Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 22 стр.

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ВГУ | Воронеж

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Ɍɚɛɥɢɰɚ 1
Ɍɟɯɧɢɱɟɫɤɢɟ ɯɚɪɚɤɬɟɪɢɫɬɢɤɢ ɝɟɬɬɟɪɧɨ-ɢɨɧɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ
ɉɨɬɪɟɛɥɹɟɦɚɹ
ɦɨɳɧɨɫɬɶ, ȼɬ
ɇɚɩɪɹɠɟɧɢɟ, ȼ Ƚɚɛɚɪɢɬɵ,
ɦɦ
Ɍɢɩ ɧɚɫɨɫɚ
ɨɛɳɚɹ ɧɚ ɚɧɨ-
ɞɟ
Ɍɨɤ ɧɚ-
ɤɚɥɚ, Ⱥ
ɧɚɤɚɥɚ
ɤɚɬɨɞɚ
ɧɚ
ɚɧɨɞɟ
ɞɢɚ-
ɦɟɬɪ
ɜɵ-
ɫɨɬɚ
Ɇɚɫ-
ɫɚ, ɝ
Ƚɂɇ-0,0001
ɇȽ-0,1-1
ɇȽ-1
ɇȽ-1-2
3
3
13
7
2
2
10
5
0,6–0,7
0,6–0,7
1,2–1,3
1,1–1,2
1,3–1,4
1,3–1,4
1,7–1,8
1,3–1,4
450
450
600
600
16
16
36
22
45
16
100
51
28
22
100
5
Ɇɚɝɧɢɬɨɪɚɡɪɹɞɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ (ɆɊɇ)
ɆɊɇ ɹɜɥɹɸɬɫɹ ɬɚɤɠɟ Ƚɂɇ ɢ ɨɬɥɢɱɚɸɬɫɹ ɨɬ ɢɫɩɚɪɢɬɟɥɶɧɵɯ ɬɟɦ, ɱɬɨ ɜ
ɧɢɯ ɤɚɤ ɞɥɹ ɪɚɫɩɵɥɟɧɢɹ ɝɟɬɬɟɪɚ, ɬɚɤ ɢ ɞɥɹ ɢɨɧɢɡɚɰɢɢ ɝɚɡɨɜ ɢɫɩɨɥɶɡɭɸɬɫɹ
ɯɨɥɨɞɧɵɣ ɝɚɡɨɜɵɣ ɪɚɡɪɹɞ ɜ ɦɚɝɧɢɬɧɨɦ ɩɨɥɟ. ɗɬɢɦ ɫɚɦɵɦ ɭɫɬɪɚɧɟɧ ɨɞɢɧ ɢɡ
ɧɟɞɨɫɬɚɬɤɨɜ ɢɫɩɚɪɢɬɟɥɶɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ – ɧɚɥɢɱɢɟ ɧɚɤɚɥɟɧɧɵɯ ɤɚɬɨɞɨɜ.
ȼ ɡɚɜɢɫɢɦɨɫɬɢ ɨɬ ɱɢɫɥɚ ɪɚɛɨɱɢɯ ɷɥɟɤɬɪɨɞɨɜ ɪɚɡɥɢɱɚɸɬ 2-ɯ ɷɥɟɤɬɪɨɞ-
ɧɵɟ (ɞɢɨɞɧɵɟ) ɢ 3-ɯ ɷɥɟɤɬɪɨɞɧɵɟ (ɬɪɢɨɞɧɵɟ) ɦɚɝɧɢɬɨɪɚɡɪɹɞɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ.
ɂɯ ɫɯɟɦɵ ɩɨɤɚɡɚɧɵ ɧɚ ɪɢɫ. 15. ɇɚ ɪɢɫ. 15ɚ ɩɪɢɜɟɞɟɧɚ ɫɯɟɦɚ ɞɢɨɞɧɨɣ ɫɢɫ-
ɬɟɦɵ. Ɂɞɟɫɶ ɚɧɨɞ 2 ɜɵɩɨɥɧɟɧ ɢɡ ɧɟɪɠɚɜɟɸɳɟɣ ɫɬɚɥɢ ɜ ɜɢɞɟ ɹɱɟɢɫɬɨɣ (ɫɨ-
ɬɨɜɨɣ) ɪɚɦɤɢ. ɋɨ ɫɬɨɪɨɧɵ ɨɬɤɪɵɬɵɯ ɤɨɧɰɨɜ ɪɚɫɩɨɥɨɠɟɧɵ ɨɛɳɢɟ ɞɥɹ ɜɫɟɯ
ɪɚɡɪɹɞɧɵɯ ɹɱɟɟɤ ɤɚɬɨɞɵ 1 ɢɡ ɝɟɬɬɟɪɢɪɭɸɳɟɝɨ ɦɚɬɟɪɢɚɥɚ (Ti). ȼɫɹ ɷɬɚ ɫɢɫ-
ɬɟɦɚ ɩɨɦɟɳɟɧɚ ɜ ɦɚɝɧɢɬɧɨɟ ɩɨɥɟ ɫ ɢɧɞɭɤɰɢɟɣ ȼ, ɧɚɩɪɚɜɥɟɧɧɨɟ ɩɟɪɩɟɧɞɢ-
ɤɭɥɹɪɧɨ ɩɥɨɫɤɨɫɬɢ ɤɚɬɨɞɚ. ɉɪɢ ɩɨɞɚɱɟ ɧɚ ɷɥɟɤɬɪɨɞɵ ɧɚɩɪɹɠɟɧɢɹ ɜ ɧɟ-
ɫɤɨɥɶɤɨ ɤȼ ɜ ɹɱɟɣɤɚɯ ɜɨɡɧɢɤɚɟɬ ɝɚɡɨɜɵɣ ɪɚɡɪɹɞ. ɇɚɩɪɹɠɟɧɧɨɫɬɶ ɦɚɝɧɢɬɧɨ-
ɝɨ ɩɨɥɹ ɜɵɛɢɪɚɟɬɫɹ ɬɚɤɢɦ ɨɛɪɚɡɨɦ, ɱɬɨɛɵ ɪɚɞɢɭɫ ɬɪɚɟɤɬɨɪɢɢ ɷɥɟɤɬɪɨɧɚ
ɛɵɥ ɦɟɧɶɲɟ ɪɚɞɢɭɫɚ ɚɧɨɞɚ. ɉɪɢ ɷɬɨɦ ɨɛɳɚɹ ɞɥɢɧɚ ɬɪɚɟɤɬɨɪɢɢ ɷɥɟɤɬɪɨɧɚ
ɞɨ ɩɨɩɚɞɚɧɢɹ ɧɚ ɚɧɨɞ ɫɢɥɶɧɨ ɭɜɟɥɢɱɢɜɚɟɬɫɹ, ɱɬɨ ɜɟɞɟɬ ɤ ɜɨɡɪɚɫɬɚɧɢɸ ɜɟ-
ɪɨɹɬɧɨɫɬɢ ɢɨɧɢɡɚɰɢɢ ɝɚɡɨɜ. ɉɨɥɨɠɢɬɟɥɶɧɵɟ ɢɨɧɵ, ɫɥɚɛɨ ɨɬɤɥɨɧɹɸɳɢɟɫɹ
ɦɚɝɧɢɬɧɵɦ ɩɨɥɟɦ, ɛɨɦɛɚɪɞɢɪɭɸɬ ɤɚɬɨɞ ɢ ɪɚɫɩɵɥɹɸɬ ɝɟɬɬɟɪ, ɤɨɬɨɪɵɣ ɨɫɚ-
ɠɞɚɟɬɫɹ ɧɚ ɚɧɨɞɟ. Ⱥɤɬɢɜɧɵɟ ɝɚɡɵ ɯɢɦɢɱɟɫɤɢ ɜɡɚɢɦɨɞɟɣɫɬɜɭɸɬ ɫ ɪɚɫɩɵ-
ɥɟɧɧɵɦɢ ɚɬɨɦɚɦɢ ɢ ɨɫɚɠɞɚɸɬɫɹ ɧɚ ɚɧɨɞ. ɂɧɟɪɬɧɵɟ ɝɚɡɵ ɨɬɤɚɱɢɜɚɸɬɫɹ ɡɚ
ɫɱɟɬ ɢɨɧɧɨɣ ɨɬɤɚɱɤɢ: ɩɨɥɨɠɢɬɟɥɶɧɵ ɢɨɧɵ – ɜɧɟɞɪɟɧɢɟɦ ɜ ɦɚɬɟɪɢɚɥ ɤɚɬɨ-
ɞɚ, ɨɬɪɢɰɚɬɟɥɶɧɵɟ ɢɨɧɵ – ɧɚ ɚɧɨɞɟ. Ɉɫɧɨɜɧɨɟ ɤɨɥɢɱɟɫɬɜɨ ɢɧɟɪɬɧɵɯ ɝɚɡɨɜ
ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɬɫɹ ɧɚ ɚɧɨɞɟ, ɬ. ɤ. ɤɚɬɨɞ ɪɚɫɩɵɥɹɟɬɫɹ ɜ ɩɪɨɰɟɫɫɟ ɪɚɛɨɬɵ ɢ ɩɪɨɢɫ-
ɯɨɞɢɬ ɜɵɞɟɥɟɧɢɟ ɢɦ ɩɨɝɥɨɳɟɧɧɵɯ ɝɚɡɨɜ.
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                                                       Ɍɚɛɥɢɰɚ 1
       Ɍɟɯɧɢɱɟɫɤɢɟ ɯɚɪɚɤɬɟɪɢɫɬɢɤɢ ɝɟɬɬɟɪɧɨ-ɢɨɧɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ
  Ɍɢɩ ɧɚɫɨɫɚ     ɉɨɬɪɟɛɥɹɟɦɚɹ     Ɍɨɤ ɧɚ-   ɇɚɩɪɹɠɟɧɢɟ, ȼ    Ƚɚɛɚɪɢɬɵ,   Ɇɚɫ-
                 ɦɨɳɧɨɫɬɶ, ȼɬ     ɤɚɥɚ, Ⱥ                       ɦɦ       ɫɚ, ɝ
               ɨɛɳɚɹ    ɧɚ ɚɧɨ-             ɧɚɤɚɥɚ ɧɚ       ɞɢɚ- ɜɵ-
                        ɞɟ                  ɤɚɬɨɞɚ ɚɧɨɞɟ    ɦɟɬɪ ɫɨɬɚ
Ƚɂɇ-0,0001        3         2     0,6–0,7   1,3–1,4  450     16     45    28
ɇȽ-0,1-1          3         2     0,6–0,7   1,3–1,4  450     16     16    22
ɇȽ-1             13        10     1,2–1,3   1,7–1,8  600     36    100   100
ɇȽ-1-2            7         5     1,1–1,2   1,3–1,4  600     22     51     5


    Ɇɚɝɧɢɬɨɪɚɡɪɹɞɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ (ɆɊɇ)

     ɆɊɇ ɹɜɥɹɸɬɫɹ ɬɚɤɠɟ Ƚɂɇ ɢ ɨɬɥɢɱɚɸɬɫɹ ɨɬ ɢɫɩɚɪɢɬɟɥɶɧɵɯ ɬɟɦ, ɱɬɨ ɜ
ɧɢɯ ɤɚɤ ɞɥɹ ɪɚɫɩɵɥɟɧɢɹ ɝɟɬɬɟɪɚ, ɬɚɤ ɢ ɞɥɹ ɢɨɧɢɡɚɰɢɢ ɝɚɡɨɜ ɢɫɩɨɥɶɡɭɸɬɫɹ
ɯɨɥɨɞɧɵɣ ɝɚɡɨɜɵɣ ɪɚɡɪɹɞ ɜ ɦɚɝɧɢɬɧɨɦ ɩɨɥɟ. ɗɬɢɦ ɫɚɦɵɦ ɭɫɬɪɚɧɟɧ ɨɞɢɧ ɢɡ
ɧɟɞɨɫɬɚɬɤɨɜ ɢɫɩɚɪɢɬɟɥɶɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ – ɧɚɥɢɱɢɟ ɧɚɤɚɥɟɧɧɵɯ ɤɚɬɨɞɨɜ.
     ȼ ɡɚɜɢɫɢɦɨɫɬɢ ɨɬ ɱɢɫɥɚ ɪɚɛɨɱɢɯ ɷɥɟɤɬɪɨɞɨɜ ɪɚɡɥɢɱɚɸɬ 2-ɯ ɷɥɟɤɬɪɨɞ-
ɧɵɟ (ɞɢɨɞɧɵɟ) ɢ 3-ɯ ɷɥɟɤɬɪɨɞɧɵɟ (ɬɪɢɨɞɧɵɟ) ɦɚɝɧɢɬɨɪɚɡɪɹɞɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ.
ɂɯ ɫɯɟɦɵ ɩɨɤɚɡɚɧɵ ɧɚ ɪɢɫ. 15. ɇɚ ɪɢɫ. 15ɚ ɩɪɢɜɟɞɟɧɚ ɫɯɟɦɚ ɞɢɨɞɧɨɣ ɫɢɫ-
ɬɟɦɵ. Ɂɞɟɫɶ ɚɧɨɞ 2 ɜɵɩɨɥɧɟɧ ɢɡ ɧɟɪɠɚɜɟɸɳɟɣ ɫɬɚɥɢ ɜ ɜɢɞɟ ɹɱɟɢɫɬɨɣ (ɫɨ-
ɬɨɜɨɣ) ɪɚɦɤɢ. ɋɨ ɫɬɨɪɨɧɵ ɨɬɤɪɵɬɵɯ ɤɨɧɰɨɜ ɪɚɫɩɨɥɨɠɟɧɵ ɨɛɳɢɟ ɞɥɹ ɜɫɟɯ
ɪɚɡɪɹɞɧɵɯ ɹɱɟɟɤ ɤɚɬɨɞɵ 1 ɢɡ ɝɟɬɬɟɪɢɪɭɸɳɟɝɨ ɦɚɬɟɪɢɚɥɚ (Ti). ȼɫɹ ɷɬɚ ɫɢɫ-
ɬɟɦɚ ɩɨɦɟɳɟɧɚ ɜ ɦɚɝɧɢɬɧɨɟ ɩɨɥɟ ɫ ɢɧɞɭɤɰɢɟɣ ȼ, ɧɚɩɪɚɜɥɟɧɧɨɟ ɩɟɪɩɟɧɞɢ-
ɤɭɥɹɪɧɨ ɩɥɨɫɤɨɫɬɢ ɤɚɬɨɞɚ. ɉɪɢ ɩɨɞɚɱɟ ɧɚ ɷɥɟɤɬɪɨɞɵ ɧɚɩɪɹɠɟɧɢɹ ɜ ɧɟ-
ɫɤɨɥɶɤɨ ɤȼ ɜ ɹɱɟɣɤɚɯ ɜɨɡɧɢɤɚɟɬ ɝɚɡɨɜɵɣ ɪɚɡɪɹɞ. ɇɚɩɪɹɠɟɧɧɨɫɬɶ ɦɚɝɧɢɬɧɨ-
ɝɨ ɩɨɥɹ ɜɵɛɢɪɚɟɬɫɹ ɬɚɤɢɦ ɨɛɪɚɡɨɦ, ɱɬɨɛɵ ɪɚɞɢɭɫ ɬɪɚɟɤɬɨɪɢɢ ɷɥɟɤɬɪɨɧɚ
ɛɵɥ ɦɟɧɶɲɟ ɪɚɞɢɭɫɚ ɚɧɨɞɚ. ɉɪɢ ɷɬɨɦ ɨɛɳɚɹ ɞɥɢɧɚ ɬɪɚɟɤɬɨɪɢɢ ɷɥɟɤɬɪɨɧɚ
ɞɨ ɩɨɩɚɞɚɧɢɹ ɧɚ ɚɧɨɞ ɫɢɥɶɧɨ ɭɜɟɥɢɱɢɜɚɟɬɫɹ, ɱɬɨ ɜɟɞɟɬ ɤ ɜɨɡɪɚɫɬɚɧɢɸ ɜɟ-
ɪɨɹɬɧɨɫɬɢ ɢɨɧɢɡɚɰɢɢ ɝɚɡɨɜ. ɉɨɥɨɠɢɬɟɥɶɧɵɟ ɢɨɧɵ, ɫɥɚɛɨ ɨɬɤɥɨɧɹɸɳɢɟɫɹ
ɦɚɝɧɢɬɧɵɦ ɩɨɥɟɦ, ɛɨɦɛɚɪɞɢɪɭɸɬ ɤɚɬɨɞ ɢ ɪɚɫɩɵɥɹɸɬ ɝɟɬɬɟɪ, ɤɨɬɨɪɵɣ ɨɫɚ-
ɠɞɚɟɬɫɹ ɧɚ ɚɧɨɞɟ. Ⱥɤɬɢɜɧɵɟ ɝɚɡɵ ɯɢɦɢɱɟɫɤɢ ɜɡɚɢɦɨɞɟɣɫɬɜɭɸɬ ɫ ɪɚɫɩɵ-
ɥɟɧɧɵɦɢ ɚɬɨɦɚɦɢ ɢ ɨɫɚɠɞɚɸɬɫɹ ɧɚ ɚɧɨɞ. ɂɧɟɪɬɧɵɟ ɝɚɡɵ ɨɬɤɚɱɢɜɚɸɬɫɹ ɡɚ
ɫɱɟɬ ɢɨɧɧɨɣ ɨɬɤɚɱɤɢ: ɩɨɥɨɠɢɬɟɥɶɧɵ ɢɨɧɵ – ɜɧɟɞɪɟɧɢɟɦ ɜ ɦɚɬɟɪɢɚɥ ɤɚɬɨ-
ɞɚ, ɨɬɪɢɰɚɬɟɥɶɧɵɟ ɢɨɧɵ – ɧɚ ɚɧɨɞɟ. Ɉɫɧɨɜɧɨɟ ɤɨɥɢɱɟɫɬɜɨ ɢɧɟɪɬɧɵɯ ɝɚɡɨɜ
ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɬɫɹ ɧɚ ɚɧɨɞɟ, ɬ. ɤ. ɤɚɬɨɞ ɪɚɫɩɵɥɹɟɬɫɹ ɜ ɩɪɨɰɟɫɫɟ ɪɚɛɨɬɵ ɢ ɩɪɨɢɫ-
ɯɨɞɢɬ ɜɵɞɟɥɟɧɢɟ ɢɦ ɩɨɝɥɨɳɟɧɧɵɯ ɝɚɡɨɜ.
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