Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 24 стр.

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ВГУ | Воронеж

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ɬɚɤɠɟ ɧɚɫɨɫɵ ɬɪɢɨɞɧɨɝɨ ɬɢɩɚ ɫ ɨɯɥɚɠɞɟɧɢɟɦ (Ɍɪɢɨɧ) ɢ ɛɟɡ ɨɯɥɚɠɞɟɧɢɹ
(ɆɚɊɌ) ɷɥɟɤɬɪɨɞɨɜ.
ɇɚ ɪɢɫ. 16 ɩɪɢɜɟɞɟɧɵ ɯɚɪɚɤɬɟɪɢɫɬɢɤɢ ɧɟɤɨɬɨɪɵɯ ɢɨɧɧɨ-ɫɨɪɛɰɢɨɧɧɵɯ
ɧɚɫɨɫɨɜ.
Ɋɢɫ. 16. ɏɚɪɚɤɬɟɪɢɫɬɢɤɢ ɢɨɧɧɨ-ɫɨɪɛɰɢɨɧɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ
2.3. Ʉɪɢɨɚɞɫɨɪɛɰɢɨɧɧɚɹ ɨɬɤɚɱɤɚ
Ʉɪɢɨɚɞɫɨɪɛɰɢɨɧɧɚɹ ɨɬɤɚɱɤɚ ɨɫɭɳɟɫɬɜɥɹɟɬɫɹ ɚɞɫɨɪɛɰɢɟɣ ɝɚɡɨɜ ɨɯɥɚɠ-
ɞɟɧɧɵɦɢ ɞɨ ɧɢɡɤɨɣ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɵ ɩɨɪɢɫɬɵɦɢ ɬɜɟɪɞɵɦɢ ɬɟɥɚɦɢ (ɚɞɫɨɪɛɟɧ-
ɬɚɦɢ). ɉɨɝɥɨɳɟɧɢɟ ɝɚɡɨɜ ɢ ɩɚɪɨɜ ɩɪɢ ɷɬɨɦ ɩɪɨɢɫɯɨɞɢɬ ɝɥɚɜɧɵɦ ɨɛɪɚɡɨɦ ɜ
ɪɟɡɭɥɶɬɚɬɟ ɮɢɡɢɱɟɫɤɨɣ ɚɞɫɨɪɛɰɢɢ. ɉɪɢ ɮɢɡɢɱɟɫɤɨɣ ɚɞɫɨɪɛɰɢɢ ɫɜɹɡɶ ɦɨɥɟ-
ɤɭɥɵ ɝɚɡɚ ɢɥɢ ɩɚɪɚ ɫ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɶɸ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɚ ɨɱɟɧɶ ɦɚɥɚ ɢ ɩɨɷɬɨɦɭ ɩɪɨ-
ɰɟɫɫ ɩɨɝɥɨɳɟɧɢɹ ɝɚɡɚ ɜ ɷɬɨɦ ɫɥɭɱɚɟ ɩɨɥɧɨɫɬɶɸ ɨɛɪɚɬɢɦ – ɩɪɢ ɨɯɥɚɠɞɟɧɢɢ
ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɚ ɩɪɨɢɫɯɨɞɢɬ ɩɨɝɥɨɳɟɧɢɟ ɝɚɡɨɜ ɢ ɩɚɪɨɜ, ɚ ɩɪɢ ɧɚɝɪɟɜɚɧɢɢ – ɢɯ
ɨɛɪɚɬɧɨɟ ɜɵɞɟɥɟɧɢɟ. ȼ ɤɚɱɟɫɬɜɟ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɨɜ ɢɫɩɨɥɶɡɭɸɬ ɚɤɬɢɜɢɪɨɜɚɧɧɵɟ
ɞɪɟɜɟɫɧɵɟ ɢɥɢ ɬɨɪɮɹɧɵɟ ɭɝɥɢ, ɫɢɥɢɤɚɝɟɥɢ, ɚɥɸɦɨɝɟɥɢ ɢ ɩɪɢɪɨɞɧɵɟ ɢɥɢ
ɢɫɤɭɫɫɬɜɟɧɧɵɟ ɰɟɨɥɢɬɵ. ɇɚɢɛɨɥɶɲɟɣ ɫɨɪɛɰɢɨɧɧɨɣ ɟɦɤɨɫɬɶɸ ɨɛɥɚɞɚɸɬ
ɚɤɬɢɜɢɪɨɜɚɧɧɵɟ ɭɝɥɢ ɢ ɰɟɨɥɢɬɵ.
Ⱥɤɬɢɜɧɵɟ ɭɝɥɢ – ɩɨɪɢɫɬɵɟ ɭɝɥɟɪɨɞɧɵɟ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɵ, ɤɨɬɨɪɵɟ ɩɨ-
ɥɭɱɚɸɬ ɢɡ ɬɨɪɮɚ, ɤɚɦɟɧɧɨɝɨ ɭɝɥɹ, ɨɩɢɥɨɤ ɢ ɞɪɭɝɢɯ ɜɢɞɨɜ ɨɪɝɚɧɢɱɟɫɤɨɝɨ
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ɬɚɤɠɟ ɧɚɫɨɫɵ ɬɪɢɨɞɧɨɝɨ ɬɢɩɚ ɫ ɨɯɥɚɠɞɟɧɢɟɦ (Ɍɪɢɨɧ) ɢ ɛɟɡ ɨɯɥɚɠɞɟɧɢɹ
(ɆɚɊɌ) ɷɥɟɤɬɪɨɞɨɜ.
    ɇɚ ɪɢɫ. 16 ɩɪɢɜɟɞɟɧɵ ɯɚɪɚɤɬɟɪɢɫɬɢɤɢ ɧɟɤɨɬɨɪɵɯ ɢɨɧɧɨ-ɫɨɪɛɰɢɨɧɧɵɯ
ɧɚɫɨɫɨɜ.




           Ɋɢɫ. 16. ɏɚɪɚɤɬɟɪɢɫɬɢɤɢ ɢɨɧɧɨ-ɫɨɪɛɰɢɨɧɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ



    2.3. Ʉɪɢɨɚɞɫɨɪɛɰɢɨɧɧɚɹ ɨɬɤɚɱɤɚ

     Ʉɪɢɨɚɞɫɨɪɛɰɢɨɧɧɚɹ ɨɬɤɚɱɤɚ ɨɫɭɳɟɫɬɜɥɹɟɬɫɹ ɚɞɫɨɪɛɰɢɟɣ ɝɚɡɨɜ ɨɯɥɚɠ-
ɞɟɧɧɵɦɢ ɞɨ ɧɢɡɤɨɣ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɵ ɩɨɪɢɫɬɵɦɢ ɬɜɟɪɞɵɦɢ ɬɟɥɚɦɢ (ɚɞɫɨɪɛɟɧ-
ɬɚɦɢ). ɉɨɝɥɨɳɟɧɢɟ ɝɚɡɨɜ ɢ ɩɚɪɨɜ ɩɪɢ ɷɬɨɦ ɩɪɨɢɫɯɨɞɢɬ ɝɥɚɜɧɵɦ ɨɛɪɚɡɨɦ ɜ
ɪɟɡɭɥɶɬɚɬɟ ɮɢɡɢɱɟɫɤɨɣ ɚɞɫɨɪɛɰɢɢ. ɉɪɢ ɮɢɡɢɱɟɫɤɨɣ ɚɞɫɨɪɛɰɢɢ ɫɜɹɡɶ ɦɨɥɟ-
ɤɭɥɵ ɝɚɡɚ ɢɥɢ ɩɚɪɚ ɫ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɶɸ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɚ ɨɱɟɧɶ ɦɚɥɚ ɢ ɩɨɷɬɨɦɭ ɩɪɨ-
ɰɟɫɫ ɩɨɝɥɨɳɟɧɢɹ ɝɚɡɚ ɜ ɷɬɨɦ ɫɥɭɱɚɟ ɩɨɥɧɨɫɬɶɸ ɨɛɪɚɬɢɦ – ɩɪɢ ɨɯɥɚɠɞɟɧɢɢ
ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɚ ɩɪɨɢɫɯɨɞɢɬ ɩɨɝɥɨɳɟɧɢɟ ɝɚɡɨɜ ɢ ɩɚɪɨɜ, ɚ ɩɪɢ ɧɚɝɪɟɜɚɧɢɢ – ɢɯ
ɨɛɪɚɬɧɨɟ ɜɵɞɟɥɟɧɢɟ. ȼ ɤɚɱɟɫɬɜɟ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɨɜ ɢɫɩɨɥɶɡɭɸɬ ɚɤɬɢɜɢɪɨɜɚɧɧɵɟ
ɞɪɟɜɟɫɧɵɟ ɢɥɢ ɬɨɪɮɹɧɵɟ ɭɝɥɢ, ɫɢɥɢɤɚɝɟɥɢ, ɚɥɸɦɨɝɟɥɢ ɢ ɩɪɢɪɨɞɧɵɟ ɢɥɢ
ɢɫɤɭɫɫɬɜɟɧɧɵɟ ɰɟɨɥɢɬɵ. ɇɚɢɛɨɥɶɲɟɣ ɫɨɪɛɰɢɨɧɧɨɣ ɟɦɤɨɫɬɶɸ ɨɛɥɚɞɚɸɬ
ɚɤɬɢɜɢɪɨɜɚɧɧɵɟ ɭɝɥɢ ɢ ɰɟɨɥɢɬɵ.
     Ⱥɤɬɢɜɧɵɟ ɭɝɥɢ – ɩɨɪɢɫɬɵɟ ɭɝɥɟɪɨɞɧɵɟ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɵ, ɤɨɬɨɪɵɟ ɩɨ-
ɥɭɱɚɸɬ ɢɡ ɬɨɪɮɚ, ɤɚɦɟɧɧɨɝɨ ɭɝɥɹ, ɨɩɢɥɨɤ ɢ ɞɪɭɝɢɯ ɜɢɞɨɜ ɨɪɝɚɧɢɱɟɫɤɨɝɨ
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