Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 20 стр.

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Ɋɢɫ. 13. Ƚɟɬɬɟɪɧɨ-ɢɨɧɧɵɣ ɧɚɫɨɫ Ƚɂɇ-05Ɇ1:
1 – ɜɨɥɶɮɪɚɦɨɜɵɣ ɤɚɬɨɞ; 2 – ɢɫɩɚɪɢɬɟɥɶ ɬɢɬɚɧɚ; 3 – ɚɧɨɞ; 4 – ɤɨɪɩɭɫ;
5 – ɮɥɚɧɟɰ ɰɨɤɨɥɹ; 6 – ɩɚɬɪɭɛɨɤ ɞɥɹ ɩɪɟɞɜɚɪɢɬɟɥɶɧɨɣ ɨɬɤɚɱɤɢ
ɂɡ ɞɪɭɝɢɯ ɞɨɫɬɨɢɧɫɬɜ Ƚɂɇ ɦɨɠɧɨ ɨɬɦɟɬɢɬɶ ɫɥɟɞɭɸɳɢɟ:
ɦɨɠɧɨ ɩɨɥɭɱɢɬɶ ɜɚɤɭɭɦ, ɫɜɨɛɨɞɧɵɣ ɨɬ ɩɚɪɨɜ ɦɚɫɥɚ;
ɨɧɢ ɧɟ ɧɭɠɞɚɸɬɫɹ ɜ ɩɨɫɬɨɹɧɧɨɣ ɪɚɛɨɬɟ ɧɚɫɨɫɚ ɩɪɟɞɜɚɪɢɬɟɥɶɧɨɝɨ
ɪɚɡɪɟɠɟɧɢɹ;
ɚɜɚɪɢɣɧɨɟ ɨɬɤɥɸɱɟɧɢɟ ɜɨɞɵ ɢ ɷɥɟɤɬɪɨɷɧɟɪɝɢɢ ɧɟ ɨɱɟɧɶ ɨɩɚɫɧɨ, ɬ. ɤ.
ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɩɨɞɞɟɪɠɢɜɚɟɬɫɹ ɩɨɝɥɨɬɢɬɟɥɟɦ.
Ʉ ɧɟɞɨɫɬɚɬɤɚɦ Ƚɂɇ, ɩɪɟɩɹɬɫɬɜɭɸɳɢɦ ɛɨɥɟɟ ɲɢɪɨɤɨɦɭ ɢɯ ɩɪɢɦɟɧɟ-
ɧɢɸ ɜ ɩɪɨɦɵɲɥɟɧɧɨɫɬɢ, ɫɥɟɞɭɟɬ ɨɬɧɟɫɬɢ:
ɦɚɥɭɸ ɧɚɞɟɠɧɨɫɬɶ (ɢɡ-ɡɚ ɧɚɥɢɱɢɹ ɧɚɤɚɥɟɧɧɨɝɨ ɤɚɬɨɞɚ);
ɛɨɥɶɲɨɟ ɜɪɟɦɹ ɡɚɩɭɫɤɚ;
ɬ. ɤ. ɝɚɡ ɧɟ ɜɵɛɪɚɫɵɜɚɟɬɫɹ ɡɚ ɩɪɟɞɟɥɵ ɧɚɫɨɫɚ, ɬɨ ɧɟ ɢɫɤɥɸɱɟɧɚ ɜɨɡ-
ɦɨɠɧɨɫɬɶ ɝɚɡɨɜɵɯ ɜɵɛɪɨɫɨɜ;
ɇɟɨɛɯɨɞɢɦɨɫɬɶ ɩɟɪɢɨɞɢɱɟɫɤɨɣ ɨɱɢɫɬɤɢ ɜɧɭɬɪɟɧɧɢɯ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɟɣ ɨɬ
ɧɚɩɵɥɟɧɧɨɣ ɩɥɟɧɤɢ ɝɟɬɬɟɪɚ;
ɧɢɡɤɚɹ ɫɤɨɪɨɫɬɶ ɨɬɤɚɱɤɢ ɢɧɟɪɬɧɵɯ ɝɚɡɨɜ.
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                  Ɋɢɫ. 13. Ƚɟɬɬɟɪɧɨ-ɢɨɧɧɵɣ ɧɚɫɨɫ Ƚɂɇ-05Ɇ1:
    1 – ɜɨɥɶɮɪɚɦɨɜɵɣ ɤɚɬɨɞ; 2 – ɢɫɩɚɪɢɬɟɥɶ ɬɢɬɚɧɚ; 3 – ɚɧɨɞ; 4 – ɤɨɪɩɭɫ;
         5 – ɮɥɚɧɟɰ ɰɨɤɨɥɹ; 6 – ɩɚɬɪɭɛɨɤ ɞɥɹ ɩɪɟɞɜɚɪɢɬɟɥɶɧɨɣ ɨɬɤɚɱɤɢ

    ɂɡ ɞɪɭɝɢɯ ɞɨɫɬɨɢɧɫɬɜ Ƚɂɇ ɦɨɠɧɨ ɨɬɦɟɬɢɬɶ ɫɥɟɞɭɸɳɢɟ:
    – ɦɨɠɧɨ ɩɨɥɭɱɢɬɶ ɜɚɤɭɭɦ, ɫɜɨɛɨɞɧɵɣ ɨɬ ɩɚɪɨɜ ɦɚɫɥɚ;
    – ɨɧɢ ɧɟ ɧɭɠɞɚɸɬɫɹ ɜ ɩɨɫɬɨɹɧɧɨɣ ɪɚɛɨɬɟ ɧɚɫɨɫɚ ɩɪɟɞɜɚɪɢɬɟɥɶɧɨɝɨ
ɪɚɡɪɟɠɟɧɢɹ;
    – ɚɜɚɪɢɣɧɨɟ ɨɬɤɥɸɱɟɧɢɟ ɜɨɞɵ ɢ ɷɥɟɤɬɪɨɷɧɟɪɝɢɢ ɧɟ ɨɱɟɧɶ ɨɩɚɫɧɨ, ɬ. ɤ.
ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɩɨɞɞɟɪɠɢɜɚɟɬɫɹ ɩɨɝɥɨɬɢɬɟɥɟɦ.
    Ʉ ɧɟɞɨɫɬɚɬɤɚɦ Ƚɂɇ, ɩɪɟɩɹɬɫɬɜɭɸɳɢɦ ɛɨɥɟɟ ɲɢɪɨɤɨɦɭ ɢɯ ɩɪɢɦɟɧɟ-
ɧɢɸ ɜ ɩɪɨɦɵɲɥɟɧɧɨɫɬɢ, ɫɥɟɞɭɟɬ ɨɬɧɟɫɬɢ:
    – ɦɚɥɭɸ ɧɚɞɟɠɧɨɫɬɶ (ɢɡ-ɡɚ ɧɚɥɢɱɢɹ ɧɚɤɚɥɟɧɧɨɝɨ ɤɚɬɨɞɚ);
    – ɛɨɥɶɲɨɟ ɜɪɟɦɹ ɡɚɩɭɫɤɚ;
    – ɬ. ɤ. ɝɚɡ ɧɟ ɜɵɛɪɚɫɵɜɚɟɬɫɹ ɡɚ ɩɪɟɞɟɥɵ ɧɚɫɨɫɚ, ɬɨ ɧɟ ɢɫɤɥɸɱɟɧɚ ɜɨɡ-
ɦɨɠɧɨɫɬɶ ɝɚɡɨɜɵɯ ɜɵɛɪɨɫɨɜ;
    ɇɟɨɛɯɨɞɢɦɨɫɬɶ ɩɟɪɢɨɞɢɱɟɫɤɨɣ ɨɱɢɫɬɤɢ ɜɧɭɬɪɟɧɧɢɯ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɟɣ ɨɬ
ɧɚɩɵɥɟɧɧɨɣ ɩɥɟɧɤɢ ɝɟɬɬɟɪɚ;
    – ɧɢɡɤɚɹ ɫɤɨɪɨɫɬɶ ɨɬɤɚɱɤɢ ɢɧɟɪɬɧɵɯ ɝɚɡɨɜ.

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