢɬɟɥɶɧɨɣ ɚɪɦɚɬɭɪɵ ɢ ɞɭɛɥɢɪɨ-
ɜɚɧɢɹ ɨɬɤɚɱɧɵɯ ɫɪɟɞɫɬɜ ɞɥɹ ɨɛɟɫɩɟɱɟɧɢɹ ɧɟɩɪɟɪɵɜɧɨɝɨ ɩɪɨɰɟɫɫɚ ɨɬɤɚɱɤɢ,
ɢɦɟɸɬ ɜɵɫɨɤɢɟ ɷɤɫɩɥɭɚɬɚɰɢɨɧɧɵɟ ɪɚɫɯɨɞɵ ɤɪɢɨɚɝɟɧɬɚ ɢ ɷɥɟɤɬɪɨɷɧɟɪɝɢɢ
ɧɚ ɢɡɦɟɧɟɧɢɟ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɵ ɧɟ ɬɨɥɶɤɨ ɫɚɦɨɝɨ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɚ, ɧɨ ɢ ɤɨɪɩɭɫɚ ɧɚ-
ɫɨɫɚ.
                                                            Ɍɚɛɥɢɰɚ 2
                     ɋɜɨɣɫɬɜɚ ɫɠɢɠɟɧɧɵɯ ɝɚɡɨɜ
             ɉɚɪɚɦɟɬɪɵ                  N2     Ne        H2        He
Ɍɟɦɩɟɪɚɬɭɪɚ ɤɢɩɟɧɢɹ ɩɪɢ ɚɬɦɨɫɮɟɪ-      77,3   27,2      20,4       4,2
ɧɨɦ ɞɚɜɥɟɧɢɢ, Ʉ
ɉɥɨɬɧɨɫɬɶ ɜ ɠɢɞɤɨɦ ɫɨɫɬɨɹɧɢɢ, ɝ/ɫɦ3    0,81    1,18     0,07       0,13
Ɍɟɩɥɨɬɚ ɩɚɪɨɨɛɪɚɡɨɜɚɧɢɹ, ɤȾɠ/ɥ         162     102      31,7        2,7
ɋɤɨɪɨɫɬɶ ɢɫɩɚɪɟɧɢɹ ɩɪɢ ɬɟɩɥɨɜɨɣ       0,021   0,035     0,16        1,4
ɧɚɝɪɭɡɤɟ 1 ȼɬ, ɥ/ɱ


     ɋɯɟɦɚ ɤɪɢɨɚɞɫɨɪɛɰɢɨɧɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ ɫ ɞɜɢɠɭɳɢɦɫɹ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɨɦ
(ɪɢɫ. 17ɜ) ɨɛɟɫɩɟɱɢɜɚɟɬ ɩɨɫɬɨɹɧɫɬɜɨ ɛɵɫɬɪɨɬɵ ɨɬɤɚɱɤɢ ɢ ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɝɨ ɞɚɜ-
ɥɟɧɢɹ ɧɟɡɚɜɢɫɢɦɨ ɨɬ ɜɪɟɦɟɧɢ ɪɚɛɨɬɵ ɧɚɫɨɫɚ. Ⱥɞɫɨɪɛɟɧɬ ɞɜɢɠɟɬɫɹ ɩɨ
ɡɚɦɤɧɭɬɨɦɭ ɤɨɧɬɭɪɭ ɫ ɥɢɧɟɣɧɨɣ ɫɤɨɪɨɫɬɶɸ Xɥ, ɩɪɨɯɨɞɹ ɧɚ ɫɜɨɟɦ ɩɭɬɢ ɤɚ-
ɦɟɪɭ ɚɞɫɨɪɛɰɢɢ 1, ɲɥɸɡ 2, ɧɚɝɪɟɜɚɬɟɥɶ 5, ɤɚɦɟɪɭ ɞɟɫɨɪɛɰɢɢ 4, ɲɥɸɡ 3, ɯɨ-
ɥɨɞɢɥɶɧɢɤ 6, ɢ ɜɧɨɜɶ ɩɨɩɚɞɚɟɬ ɜ ɤɚɦɟɪɭ ɚɞɫɨɪɛɰɢɢ.



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