Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 21 стр.

      ȼ ɩɨɫɥɟɞɧɟɟ ɜɪɟɦɹ ɩɨɥɭɱɢɥɢ ɪɚɫɩɪɨɫɬɪɚɧɟɧɢɟ Ƚɂɇ ɨɪɛɢɬɪɨɧɧɨɝɨ ɬɢ-
ɩɚ (ɋɈɇ-Ⱥ-1), ɨɬɥɢɱɚɸɳɢɟɫɹ ɛɨɥɟɟ ɷɮɮɟɤɬɢɜɧɵɦ ɫɩɨɫɨɛɨɦ ɢɨɧɢɡɚɰɢɢ ɡɚ
ɫɱɟɬ ɭɜɟɥɢɱɟɧɢɹ ɞɥɢɧɵ ɫɜɨɛɨɞɧɨɝɨ ɩɪɨɛɟɝɚ ɷɥɟɤɬɪɨɧɨɜ ɜ ɫɢɦɦɟɬɪɢɱɧɨɦ
ɷɥɟɤɬɪɨɫɬɚɬɢɱɟɫɤɨɦ ɩɨɥɟ. Ɉɪɛɢɬɪɨɧɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ ɩɨɡɜɨɥɹɸɬ ɩɨɥɭɱɢɬɶ
Ɋɩɪɟɞ. ~ 10-10 ɉɚ.
      Ɋɚɡɪɚɛɨɬɚɧɨ ɧɟɫɤɨɥɶɤɨ ɦɨɞɢɮɢɤɚɰɢɣ ɦɢɧɢɚɬɸɪɧɵɯ Ƚɂɇ: ɦɟɬɚɥɥɨɤɟ-
ɪɚɦɢɱɟɫɤɨɣ (Ƚɂɇ-0,0001, ɇȽ-01-1) ɢ ɫɬɟɤɥɹɧɧɨɣ (ɇȽ-1, ɇȽ-1-2) ɤɨɧɫɬɪɭɤ-
ɰɢɢ. ɇɚ ɪɢɫ. 14 ɩɪɢɜɟɞɟɧɚ ɫɯɟɦɚ ɦɢɧɢɚɬɸɪɧɨɝɨ Ƚɂɇ, ɚ ɜ ɬɚɛɥ. 1 ɩɪɟɞɫɬɚɜ-
ɥɟɧɵ ɬɟɯɧɢɱɟɫɤɢɟ ɯɚɪɚɤɬɟɪɢɫɬɢɤɢ ɷɬɢɯ ɧɚɫɨɫɨɜ.




                                        Ɋɢɫ. 14. ɋɯɟɦɚ ɦɢɧɢɚɬɸɪɧɨɝɨ
                                          ɝɟɬɬɟɪɧɨ-ɢɨɧɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ




     ȼ ɧɢɯ ɢɫɩɨɥɶɡɨɜɚɧ ɛɨɥɟɟ ɷɮɮɟɤɬɢɜɧɵɣ ɝɟɬɬɟɪɧɵɣ ɦɚɬɟɪɢɚɥ (ɪɟɞɤɨɡɟ-
ɦɟɥɶɧɵɟ ɦɟɬɚɥɥɵ Gd ɢ Er), ɤɨɬɨɪɵɟ ɩɨ ɫɪɚɜɧɟɧɢɸ ɫ Ti ɢɦɟɸɬ ɫɥɟɞɭɸɳɢɟ
ɩɪɟɢɦɭɳɟɫɬɜɚ: ɛɨɥɟɟ ɜɵɫɨɤɨɟ (ɧɚ 3–4 ɩɨɪɹɞɤɚ) ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɧɚɫɵɳɟɧɧɨɝɨ ɩɚ-
ɪɚ, ɡɧɚɱɢɬɟɥɶɧɨ ɦɟɧɶɲɚɹ ɦɨɳɧɨɫɬɶ ɞɥɹ ɢɯ ɧɚɝɪɟɜɚ ɞɨ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɵ ɢɫɩɚ-
ɪɟɧɢɹ ɫ ɡɚɞɚɧɧɨɣ ɫɤɨɪɨɫɬɶɸ, ɜɵɫɨɤɚɹ ɬɟɪɦɨɫɬɨɣɤɨɫɬɶ ɫɨɟɞɢɧɟɧɢɣ Ɋ3Ɇ ɫ
ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɵɦɢ ɝɚɡɚɦɢ; ɜɨɡɦɨɠɧɨɫɬɶ ɪɚɛɨɬɵ ɛɟɡ ɩɪɢɧɭɞɢɬɟɥɶɧɨɝɨ ɨɯɥɚɠ-
ɞɟɧɢɹ ɩɪɢ ɩɨɜɵɲɟɧɧɵɯ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɚɯ. ȼ Ƚɂɇ ɞɨɫɬɢɝɚɟɬɫɹ ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɟ ɞɚɜ-
ɥɟɧɢɟ (2–5) 10-7 ɉɚ, ɩɪɢɱɟɦ ɩɚɪɰɢɚɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɜɨɞɨɪɨɞɚ ɩɨɧɢɠɚɟɬɫɹ ɧɚ
ɩɨɪɹɞɨɤ, ɚ ɦɟɬɚɧɚ ~ ɜ 4–5 ɪɚɡ ɩɨ ɫɪɚɜɧɟɧɢɸ ɫ Ti-ɧɚɫɨɫɚɦɢ.

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