Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 17 стр.

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ВГУ | Воронеж

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.
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1
ɧ i ɜɵɯ
ɧ
ɜɯ ɜɯ ɜɯ
QkTI Ɋ
SU
Ɋ q ɊɊ
§·
¨¸
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ɉɪɢ Ʉ = Ɋ
ɜɵɯ.
/Ɋ
ɜɯ.
= 1 ɛɵɫɬɪɨɬɚ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɧɚɫɨɫɚ ɦɚɤɫɢɦɚɥɶɧɚ:
max .
.
i
ɜɯ
kT I
S
q Ɋ
.
ɉɪɢ S
ɧ
= 0 ɦɚɤɫɢɦɚɥɶɧɵɣ ɤɨɷɮɮɢɰɢɟɧɬ ɤɨɦɩɪɟɫɫɢɢ:
max .
max .
1
S
K
U
.
Ɍɨɝɞɚ ɦɨɠɧɨ ɡɚɩɢɫɚɬɶ
S
ɧ
= S
max.
– U(K – 1).
Ɋɢɫ. 12. ɋɯɟɦɚ ɢɨɧɧɨɣ ɨɬɤɚɱɤɢ
ɂɡ-ɡɚ ɬɪɭɞɧɨɫɬɢ ɨɛɟɫɩɟɱɟɧɢɹ ɷɮɮɟɤɬɢɜɧɨɣ ɢɨɧɢɡɚɰɢɢ ɝɚɡɚ ɩɪɢ ɧɢɡɤɢɯ
ɞɚɜɥɟɧɢɹɯ ɢ ɦɚɥɨɣ ɩɪɨɜɨɞɢɦɨɫɬɢ ɧɚɫɨɫɚ ɞɥɹ ɨɛɪɚɬɧɨɝɨ ɩɨɬɨɤɚ ɝɚɡɚ ɭɞɟɥɶ-
ɧɵɟ ɷɧɟɪɝɟɬɢɱɟɫɤɢɟ ɡɚɬɪɚɬɵ ɧɚ ɟɞɢɧɢɰɭ ɛɵɫɬɪɨɬɵ ɨɬɤɚɱɤɢ ɢɨɧɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ
ɩɨɤɚ ɟɳɟ ɫɥɢɲɤɨɦ ɜɟɥɢɤɢ, ɱɬɨ ɩɪɟɩɹɬɫɬɜɭɟɬ ɢɯ ɩɪɨɦɵɲɥɟɧɧɨɦɭ ɩɪɢɦɟɧɟ-
ɧɢɸ. ɉɨɷɬɨɦɭ ɜ ɧɚɫɬɨɹɳɟɟ ɜɪɟɦɹ ɢɨɧɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ ɜ ɱɢɫɬɨɦ ɜɢɞɟ ɩɪɚɤɬɢɱɟ-
ɫɤɢ ɧɟ ɩɪɢɦɟɧɹɸɬɫɹ, ɚ ɩɪɢɧɰɢɩ ɢɨɧɧɨɣ ɨɬɤɚɱɤɢ ɢɫɩɨɥɶɡɭɟɬɫɹ ɫɨɜɦɟɫɬɧɨ ɫ
ɫɨɪɛɰɢɨɧɧɵɦ ɜ ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢɹɯ ɢɨɧɧɨ-ɫɨɪɛɰɢɨɧɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ.
2.2. ɏɟɦɨɫɨɪɛɰɢɨɧɧɚɹ ɨɬɤɚɱɤɚ
ɇɚ ɩɪɢɧɰɢɩɟ ɯɟɦɨɫɨɪɛɰɢɢ ɪɚɛɨɬɚɸɬ ɢɫɩɚɪɢɬɟɥɶɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ. ɏɟɦɨ-
ɫɨɪɛɰɢɨɧɧɚɹ ɨɬɤɚɱɤɚ ɨɫɭɳɟɫɬɜɥɹɟɬɫɹ ɩɭɬɟɦ ɩɨɝɥɨɳɟɧɢɹ ɚɤɬɢɜɧɵɯ ɝɚɡɨɜ ɧɚ
ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɢ ɦɟɬɚɥɥɨɜ. ɉɨɤɚɡɚɬɟɥɟɦ ɚɤɬɢɜɧɨɫɬɢ ɝɚɡɚ ɹɜɥɹɟɬɫɹ ɟɝɨ ɬɟɩɥɨɬɚ
ɚɞɫɨɪɛɰɢɢ ɧɚ ɞɚɧɧɨɦ ɦɟɬɚɥɥɟ. ɇɚɢɛɨɥɶɲɟɟ ɪɚɫɩɪɨɫɬɪɚɧɟɧɢɟ ɞɥɹ ɯɟɦɨ-
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                          Qɧ      kT ˜ I i       §Ɋ      ·
                     Sɧ                     U ¨ ɜɵɯ.  1¸ .
                          Ɋɜɯ.    q ˜ Ɋɜɯ.           Ɋ
                                                 © ɜɯ.   ¹
    ɉɪɢ Ʉ = Ɋɜɵɯ./Ɋɜɯ. = 1 ɛɵɫɬɪɨɬɚ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɧɚɫɨɫɚ ɦɚɤɫɢɦɚɥɶɧɚ:
                                          kT ˜ I i
                                S max .            .
                                         q ˜ Ɋɜɯ.
    ɉɪɢ Sɧ = 0 ɦɚɤɫɢɦɚɥɶɧɵɣ ɤɨɷɮɮɢɰɢɟɧɬ ɤɨɦɩɪɟɫɫɢɢ:
                                       S
                            K max . 1  max . .
                                        U
    Ɍɨɝɞɚ ɦɨɠɧɨ ɡɚɩɢɫɚɬɶ
                         Sɧ = Smax. – U(K – 1).




                      Ɋɢɫ. 12. ɋɯɟɦɚ ɢɨɧɧɨɣ ɨɬɤɚɱɤɢ

    ɂɡ-ɡɚ ɬɪɭɞɧɨɫɬɢ ɨɛɟɫɩɟɱɟɧɢɹ ɷɮɮɟɤɬɢɜɧɨɣ ɢɨɧɢɡɚɰɢɢ ɝɚɡɚ ɩɪɢ ɧɢɡɤɢɯ
ɞɚɜɥɟɧɢɹɯ ɢ ɦɚɥɨɣ ɩɪɨɜɨɞɢɦɨɫɬɢ ɧɚɫɨɫɚ ɞɥɹ ɨɛɪɚɬɧɨɝɨ ɩɨɬɨɤɚ ɝɚɡɚ ɭɞɟɥɶ-
ɧɵɟ ɷɧɟɪɝɟɬɢɱɟɫɤɢɟ ɡɚɬɪɚɬɵ ɧɚ ɟɞɢɧɢɰɭ ɛɵɫɬɪɨɬɵ ɨɬɤɚɱɤɢ ɢɨɧɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ
ɩɨɤɚ ɟɳɟ ɫɥɢɲɤɨɦ ɜɟɥɢɤɢ, ɱɬɨ ɩɪɟɩɹɬɫɬɜɭɟɬ ɢɯ ɩɪɨɦɵɲɥɟɧɧɨɦɭ ɩɪɢɦɟɧɟ-
ɧɢɸ. ɉɨɷɬɨɦɭ ɜ ɧɚɫɬɨɹɳɟɟ ɜɪɟɦɹ ɢɨɧɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ ɜ ɱɢɫɬɨɦ ɜɢɞɟ ɩɪɚɤɬɢɱɟ-
ɫɤɢ ɧɟ ɩɪɢɦɟɧɹɸɬɫɹ, ɚ ɩɪɢɧɰɢɩ ɢɨɧɧɨɣ ɨɬɤɚɱɤɢ ɢɫɩɨɥɶɡɭɟɬɫɹ ɫɨɜɦɟɫɬɧɨ ɫ
ɫɨɪɛɰɢɨɧɧɵɦ ɜ ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢɹɯ ɢɨɧɧɨ-ɫɨɪɛɰɢɨɧɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ.

    2.2. ɏɟɦɨɫɨɪɛɰɢɨɧɧɚɹ ɨɬɤɚɱɤɚ

    ɇɚ ɩɪɢɧɰɢɩɟ ɯɟɦɨɫɨɪɛɰɢɢ ɪɚɛɨɬɚɸɬ ɢɫɩɚɪɢɬɟɥɶɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ. ɏɟɦɨ-
ɫɨɪɛɰɢɨɧɧɚɹ ɨɬɤɚɱɤɚ ɨɫɭɳɟɫɬɜɥɹɟɬɫɹ ɩɭɬɟɦ ɩɨɝɥɨɳɟɧɢɹ ɚɤɬɢɜɧɵɯ ɝɚɡɨɜ ɧɚ
ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɢ ɦɟɬɚɥɥɨɜ. ɉɨɤɚɡɚɬɟɥɟɦ ɚɤɬɢɜɧɨɫɬɢ ɝɚɡɚ ɹɜɥɹɟɬɫɹ ɟɝɨ ɬɟɩɥɨɬɚ
ɚɞɫɨɪɛɰɢɢ ɧɚ ɞɚɧɧɨɦ ɦɟɬɚɥɥɟ. ɇɚɢɛɨɥɶɲɟɟ ɪɚɫɩɪɨɫɬɪɚɧɟɧɢɟ ɞɥɹ ɯɟɦɨ-
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