Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 3 стр.

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ȼɜɟɞɟɧɢɟ
Ɋɚɡɜɢɬɢɟ ɬɟɯɧɨɥɨɝɢɢ ɩɪɨɢɡɜɨɞɫɬɜɚ ɢɡɞɟɥɢɣ ɷɥɟɤɬɪɨɧɧɨɣ ɬɟɯɧɢɤɢ ɫɜɹ-
ɡɚɧɨ ɫ ɜɨɡɪɚɫɬɚɸɳɟɣ ɪɨɥɶɸ ɜɚɤɭɭɦɧɵɯ ɬɟɯɧɨɥɨɝɢɱɟɫɤɢɯ ɩɪɨɰɟɫɫɨɜ ɢ ɪɚɡ-
ɪɚɛɨɬɤɨɣ ɧɨɜɵɯ ɫɪɟɞɫɬɜ ɜɚɤɭɭɦɧɨɣ ɬɟɯɧɢɤɢ. ɗɬɨ ɨɛɴɹɫɧɹɟɬɫɹ ɬɟɦ, ɱɬɨ ɜɚ-
ɤɭɭɦ ɹɜɥɹɟɬɫɹ ɢɞɟɚɥɶɧɨ ɱɢɫɬɨɣ ɬɟɯɧɨɥɨɝɢɱɟɫɤɨɣ ɫɪɟɞɨɣ, ɜ ɤɨɬɨɪɨɣ ɦɨɠɧɨ
ɨɫɭɳɟɫɬɜɢɬɶ ɨɛɪɚɛɨɬɤɭ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɟɣ ɩɥɚɡɦɨɣ, ɷɥɟɤɬɪɨɧɧɵɦɢ ɢ ɢɨɧɧɵɦɢ
ɩɭɱɤɚɦɢ, ɨɛɟɫɩɟɱɢɜɚɸɳɢɦɢ ɡɧɚɱɢɬɟɥɶɧɨɟ ɩɨɜɵɲɟɧɢɟ ɬɨɱɧɨɫɬɢ, ɜɨɫɩɪɨɢɡ-
ɜɨɞɢɦɨɫɬɢ ɢ ɭɩɪɚɜɥɹɟɦɨɫɬɢ ɩɪɨɰɟɫɫɚɦɢ ɢɡɝɨɬɨɜɥɟɧɢɹ ɋȻɂɋ ɢ ɍȻɂɋ ɫ
ɫɭɛɦɢɤɪɨɧɧɵɦɢ ɢ ɧɚɧɨɦɟɬɪɨɜɵɦɢ ɪɚɡɦɟɪɚɦɢ ɷɥɟɦɟɧɬɨɜ.
ȼ ɷɥɟɤɬɪɨɧɧɨɣ ɩɪɨɦɵɲɥɟɧɧɨɫɬɢ ɜɚɤɭɭɦɧɚɹ ɬɟɯɧɢɤɚ ɩɪɢɦɟɧɹɟɬɫɹ ɩɪɢ
ɩɪɨɜɟɞɟɧɢɢ ɬɟɯɧɨɥɨɝɢɱɟɫɤɢɯ ɩɪɨɰɟɫɫɨɜ ɧɚɧɟɫɟɧɢɹ ɬɨɧɤɢɯ ɩɥɟɧɨɤ, ɮɨɪɦɢ-
ɪɨɜɚɧɢɹ ɬɨɩɨɥɨɝɢɱɟɫɤɨɝɨ ɪɢɫɭɧɤɚ ɷɥɟɦɟɧɬɨɜ ɦɢɤɪɨɫɯɟɦ, ɜɵɪɚɳɢɜɚɧɢɹ
ɦɨɧɨɤɪɢɫɬɚɥɥɨɜ, ɩɪɨɜɟɞɟɧɢɹ ɢɨɧɧɨɣ ɢɦɩɥɚɧɬɚɰɢɢ, ɚɧɚɥɢɡɚ ɫɨɫɬɚɜɚ ɢ
ɫɬɪɭɤɬɭɪɵ ɦɚɬɟɪɢɚɥɨɜ ɢ ɜɨ ɦɧɨɝɢɯ ɞɪɭɝɢɯ ɫɥɭɱɚɹɯ.
ɉɨɷɬɨɦɭ ɢɡɭɱɟɧɢɟ ɫɬɭɞɟɧɬɚɦɢ ɤɭɪɫɚ «ȼɚɤɭɭɦɧɚɹ ɬɟɯɧɢɤɚ» ɹɜɥɹɟɬɫɹ
ɜɚɠɧɟɣɲɟɣ ɱɚɫɬɶɸ ɩɨɞɝɨɬɨɜɤɢ ɫɩɟɰɢɚɥɢɫɬɨɜ ɷɥɟɤɬɪɨɧɧɨɣ ɬɟɯɧɢɤɢ. Ɇɟɬɨ-
ɞɢɱɟɫɤɢɟ ɦɚɬɟɪɢɚɥɵ ɫɨɞɟɪɠɚɬ ɨɩɢɫɚɧɢɟ ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢɣ ɢ ɬɟɨɪɟɬɢɱɟɫɤɢɟ ɨɫ-
ɧɨɜɵ ɦɟɬɨɞɨɜ, ɨɛɟɫɩɟɱɢɜɚɸɳɢɯ ɩɨɥɭɱɟɧɢɟ ɜɵɫɨɤɨɝɨ ɢ ɫɜɟɪɯɜɵɫɨɤɨɝɨ ɜɚ-
ɤɭɭɦɚ, ɚ ɬɚɤɠɟ ɨɩɢɫɚɧɢɟ ɞɜɭɯ ɥɚɛɨɪɚɬɨɪɧɵɯ ɪɚɛɨɬ. ɉɟɪɟɞ ɜɵɩɨɥɧɟɧɢɟɦ
ɤɚɠɞɨɣ ɢɡ ɧɢɯ ɫɬɭɞɟɧɬɵ ɞɨɥɠɧɵ ɫɚɦɨɫɬɨɹɬɟɥɶɧɨ ɢɡɭɱɢɬɶ ɨɫɧɨɜɧɵɟ ɬɟɨɪɟ-
ɬɢɱɟɫɤɢɟ ɩɨɥɨɠɟɧɢɹ ɢ ɫɨɞɟɪɠɚɧɢɟ ɩɪɟɞɫɬɨɹɳɟɣ ɩɪɚɤɬɢɱɟɫɤɨɣ ɪɚɛɨɬɵ.
Ɉɪɢɟɧɬɚɰɢɟɣ ɩɪɢ ɩɨɞɝɨɬɨɜɤɟ ɦɨɝɭɬ ɫɥɭɠɢɬɶ ɤɨɧɬɪɨɥɶɧɵɟ ɜɨɩɪɨɫɵ, ɪɚɡ-
ɦɟɳɟɧɧɵɟ ɜ ɤɨɧɰɟ ɤɚɠɞɨɣ ɪɚɛɨɬɵ. Ʉ ɜɵɩɨɥɧɟɧɢɸ ɪɚɛɨɬ ɞɨɩɭɫɤɚɸɬɫɹ
ɬɨɥɶɤɨ ɩɨɞɝɨɬɨɜɥɟɧɧɵɟ ɫɬɭɞɟɧɬɵ.
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                              ȼɜɟɞɟɧɢɟ

    Ɋɚɡɜɢɬɢɟ ɬɟɯɧɨɥɨɝɢɢ ɩɪɨɢɡɜɨɞɫɬɜɚ ɢɡɞɟɥɢɣ ɷɥɟɤɬɪɨɧɧɨɣ ɬɟɯɧɢɤɢ ɫɜɹ-
ɡɚɧɨ ɫ ɜɨɡɪɚɫɬɚɸɳɟɣ ɪɨɥɶɸ ɜɚɤɭɭɦɧɵɯ ɬɟɯɧɨɥɨɝɢɱɟɫɤɢɯ ɩɪɨɰɟɫɫɨɜ ɢ ɪɚɡ-
ɪɚɛɨɬɤɨɣ ɧɨɜɵɯ ɫɪɟɞɫɬɜ ɜɚɤɭɭɦɧɨɣ ɬɟɯɧɢɤɢ. ɗɬɨ ɨɛɴɹɫɧɹɟɬɫɹ ɬɟɦ, ɱɬɨ ɜɚ-
ɤɭɭɦ ɹɜɥɹɟɬɫɹ ɢɞɟɚɥɶɧɨ ɱɢɫɬɨɣ ɬɟɯɧɨɥɨɝɢɱɟɫɤɨɣ ɫɪɟɞɨɣ, ɜ ɤɨɬɨɪɨɣ ɦɨɠɧɨ
ɨɫɭɳɟɫɬɜɢɬɶ ɨɛɪɚɛɨɬɤɭ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɟɣ ɩɥɚɡɦɨɣ, ɷɥɟɤɬɪɨɧɧɵɦɢ ɢ ɢɨɧɧɵɦɢ
ɩɭɱɤɚɦɢ, ɨɛɟɫɩɟɱɢɜɚɸɳɢɦɢ ɡɧɚɱɢɬɟɥɶɧɨɟ ɩɨɜɵɲɟɧɢɟ ɬɨɱɧɨɫɬɢ, ɜɨɫɩɪɨɢɡ-
ɜɨɞɢɦɨɫɬɢ ɢ ɭɩɪɚɜɥɹɟɦɨɫɬɢ ɩɪɨɰɟɫɫɚɦɢ ɢɡɝɨɬɨɜɥɟɧɢɹ ɋȻɂɋ ɢ ɍȻɂɋ ɫ
ɫɭɛɦɢɤɪɨɧɧɵɦɢ ɢ ɧɚɧɨɦɟɬɪɨɜɵɦɢ ɪɚɡɦɟɪɚɦɢ ɷɥɟɦɟɧɬɨɜ.
    ȼ ɷɥɟɤɬɪɨɧɧɨɣ ɩɪɨɦɵɲɥɟɧɧɨɫɬɢ ɜɚɤɭɭɦɧɚɹ ɬɟɯɧɢɤɚ ɩɪɢɦɟɧɹɟɬɫɹ ɩɪɢ
ɩɪɨɜɟɞɟɧɢɢ ɬɟɯɧɨɥɨɝɢɱɟɫɤɢɯ ɩɪɨɰɟɫɫɨɜ ɧɚɧɟɫɟɧɢɹ ɬɨɧɤɢɯ ɩɥɟɧɨɤ, ɮɨɪɦɢ-
ɪɨɜɚɧɢɹ ɬɨɩɨɥɨɝɢɱɟɫɤɨɝɨ ɪɢɫɭɧɤɚ ɷɥɟɦɟɧɬɨɜ ɦɢɤɪɨɫɯɟɦ, ɜɵɪɚɳɢɜɚɧɢɹ
ɦɨɧɨɤɪɢɫɬɚɥɥɨɜ, ɩɪɨɜɟɞɟɧɢɹ ɢɨɧɧɨɣ ɢɦɩɥɚɧɬɚɰɢɢ, ɚɧɚɥɢɡɚ ɫɨɫɬɚɜɚ ɢ
ɫɬɪɭɤɬɭɪɵ ɦɚɬɟɪɢɚɥɨɜ ɢ ɜɨ ɦɧɨɝɢɯ ɞɪɭɝɢɯ ɫɥɭɱɚɹɯ.
    ɉɨɷɬɨɦɭ ɢɡɭɱɟɧɢɟ ɫɬɭɞɟɧɬɚɦɢ ɤɭɪɫɚ «ȼɚɤɭɭɦɧɚɹ ɬɟɯɧɢɤɚ» ɹɜɥɹɟɬɫɹ
ɜɚɠɧɟɣɲɟɣ ɱɚɫɬɶɸ ɩɨɞɝɨɬɨɜɤɢ ɫɩɟɰɢɚɥɢɫɬɨɜ ɷɥɟɤɬɪɨɧɧɨɣ ɬɟɯɧɢɤɢ. Ɇɟɬɨ-
ɞɢɱɟɫɤɢɟ ɦɚɬɟɪɢɚɥɵ ɫɨɞɟɪɠɚɬ ɨɩɢɫɚɧɢɟ ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢɣ ɢ ɬɟɨɪɟɬɢɱɟɫɤɢɟ ɨɫ-
ɧɨɜɵ ɦɟɬɨɞɨɜ, ɨɛɟɫɩɟɱɢɜɚɸɳɢɯ ɩɨɥɭɱɟɧɢɟ ɜɵɫɨɤɨɝɨ ɢ ɫɜɟɪɯɜɵɫɨɤɨɝɨ ɜɚ-
ɤɭɭɦɚ, ɚ ɬɚɤɠɟ ɨɩɢɫɚɧɢɟ ɞɜɭɯ ɥɚɛɨɪɚɬɨɪɧɵɯ ɪɚɛɨɬ. ɉɟɪɟɞ ɜɵɩɨɥɧɟɧɢɟɦ
ɤɚɠɞɨɣ ɢɡ ɧɢɯ ɫɬɭɞɟɧɬɵ ɞɨɥɠɧɵ ɫɚɦɨɫɬɨɹɬɟɥɶɧɨ ɢɡɭɱɢɬɶ ɨɫɧɨɜɧɵɟ ɬɟɨɪɟ-
ɬɢɱɟɫɤɢɟ ɩɨɥɨɠɟɧɢɹ ɢ ɫɨɞɟɪɠɚɧɢɟ ɩɪɟɞɫɬɨɹɳɟɣ ɩɪɚɤɬɢɱɟɫɤɨɣ ɪɚɛɨɬɵ.
Ɉɪɢɟɧɬɚɰɢɟɣ ɩɪɢ ɩɨɞɝɨɬɨɜɤɟ ɦɨɝɭɬ ɫɥɭɠɢɬɶ ɤɨɧɬɪɨɥɶɧɵɟ ɜɨɩɪɨɫɵ, ɪɚɡ-
ɦɟɳɟɧɧɵɟ ɜ ɤɨɧɰɟ ɤɚɠɞɨɣ ɪɚɛɨɬɵ. Ʉ ɜɵɩɨɥɧɟɧɢɸ ɪɚɛɨɬ ɞɨɩɭɫɤɚɸɬɫɹ
ɬɨɥɶɤɨ ɩɨɞɝɨɬɨɜɥɟɧɧɵɟ ɫɬɭɞɟɧɬɵ.




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