Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 19 стр.

    Ⱦɥɹ ɡɚɩɭɫɤɚ ɝɟɬɬɟɪɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ ɢ ɨɬɤɚɱɤɢ ɢɧɟɪɬɧɵɯ ɝɚɡɨɜ ɧɟɨɛɯɨɞɢɦ
ɧɚɫɨɫ ɨɛɴɟɦɧɨɝɨ ɞɟɣɫɬɜɢɹ: ɞɢɮɮɭɡɢɨɧɧɵɣ ɢɥɢ ɬɭɪɛɨɦɨɥɟɤɭɥɹɪɧɵɣ.
    Ɇɚɥɚɹ ɫɤɨɪɨɫɬɶ ɨɬɤɚɱɤɢ ɢɧɟɪɬɧɵɯ ɝɚɡɨɜ ɫɬɢɦɭɥɢɪɨɜɚɥɚ ɫɨɡɞɚɧɢɟ
ɝɪɭɩɩɵ ɧɚɫɨɫɨɜ, ɨɛɴɟɞɢɧɢɜɲɢɯ ɜ ɨɞɧɨɦ ɤɨɪɩɭɫɟ ɝɟɬɬɟɪɧɵɣ ɢ ɢɨɧɧɵɣ ɧɚ-
ɫɨɫɵ. ȼ ɡɚɜɢɫɢɦɨɫɬɢ ɨɬ ɫɩɨɫɨɛɚ ɪɚɫɩɵɥɟɧɢɹ ɝɟɬɬɟɪɧɨɝɨ ɦɚɬɟɪɢɚɥɚ ɢ ɢɨɧɢ-
ɡɚɰɢɢ ɝɚɡɚ ɷɬɢ ɧɚɫɨɫɵ ɦɨɠɧɨ ɪɚɡɞɟɥɢɬɶ ɧɚ 2 ɩɨɞɝɪɭɩɩɵ: 1) ɝɟɬɬɟɪɧɨ-
ɢɨɧɧɵɟ ɢ 2) ɦɚɝɧɢɬɨɪɚɡɪɹɞɧɵɟ.

    Ƚɟɬɬɟɪɧɨ-ɢɨɧɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ (Ƚɂɇ)

     ȼ Ƚɂɇ ɧɟɩɪɟɪɵɜɧɨɟ ɢɥɢ ɩɟɪɢɨɞɢɱɟɫɤɨɟ ɧɚɩɵɥɟɧɢɟ ɚɤɬɢɜɧɨɝɨ ɦɟɬɚɥɥɚ
ɧɚ ɪɚɛɨɱɭɸ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɶ ɨɫɭɳɟɫɬɜɥɹɟɬɫɹ ɥɢɛɨ ɢɡ ɬɜɟɪɞɨɣ (ɬɟɪɦɢɱɟɫɤɨɟ ɢɫ-
ɩɚɪɟɧɢɟ), ɥɢɛɨ ɢɡ ɠɢɞɤɨɣ (ɩɥɚɜɥɟɧɢɟ ɷɥɟɤɬɪɨɧɧɵɦ ɥɭɱɨɦ) ɮɚɡɵ. Ⱦɥɹ ɢɨ-
ɧɢɡɚɰɢɢ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɵɯ ɝɚɡɨɜ ɩɪɢɦɟɧɹɸɬ ɩɪɟɢɦɭɳɟɫɬɜɟɧɧɨ ɷɥɟɤɬɪɨɫɬɚɬɢ-
ɱɟɫɤɢɟ ɢɨɧɢɡɚɬɨɪɵ ɫ ɝɨɪɹɱɢɦ ɤɚɬɨɞɨɦ. ɂɨɧɢɡɚɰɢɹ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɵɯ ɝɚɡɨɜ
ɫɩɨɫɨɛɫɬɜɭɟɬ ɩɨɜɵɲɟɧɢɸ ɷɮɮɟɤɬɢɜɧɨɫɬɢ ɩɨɝɥɨɳɟɧɢɹ ɚɤɬɢɜɧɵɯ ɝɚɡɨɜ ɢ
ɫɨɡɞɚɟɬ ɭɫɥɨɜɢɹ ɞɥɹ ɫɜɹɡɵɜɚɧɢɹ ɢɧɟɪɬɧɵɯ ɝɚɡɨɜ. Ƚɟɬɬɟɪɧɵɦ ɦɚɬɟɪɢɚɥɨɦ ɜ
Ƚɂɇ ɦɨɠɟɬ ɫɥɭɠɢɬɶ ɢɨɞɢɞɧɵɣ Ti, ɬɢɬɚɧɨɜɵɣ ɫɩɥɚɜ ȼɌ-1-1 ɢɥɢ Ti-Mo ɩɪɨ-
ɜɨɥɨɤɚ, ɩɨɥɭɱɟɧɧɚɹ ɩɭɬɟɦ ɨɫɚɠɞɟɧɢɹ Ti ɧɚ Mo ɩɪɨɜɨɥɨɤɭ. ɋɯɟɦɚɬɢɱɟɫɤɨɟ
ɭɫɬɪɨɣɫɬɜɨ Ƚɂɇ ɩɨɤɚɡɚɧɨ ɧɚ ɪɢɫ. 13.
     ɂɨɧɢɡɚɰɢɹ, ɧɟɨɛɯɨɞɢɦɚɹ ɞɥɹ ɨɬɤɚɱɤɢ ɢɧɟɪɬɧɵɯ ɝɚɡɨɜ ɢ ɭɝɥɟɜɨɞɨɪɨ-
ɞɨɜ, ɨɫɭɳɟɫɬɜɥɹɟɬɫɹ ɷɥɟɤɬɪɨɧɚɦɢ, ɷɦɢɬɢɪɭɟɦɵɦɢ ɧɚɤɚɥɟɧɧɵɦ ɤɚɬɨɞɨɦ 1.
Ⱦɥɹ ɭɜɟɥɢɱɟɧɢɹ ɷɮɮɟɤɬɢɜɧɨɫɬɢ ɢɨɧɢɡɚɰɢɢ ɧɚ ɚɧɨɞ 3 ɩɨɞɚɟɬɫɹ ɭɫɤɨɪɹɸɳɢɣ
ɩɨɬɟɧɰɢɚɥ +(1000–1200) ȼ ɨɬɧɨɫɢɬɟɥɶɧɨ ɤɚɬɨɞɚ. Ⱥɧɨɞ ɞɟɥɚɟɬɫɹ «ɩɪɨɡɪɚɱ-
ɧɵɦ» ɞɥɹ ɷɥɟɤɬɪɨɧɨɜ. Ʉɨɥɥɟɤɬɨɪɨɦ ɢɨɧɨɜ ɹɜɥɹɟɬɫɹ ɤɨɪɩɭɫ ɧɚɫɨɫɚ ɫ ɧɚɩɵ-
ɥɟɧɧɨɣ ɬɢɬɚɧɨɜɨɣ ɩɥɟɧɤɨɣ. Ⱥɧɨɞ, ɜɵɩɨɥɧɟɧɧɵɣ ɢɡ Ɇɨ ɩɪɨɜɨɥɨɤɢ, ɢɫɩɨɥɶ-
ɡɭɟɬɫɹ ɟɳɟ ɢ ɜ ɤɚɱɟɫɬɜɟ ɜɧɭɬɪɟɧɧɟɝɨ ɧɚɝɪɟɜɚɬɟɥɹ ɞɥɹ ɨɛɟɡɝɚɠɢɜɚɧɢɹ ɧɚɫɨɫɚ
ɩɪɢ ɩɨɞɝɨɬɨɜɤɟ ɟɝɨ ɤ ɪɚɛɨɬɟ.
     Ɉɫɧɨɜɧɵɦ ɞɨɫɬɨɢɧɫɬɜɨɦ Ƚɂɇ ɹɜɥɹɟɬɫɹ ɜɵɫɨɤɚɹ ɫɤɨɪɨɫɬɶ ɨɬɤɚɱɢɜɚɸ-
ɳɟɝɨ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɩɨ ɚɤɬɢɜɧɵɦ ɝɚɡɚɦ, ɱɬɨ ɩɨɡɜɨɥɹɟɬ ɫɨɡɞɚɬɶ ɧɚɫɨɫɵ ɫ ɨɱɟɧɶ
ɜɵɫɨɤɨɣ ɫɤɨɪɨɫɬɶɸ ɨɬɤɚɱɤɢ ɩɪɢ ɫɪɚɜɧɢɬɟɥɶɧɨ ɧɟɛɨɥɶɲɢɯ ɝɚɛɚɪɢɬɚɯ. Ɉɬɟ-
ɱɟɫɬɜɟɧɧɚɹ ɩɪɨɦɵɲɥɟɧɧɨɫɬɶ ɜɵɩɭɫɤɚɟɬ Ƚɂɇ ɫ Sɧ 5–4500 ɥ/ɫ. ɂɦɟɸɬɫɹ ɢ
ɧɚɫɨɫɵ ɫ Sɧ ~ 100000 ɥ/ɫ.




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