Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 23 стр.

         Ɋɢɫ. 15. Ʉɨɧɫɬɪɭɤɬɢɜɧɵɟ ɫɯɟɦɵ ɦɚɝɧɢɬɨɪɚɡɪɹɞɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ

     Ⱦɥɹ ɩɨɜɵɲɟɧɢɹ ɷɮɮɟɤɬɢɜɧɨɫɬɢ ɪɚɫɩɵɥɟɧɢɹ ɦɚɬɟɪɢɚɥɚ ɩɪɢɦɟɧɹɸɬɫɹ
ɫɯɟɦɵ ɞɢɨɞɧɵɯ ɆɊɇ ɫ ɪɟɛɪɢɫɬɵɦɢ ɤɚɬɨɞɚɦɢ ɢ ɬɪɢɨɞɧɚɹ ɫɢɫɬɟɦɚ
(ɪɢɫ. 15ɛ) ɫ ɫɟɬɱɚɬɵɦ ɤɚɬɨɞɨɦ 1. ȼ ɬɪɢɨɞɧɨɦ ɧɚɫɨɫɟ ɧɚɩɵɥɟɧɢɟ Ti ɜɟɞɟɬɫɹ
ɞɨɩɨɥɧɢɬɟɥɶɧɨ ɧɚ ɤɨɥɥɟɤɬɨɪ 2 (ɤɨɪɩɭɫ ɧɚɫɨɫɚ), ɤɨɬɨɪɵɣ ɧɟ ɛɨɦɛɚɪɞɢɪɭɟɬ-
ɫɹ ɩɨɥɨɠɢɬɟɥɶɧɵɦɢ ɢɨɧɚɦɢ.
     Ɇɚɝɧɢɬɨɪɚɡɪɹɞɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ ɨɛɥɚɞɚɸɬ ɡɚɦɟɬɧɨɣ ɢɡɛɢɪɚɬɟɥɶɧɨɫɬɶɸ ɨɬ-
ɤɚɱɤɢ. ɂɯ ɛɵɫɬɪɨɬɚ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɩɪɢ ɨɬɤɚɱɤɟ ɇ2 ɜ 3 ɪɚɡɚ ɜɵɲɟ, ɚ Ɉ2 ɜ ɞɜɚ ɪɚɡɚ
ɧɢɠɟ, ɱɟɦ ɚɡɨɬɚ.
     ȼ ɞɢɨɞɧɵɯ ɧɚɫɨɫɚɯ ɛɵɫɬɪɨɬɚ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɇɟ ɫɨɫɬɚɜɥɹɟɬ 10 %, Ne – 4 %,
Ar, Kr, Xe – 1–2 % ɨɬ ɛɵɫɬɪɨɬɵ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɩɪɢ ɨɬɤɚɱɤɟ ɚɡɨɬɚ. ȼ ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢ-
ɹɯ ɧɚɫɨɫɚ ɬɪɢɨɞɧɨɝɨ ɬɢɩɚ ɢ ɜ ɧɚɫɨɫɚɯ ɫ ɪɟɛɪɢɫɬɵɦɢ ɤɚɬɨɞɚɦɢ ɛɵɫɬɪɨɬɚ
ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɩɪɢ ɨɬɤɚɱɤɟ ɚɪɝɨɧɚ ɩɨɜɵɲɚɟɬɫɹ ɨɬɧɨɫɢɬɟɥɶɧɨ ɚɡɨɬɚ ɫɨɨɬɜɟɬɫɬ-
ɜɟɧɧɨ ɞɨ 25 % ɢ 10 %.
     ɉɪɟɞɟɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɆɊɇ – 10-8–10-10 ɉɚ. ȼɟɪɯɧɢɣ ɩɪɟɞɟɥ ɪɚɛɨɱɢɯ
ɞɚɜɥɟɧɢɣ ɨɩɪɟɞɟɥɹɟɬɫɹ ɝɚɡɨɜɵɞɟɥɟɧɢɟɦ ɢɡ-ɡɚ ɩɟɪɟɝɪɟɜɚ ɷɥɟɤɬɪɨɞɨɜ ɧɚɫɨɫɚ.
ɉɪɢ ɞɚɜɥɟɧɢɹɯ ɛɨɥɟɟ 10-3 ɉɚ ɞɥɢɬɟɥɶɧɚɹ ɪɚɛɨɬɚ ɧɚɫɨɫɚ ɜɨɡɦɨɠɧɚ ɥɢɲɶ ɩɪɢ
ɞɨɩɨɥɧɢɬɟɥɶɧɨɦ ɨɯɥɚɠɞɟɧɢɢ ɷɥɟɤɬɪɨɞɨɜ. Ʉɪɚɬɤɨɜɪɟɦɟɧɧɚɹ ɪɚɛɨɬɚ ɧɚɫɨɫɚ
ɩɪɢ ɟɝɨ ɡɚɩɭɫɤɟ ɜɨɡɦɨɠɧɚ ɨɬ ɞɚɜɥɟɧɢɹ 1 ɉɚ.
     ɇɚɥɢɱɢɟ ɡɚɝɪɹɡɧɟɧɢɣ ɧɚ ɷɥɟɤɬɪɨɞɚɯ ɧɚɫɨɫɚ, ɨɫɨɛɟɧɧɨ ɨɪɝɚɧɢɱɟɫɤɢɯ,
ɭɦɟɧɶɲɚɟɬ ɛɵɫɬɪɨɬɭ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɧɚɫɨɫɚ ɢ ɭɯɭɞɲɚɟɬ ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ,
ɩɨɷɬɨɦɭ ɩɪɟɞɜɚɪɢɬɟɥɶɧɚɹ ɨɬɤɚɱɤɚ ɷɬɢɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɞɨɥɠɧɚ ɛɵɬɶ ɛɟɡɦɚɫɥɹɧɨɣ.
     Ɉɬɟɱɟɫɬɜɟɧɧɚɹ ɩɪɨɦɵɲɥɟɧɧɨɫɬɶ ɜɵɩɭɫɤɚɟɬ ɫɟɪɢɢ ɆɊɇ ɞɢɨɞɧɨɝɨ ɬɢɩɚ
ɛɟɡ ɨɯɥɚɠɞɟɧɢɹ ɷɥɟɤɬɪɨɞɨɜ (ɇɆȾ) ɢ ɫ ɜɨɞɹɧɵɦ ɨɯɥɚɠɞɟɧɢɟɦ (ɇɈɊȾ), ɚ


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