Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 28 стр.

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ВГУ | Воронеж

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Ɋɢɫ. 18. Ɂɚɜɢɫɢɦɨɫɬɶ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɧɚɫɵɳɟɧɧɵɯ ɩɚɪɨɜ ɪɚɡɥɢɱɧɵɯ ɜɟɳɟɫɬɜ
ɨɬ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɵ
ɉɨɥɭɱɟɧɨ, ɱɬɨ ɩɪɢ ɞɚɜɥɟɧɢɢ ɝɚɡɚ ɦɧɨɝɨ ɛɨɥɶɲɟ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɧɚɫɵɳɟɧɢɹ
ɩɪɢ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɟ Ɍ ɧɚɛɥɸɞɚɟɬɫɹ ɦɚɤɫɢɦɚɥɶɧɚɹ ɛɵɫɬɪɨɬɚ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɤɪɢɨ-
ɤɨɧɞɟɧɫɚɰɢɨɧɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ, ɪɚɜɧɚɹ ɫɤɨɪɨɫɬɢ ɤɨɧɞɟɧɫɚɰɢɢ. ȼɟɥɢɱɢɧɚ S
max
[ɦ
3
/(ɫɦ
2
)] ɜ ɡɚɜɢɫɢɦɨɫɬɢ ɨɬ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɵ ɢ ɪɨɞɚ ɝɚɡɚ ɢɦɟɟɬ ɫɥɟɞɭɸɳɢɟ
ɡɧɚɱɟɧɢɹ: ɩɪɢ Ɍ = 293 ɢ 78 Ʉ ɫɨɨɬɜɟɬɫɬɜɟɧɧɨ ɞɥɹ N
2
– 118 ɢ 61; Ɉ
2
– 110 ɢ
57; Ne – 139 ɢ 72; ɇ
2
– 442 ɢ 228.
ɉɪɢ ɪɚɛɨɬɟ ɧɚɫɨɫɚ ɩɪɨɢɫɯɨɞɢɬ ɨɛɪɚɡɨɜɚɧɢɟ ɤɪɢɨɨɫɚɞɤɚ ɧɚ ɤɨɧɞɟɧɫɢ-
ɪɭɸɳɟɣ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɢ ɢ ɭɯɭɞɲɟɧɢɟ ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɝɨ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɧɚɫɨɫɚ. ɉɨɷɬɨɦɭ
ɜɨɡɧɢɤɚɟɬ ɧɟɨɛɯɨɞɢɦɨɫɬɶ ɩɟɪɢɨɞɢɱɟɫɤɢ ɪɚɡɦɨɪɚɠɢɜɚɬɶ ɧɚɫɨɫ.
Ʉɪɢɨɤɨɧɞɟɧɫɚɰɢɨɧɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ ɡɚɥɢɜɧɨɝɨ ɬɢɩɚ ɢɦɟɸɬ ɤɨɧɫɬɪɭɤɬɢɜɧɭɸ
ɫɯɟɦɭ ɪɢɫ. 19ɝ. ȼ ɩɨɥɨɫɬɶ 2 ɡɚɥɢɜɚɟɬɫɹ ɧɢɡɤɨɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɧɵɣ ɤɪɢɨɚɝɟɧɬ
(ɠɢɞɤɢɣ ɝɟɥɢɣ ɢɥɢ ɜɨɞɨɪɨɞ), ɚ ɜ ɩɨɥɨɫɬɶ 3 – ɜɵɫɨɤɨɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɧɵɣ ɤɪɢɨɚ-
ɝɟɧɬ (ɠɢɞɤɢɣ ɚɡɨɬ). ɗɤɪɚɧɵ 1 ɡɚɳɢɳɚɸɬ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɶ ɫɨɫɭɞɚ ɫ ɧɢɡɤɨɬɟɦ-
ɩɟɪɚɬɭɪɧɵɦ ɤɪɢɨɚɝɟɧɬɨɦ ɨɬ ɢɡɥɭɱɟɧɢɹ ɫɬɟɧɨɤ ɧɚɫɨɫɚ, ɧɟ ɩɪɟɩɹɬɫɬɜɭɹ ɩɪɨ-
ɧɢɤɧɨɜɟɧɢɸ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɨɝɨ ɝɚɡɚ ɤ ɨɯɥɚɠɞɟɧɧɨɣ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɢ. Ɉɱɟɧɶ ɱɚɫɬɨ
ɜ ɤɪɢɨɤɨɧɞɟɧɫɚɰɢɨɧɧɵɯ ɧɚɫɨɫɚɯ ɢɫɩɨɥɶɡɭɟɬɫɹ ɚɞɫɨɪɛɰɢɨɧɧɵɣ ɫɩɨɫɨɛ ɩɨ-
ɝɥɨɳɟɧɢɹ ɧɟɤɨɧɞɟɧɫɢɪɭɸɳɢɯɫɹ ɝɚɡɨɜ, ɞɥɹ ɱɟɝɨ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɶ ɫɨɫɭɞɚ ɫ ɧɢɡ-
ɤɨɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɧɵɦ ɤɪɢɨɚɝɟɧɬɨɦ ɩɨɤɪɵɜɚɟɬɫɹ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɨɦ ɜ ɜɢɞɟ ɩɨɪɢɫɬɨɣ
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    Ɋɢɫ. 18. Ɂɚɜɢɫɢɦɨɫɬɶ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɧɚɫɵɳɟɧɧɵɯ ɩɚɪɨɜ ɪɚɡɥɢɱɧɵɯ ɜɟɳɟɫɬɜ
                             ɨɬ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɵ

     ɉɨɥɭɱɟɧɨ, ɱɬɨ ɩɪɢ ɞɚɜɥɟɧɢɢ ɝɚɡɚ ɦɧɨɝɨ ɛɨɥɶɲɟ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɧɚɫɵɳɟɧɢɹ
ɩɪɢ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɟ Ɍ ɧɚɛɥɸɞɚɟɬɫɹ ɦɚɤɫɢɦɚɥɶɧɚɹ ɛɵɫɬɪɨɬɚ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɤɪɢɨ-
ɤɨɧɞɟɧɫɚɰɢɨɧɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ, ɪɚɜɧɚɹ ɫɤɨɪɨɫɬɢ ɤɨɧɞɟɧɫɚɰɢɢ. ȼɟɥɢɱɢɧɚ Smax
[ɦ3/(ɫ˜ɦ2)] ɜ ɡɚɜɢɫɢɦɨɫɬɢ ɨɬ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɵ ɢ ɪɨɞɚ ɝɚɡɚ ɢɦɟɟɬ ɫɥɟɞɭɸɳɢɟ
ɡɧɚɱɟɧɢɹ: ɩɪɢ Ɍ = 293 ɢ 78 Ʉ ɫɨɨɬɜɟɬɫɬɜɟɧɧɨ ɞɥɹ N2 – 118 ɢ 61; Ɉ2 – 110 ɢ
57; Ne – 139 ɢ 72; ɇ2 – 442 ɢ 228.
     ɉɪɢ ɪɚɛɨɬɟ ɧɚɫɨɫɚ ɩɪɨɢɫɯɨɞɢɬ ɨɛɪɚɡɨɜɚɧɢɟ ɤɪɢɨɨɫɚɞɤɚ ɧɚ ɤɨɧɞɟɧɫɢ-
ɪɭɸɳɟɣ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɢ ɢ ɭɯɭɞɲɟɧɢɟ ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɝɨ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɧɚɫɨɫɚ. ɉɨɷɬɨɦɭ
ɜɨɡɧɢɤɚɟɬ ɧɟɨɛɯɨɞɢɦɨɫɬɶ ɩɟɪɢɨɞɢɱɟɫɤɢ ɪɚɡɦɨɪɚɠɢɜɚɬɶ ɧɚɫɨɫ.
     Ʉɪɢɨɤɨɧɞɟɧɫɚɰɢɨɧɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ ɡɚɥɢɜɧɨɝɨ ɬɢɩɚ ɢɦɟɸɬ ɤɨɧɫɬɪɭɤɬɢɜɧɭɸ
ɫɯɟɦɭ ɪɢɫ. 19ɝ. ȼ ɩɨɥɨɫɬɶ 2 ɡɚɥɢɜɚɟɬɫɹ ɧɢɡɤɨɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɧɵɣ ɤɪɢɨɚɝɟɧɬ
(ɠɢɞɤɢɣ ɝɟɥɢɣ ɢɥɢ ɜɨɞɨɪɨɞ), ɚ ɜ ɩɨɥɨɫɬɶ 3 – ɜɵɫɨɤɨɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɧɵɣ ɤɪɢɨɚ-
ɝɟɧɬ (ɠɢɞɤɢɣ ɚɡɨɬ). ɗɤɪɚɧɵ 1 ɡɚɳɢɳɚɸɬ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɶ ɫɨɫɭɞɚ ɫ ɧɢɡɤɨɬɟɦ-
ɩɟɪɚɬɭɪɧɵɦ ɤɪɢɨɚɝɟɧɬɨɦ ɨɬ ɢɡɥɭɱɟɧɢɹ ɫɬɟɧɨɤ ɧɚɫɨɫɚ, ɧɟ ɩɪɟɩɹɬɫɬɜɭɹ ɩɪɨ-
ɧɢɤɧɨɜɟɧɢɸ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɨɝɨ ɝɚɡɚ ɤ ɨɯɥɚɠɞɟɧɧɨɣ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɢ. Ɉɱɟɧɶ ɱɚɫɬɨ
ɜ ɤɪɢɨɤɨɧɞɟɧɫɚɰɢɨɧɧɵɯ ɧɚɫɨɫɚɯ ɢɫɩɨɥɶɡɭɟɬɫɹ ɚɞɫɨɪɛɰɢɨɧɧɵɣ ɫɩɨɫɨɛ ɩɨ-
ɝɥɨɳɟɧɢɹ ɧɟɤɨɧɞɟɧɫɢɪɭɸɳɢɯɫɹ ɝɚɡɨɜ, ɞɥɹ ɱɟɝɨ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɶ ɫɨɫɭɞɚ ɫ ɧɢɡ-
ɤɨɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɧɵɦ ɤɪɢɨɚɝɟɧɬɨɦ ɩɨɤɪɵɜɚɟɬɫɹ ɚɞɫɨɪɛɟɧɬɨɦ ɜ ɜɢɞɟ ɩɨɪɢɫɬɨɣ


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