Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 18 стр.

UptoLike

ВУЗ: 

ВГУ | Воронеж

Составители: 

Рубрика: 

ɫɨɪɛɰɢɨɧɧɨɣ ɨɬɤɚɱɤɢ ɩɨɥɭɱɢɥɢ Ti, Zr, Ta, Ba, Mo, W, Hf, Er. Ɍɟɩɥɨɬɚ ɚɞ-
ɫɨɪɛɰɢɢ (Q
a
) ɩɪɢ ɦɚɥɵɯ ɫɬɟɩɟɧɹɯ ɡɚɩɨɥɧɟɧɢɹ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɢ ɦɟɬɚɥɥɚ ɫɢɥɶɧɨ
ɡɚɜɢɫɢɬ ɨɬ ɪɨɞɚ ɝɚɡɚ. ɇɚɩɪɢɦɟɪ, Q
a
ɧɚ Ti ɞɥɹ ɪɚɡɧɵɯ ɝɚɡɨɜ ɫɨɫɬɚɜɥɹɟɬ
Ƚɚɡ ɇ
2
ɋɈ N
2
O
2
CO
2
Ar Kr Xe
Q
a
, ɤȾɠ/ɦɨɥɶ 19,3 419 356 813 461 8,38 16,8 33,5
Ⱦɥɹ ɭɜɟɥɢɱɟɧɢɹ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɢ ɦɟɬɚɥɥɚ ɩɪɢ ɟɝɨ ɜɡɚɢɦɨɞɟɣɫɬɜɢɢ ɫ ɨɬɤɚ-
ɱɢɜɚɟɦɵɦɢ ɝɚɡɚɦɢ ɢɫɩɨɥɶɡɭɟɬɫɹ ɪɚɫɩɵɥɟɧɢɟ ɦɟɬɚɥɥɚ, ɫɨɩɪɨɜɨɠɞɚɸɳɟɟɫɹ
ɧɚɧɟɫɟɧɢɟɦ ɬɨɧɤɢɯ ɩɥɟɧɨɤ ɧɚ ɷɥɟɤɬɪɨɞɵ ɢɥɢ ɤɨɪɩɭɫ ɧɚɫɨɫɚ. ȼɨɡɦɨɠɧɨɫɬɶ
ɧɟɩɪɟɪɵɜɧɨɝɨ ɨɛɧɨɜɥɟɧɢɹ ɧɚɩɵɥɟɧɧɨɣ ɩɥɟɧɤɢ ɭɜɟɥɢɱɢɜɚɟɬ ɫɪɨɤ ɫɥɭɠɛɵ
ɧɚɫɨɫɚ.
ɉɨɝɥɨɳɟɧɢɟ ɝɚɡɨɜ ɩɥɟɧɤɚɦɢ ɧɨɫɢɬ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɧɵɣ ɢɥɢ ɨɛɴɟɦɧɵɣ ɯɚ-
ɪɚɤɬɟɪ. ɉɪɢ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɧɨɦ ɩɨɝɥɨɳɟɧɢɢ ɞɥɹ ɧɟɛɨɥɶɲɢɯ ɫɬɟɩɟɧɟɣ ɩɨɤɪɵ-
ɬɢɹ ɤɨɥɢɱɟɫɬɜɨ ɫɨɪɛɢɪɨɜɚɧɧɨɝɨ ɝɚɡɚ ɩɪɹɦɨ ɩɪɨɩɨɪɰɢɨɧɚɥɶɧɨ ɜɪɟɦɟɧɢ
ɫɨɪɛɰɢɢ. Ɉɛɴɟɦɧɨɟ ɩɨɝɥɨɳɟɧɢɟ ɩɪɨɢɫɯɨɞɢɬ ɡɚ ɫɱɟɬ ɞɢɮɮɭɡɢɢ ɝɚɡɨɜ ɜ
ɩɥɟɧɤɭ, ɚ ɤɨɥɢɱɟɫɬɜɨ ɩɨɝɥɨɳɟɧɧɨɝɨ ɝɚɡɚ ɧɚ ɧɚɱɚɥɶɧɨɦ ɭɱɚɫɬɤɟ ɫɨɪɛɰɢɨɧ-
ɧɨɣ ɤɪɢɜɨɣ ɩɪɨɩɨɪɰɢɨɧɚɥɶɧɨ ɤɨɪɧɸ ɤɜɚɞɪɚɬɧɨɦɭ ɢɡ ɜɪɟɦɟɧɢ ɫɨɪɛɰɢɢ.
ɉɨɜɟɪɯɧɨɫɬɧɵɣ ɯɚɪɚɤɬɟɪ ɫɨɪɛɰɢɢ ɧɚɛɥɸɞɚɟɬɫɹ ɨɛɵɱɧɨ ɩɪɢ ɧɢɡɤɢɯ ɬɟɦɩɟ-
ɪɚɬɭɪɚɯ, ɨɛɴɟɦɧɵɣ – ɩɪɢ ɜɵɫɨɤɢɯ. ɋɨɪɛɰɢɨɧɧɵɟ ɯɚɪɚɤɬɟɪɢɫɬɢɤɢ ɩɥɟɧɨɤ
ɫɢɥɶɧɨ ɡɚɜɢɫɹɬ ɨɬ ɭɫɥɨɜɢɣ ɢɯ ɨɛɪɚɡɨɜɚɧɢɹ. ɉɥɟɧɤɚ, ɨɫɚɠɞɟɧɧɚɹ ɩɪɢ ɧɢɡɤɨɣ
ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɟ, ɢɦɟɟɬ ɩɨɪɢɫɬɭɸ ɫɬɪɭɤɬɭɪɭ, ɱɬɨ ɩɪɢɜɨɞɢɬ ɤ ɡɧɚɱɢɬɟɥɶɧɨɦɭ
ɩɨɜɵɲɟɧɢɸ ɫɤɨɪɨɫɬɟɣ ɩɨɝɥɨɳɟɧɢɹ ɝɚɡɨɜ.
ɂɫɩɚɪɢɬɟɥɶɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ, ɪɚɛɨɬɚɸɳɢɟ ɧɚ ɩɪɢɧɰɢɩɟ ɯɟɦɨɫɨɪɛɰɢɨɧɧɨɣ
ɨɬɤɚɱɤɢ, ɧɚɡɵɜɚɸɬɫɹ ɝɟɬɬɟɪɧɵɦɢ. ɑɚɳɟ ɜɫɟɝɨ ɜ ɤɚɱɟɫɬɜɟ ɚɤɬɢɜɧɨɝɨ ɦɟɬɚɥ-
ɥɚ (ɝɟɬɬɟɪɚ) ɢɫɩɨɥɶɡɭɸɬɫɹ ɩɥɟɧɤɢ Ti. Ⱦɥɹ ɪɚɫɩɵɥɟɧɢɹ ɬɢɬɚɧɚ ɜ ɝɟɬɬɟɪɧɵɯ
ɧɚɫɨɫɚɯ ɩɪɢɦɟɧɹɸɬ ɥɢɛɨ ɦɟɬɨɞ ɬɟɪɦɢɱɟɫɤɨɝɨ ɧɚɝɪɟɜɚ ɩɭɬɟɦ ɩɪɹɦɨɝɨ ɩɪɨ-
ɩɭɫɤɚɧɢɹ ɬɨɤɚ ɱɟɪɟɡ ɬɢɬɚɧɨ-ɦɨɥɢɛɞɟɧɨɜɭɸ ɩɪɨɜɨɥɨɤɭ ɢɥɢ ɤɨɫɜɟɧɧɨɝɨ ɧɚ-
ɝɪɟɜɚ ɬɢɬɚɧɚ ɜɧɟɲɧɢɦ ɢɥɢ ɜɧɭɬɪɟɧɧɢɦ ɧɚɝɪɟɜɚɬɟɥɟɦ, ɥɢɛɨ ɦɟɬɨɞ ɪɚɫɩɥɚɜ-
ɥɟɧɢɹ ɷɥɟɤɬɪɨɧɧɵɦ ɥɭɱɨɦ ɢɥɢ ɞɭɝɨɜɵɦ ɪɚɡɪɹɞɨɦ.
ȼ ɧɚɫɨɫɚɯ ɢɫɩɚɪɢɬɟɥɶɧɨɝɨ ɬɢɩɚ ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɨɛɵɱɧɨ ɫɨɫɬɚɜ-
ɥɹɟɬ 10
-7
ɉɚ. Ɉɯɥɚɠɞɟɧɢɟ ɝɟɬɬɟɪɚ ɞɨ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɵ ɠɢɞɤɨɝɨ ɚɡɨɬɚ ɫɧɢɠɚɟɬ
ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɞɨ 10
-11
ɉɚ. ȼɟɪɯɧɢɣ ɩɪɟɞɟɥ ɪɚɛɨɱɢɯ ɞɚɜɥɟɧɢɣ, ɪɚɜ-
ɧɵɣ 10
-2
ɉɚ, ɥɢɦɢɬɢɪɭɟɬɫɹ ɨɛɪɚɡɨɜɚɧɢɟɦ ɜɨ ɜɪɟɦɹ ɪɚɛɨɬɵ ɢɫɩɚɪɢɬɟɥɹ ɨɤ-
ɫɢɞɨɜ, ɧɢɬɪɢɞɨɜ ɢ ɤɚɪɛɢɞɨɜ ɧɚ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɢ ɝɟɬɬɟɪɚ, ɱɬɨ ɩɪɢɜɨɞɢɬ ɤ
ɭɦɟɧɶɲɟɧɢɸ ɟɝɨ ɫɤɨɪɨɫɬɢ ɢɫɩɚɪɟɧɢɹ.
18
ɫɨɪɛɰɢɨɧɧɨɣ ɨɬɤɚɱɤɢ ɩɨɥɭɱɢɥɢ Ti, Zr, Ta, Ba, Mo, W, Hf, Er. Ɍɟɩɥɨɬɚ ɚɞ-
ɫɨɪɛɰɢɢ (Qa) ɩɪɢ ɦɚɥɵɯ ɫɬɟɩɟɧɹɯ ɡɚɩɨɥɧɟɧɢɹ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɢ ɦɟɬɚɥɥɚ ɫɢɥɶɧɨ
ɡɚɜɢɫɢɬ ɨɬ ɪɨɞɚ ɝɚɡɚ. ɇɚɩɪɢɦɟɪ, Qa ɧɚ Ti ɞɥɹ ɪɚɡɧɵɯ ɝɚɡɨɜ ɫɨɫɬɚɜɥɹɟɬ

    Ƚɚɡ               ɇ2 ɋɈ      N2    O2    CO2 Ar Kr Xe
    Qa, ɤȾɠ/ɦɨɥɶ      19,3 419   356   813   461 8,38 16,8 33,5

     Ⱦɥɹ ɭɜɟɥɢɱɟɧɢɹ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɢ ɦɟɬɚɥɥɚ ɩɪɢ ɟɝɨ ɜɡɚɢɦɨɞɟɣɫɬɜɢɢ ɫ ɨɬɤɚ-
ɱɢɜɚɟɦɵɦɢ ɝɚɡɚɦɢ ɢɫɩɨɥɶɡɭɟɬɫɹ ɪɚɫɩɵɥɟɧɢɟ ɦɟɬɚɥɥɚ, ɫɨɩɪɨɜɨɠɞɚɸɳɟɟɫɹ
ɧɚɧɟɫɟɧɢɟɦ ɬɨɧɤɢɯ ɩɥɟɧɨɤ ɧɚ ɷɥɟɤɬɪɨɞɵ ɢɥɢ ɤɨɪɩɭɫ ɧɚɫɨɫɚ. ȼɨɡɦɨɠɧɨɫɬɶ
ɧɟɩɪɟɪɵɜɧɨɝɨ ɨɛɧɨɜɥɟɧɢɹ ɧɚɩɵɥɟɧɧɨɣ ɩɥɟɧɤɢ ɭɜɟɥɢɱɢɜɚɟɬ ɫɪɨɤ ɫɥɭɠɛɵ
ɧɚɫɨɫɚ.
     ɉɨɝɥɨɳɟɧɢɟ ɝɚɡɨɜ ɩɥɟɧɤɚɦɢ ɧɨɫɢɬ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɧɵɣ ɢɥɢ ɨɛɴɟɦɧɵɣ ɯɚ-
ɪɚɤɬɟɪ. ɉɪɢ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɧɨɦ ɩɨɝɥɨɳɟɧɢɢ ɞɥɹ ɧɟɛɨɥɶɲɢɯ ɫɬɟɩɟɧɟɣ ɩɨɤɪɵ-
ɬɢɹ ɤɨɥɢɱɟɫɬɜɨ ɫɨɪɛɢɪɨɜɚɧɧɨɝɨ ɝɚɡɚ ɩɪɹɦɨ ɩɪɨɩɨɪɰɢɨɧɚɥɶɧɨ ɜɪɟɦɟɧɢ
ɫɨɪɛɰɢɢ. Ɉɛɴɟɦɧɨɟ ɩɨɝɥɨɳɟɧɢɟ ɩɪɨɢɫɯɨɞɢɬ ɡɚ ɫɱɟɬ ɞɢɮɮɭɡɢɢ ɝɚɡɨɜ ɜ
ɩɥɟɧɤɭ, ɚ ɤɨɥɢɱɟɫɬɜɨ ɩɨɝɥɨɳɟɧɧɨɝɨ ɝɚɡɚ ɧɚ ɧɚɱɚɥɶɧɨɦ ɭɱɚɫɬɤɟ ɫɨɪɛɰɢɨɧ-
ɧɨɣ ɤɪɢɜɨɣ ɩɪɨɩɨɪɰɢɨɧɚɥɶɧɨ ɤɨɪɧɸ ɤɜɚɞɪɚɬɧɨɦɭ ɢɡ ɜɪɟɦɟɧɢ ɫɨɪɛɰɢɢ.
ɉɨɜɟɪɯɧɨɫɬɧɵɣ ɯɚɪɚɤɬɟɪ ɫɨɪɛɰɢɢ ɧɚɛɥɸɞɚɟɬɫɹ ɨɛɵɱɧɨ ɩɪɢ ɧɢɡɤɢɯ ɬɟɦɩɟ-
ɪɚɬɭɪɚɯ, ɨɛɴɟɦɧɵɣ – ɩɪɢ ɜɵɫɨɤɢɯ. ɋɨɪɛɰɢɨɧɧɵɟ ɯɚɪɚɤɬɟɪɢɫɬɢɤɢ ɩɥɟɧɨɤ
ɫɢɥɶɧɨ ɡɚɜɢɫɹɬ ɨɬ ɭɫɥɨɜɢɣ ɢɯ ɨɛɪɚɡɨɜɚɧɢɹ. ɉɥɟɧɤɚ, ɨɫɚɠɞɟɧɧɚɹ ɩɪɢ ɧɢɡɤɨɣ
ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɟ, ɢɦɟɟɬ ɩɨɪɢɫɬɭɸ ɫɬɪɭɤɬɭɪɭ, ɱɬɨ ɩɪɢɜɨɞɢɬ ɤ ɡɧɚɱɢɬɟɥɶɧɨɦɭ
ɩɨɜɵɲɟɧɢɸ ɫɤɨɪɨɫɬɟɣ ɩɨɝɥɨɳɟɧɢɹ ɝɚɡɨɜ.
     ɂɫɩɚɪɢɬɟɥɶɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ, ɪɚɛɨɬɚɸɳɢɟ ɧɚ ɩɪɢɧɰɢɩɟ ɯɟɦɨɫɨɪɛɰɢɨɧɧɨɣ
ɨɬɤɚɱɤɢ, ɧɚɡɵɜɚɸɬɫɹ ɝɟɬɬɟɪɧɵɦɢ. ɑɚɳɟ ɜɫɟɝɨ ɜ ɤɚɱɟɫɬɜɟ ɚɤɬɢɜɧɨɝɨ ɦɟɬɚɥ-
ɥɚ (ɝɟɬɬɟɪɚ) ɢɫɩɨɥɶɡɭɸɬɫɹ ɩɥɟɧɤɢ Ti. Ⱦɥɹ ɪɚɫɩɵɥɟɧɢɹ ɬɢɬɚɧɚ ɜ ɝɟɬɬɟɪɧɵɯ
ɧɚɫɨɫɚɯ ɩɪɢɦɟɧɹɸɬ ɥɢɛɨ ɦɟɬɨɞ ɬɟɪɦɢɱɟɫɤɨɝɨ ɧɚɝɪɟɜɚ ɩɭɬɟɦ ɩɪɹɦɨɝɨ ɩɪɨ-
ɩɭɫɤɚɧɢɹ ɬɨɤɚ ɱɟɪɟɡ ɬɢɬɚɧɨ-ɦɨɥɢɛɞɟɧɨɜɭɸ ɩɪɨɜɨɥɨɤɭ ɢɥɢ ɤɨɫɜɟɧɧɨɝɨ ɧɚ-
ɝɪɟɜɚ ɬɢɬɚɧɚ ɜɧɟɲɧɢɦ ɢɥɢ ɜɧɭɬɪɟɧɧɢɦ ɧɚɝɪɟɜɚɬɟɥɟɦ, ɥɢɛɨ ɦɟɬɨɞ ɪɚɫɩɥɚɜ-
ɥɟɧɢɹ ɷɥɟɤɬɪɨɧɧɵɦ ɥɭɱɨɦ ɢɥɢ ɞɭɝɨɜɵɦ ɪɚɡɪɹɞɨɦ.
     ȼ ɧɚɫɨɫɚɯ ɢɫɩɚɪɢɬɟɥɶɧɨɝɨ ɬɢɩɚ ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɨɛɵɱɧɨ ɫɨɫɬɚɜ-
ɥɹɟɬ 10-7 ɉɚ. Ɉɯɥɚɠɞɟɧɢɟ ɝɟɬɬɟɪɚ ɞɨ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɵ ɠɢɞɤɨɝɨ ɚɡɨɬɚ ɫɧɢɠɚɟɬ
ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɞɨ 10-11 ɉɚ. ȼɟɪɯɧɢɣ ɩɪɟɞɟɥ ɪɚɛɨɱɢɯ ɞɚɜɥɟɧɢɣ, ɪɚɜ-
ɧɵɣ 10-2 ɉɚ, ɥɢɦɢɬɢɪɭɟɬɫɹ ɨɛɪɚɡɨɜɚɧɢɟɦ ɜɨ ɜɪɟɦɹ ɪɚɛɨɬɵ ɢɫɩɚɪɢɬɟɥɹ ɨɤ-
ɫɢɞɨɜ, ɧɢɬɪɢɞɨɜ ɢ ɤɚɪɛɢɞɨɜ ɧɚ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɢ ɝɟɬɬɟɪɚ, ɱɬɨ ɩɪɢɜɨɞɢɬ ɤ
ɭɦɟɧɶɲɟɧɢɸ ɟɝɨ ɫɤɨɪɨɫɬɢ ɢɫɩɚɪɟɧɢɹ.
                                  18

Страницы