Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 4 стр.

    1. Ɇɟɯɚɧɢɱɟɫɤɢɟ ɧɚɫɨɫɵ ɜɵɫɨɤɨɝɨ ɢ ɫɜɟɪɯɜɵɫɨɤɨɝɨ ɜɚɤɭɭɦɚ

    1.1. Ɇɨɥɟɤɭɥɹɪɧɚɹ ɨɬɤɚɱɤɚ. Ɍɭɪɛɨɦɨɥɟɤɭɥɹɪɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ

    Ɍɭɪɛɨɦɨɥɟɤɭɥɹɪɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ (ɌɆɇ) ɩɪɟɞɫɬɚɜɥɹɸɬ ɫɨɛɨɣ ɨɫɨɛɭɸ ɝɪɭɩ-
ɩɭ ɫɜɟɪɯɜɵɫɨɤɨɜɚɤɭɭɦɧɵɯ ɦɟɯɚɧɢɱɟɫɤɢɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɨɛɴɟɦɧɨɝɨ ɞɟɣɫɬɜɢɹ. ȼ
ɨɬɥɢɱɢɟ ɨɬ ɜɪɚɳɚɬɟɥɶɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɫ ɦɚɫɥɹɧɵɦ ɭɩɥɨɬɧɟɧɢɟɦ, ɨɬɤɚɱɢɜɚɸ-
ɳɟɟ ɞɟɣɫɬɜɢɟ ɤɨɬɨɪɵɯ ɨɫɧɨɜɚɧɨ ɧɚ ɫɠɚɬɢɢ ɩɨɪɰɢɢ ɝɚɡɚ ɜ ɢɡɦɟɧɹɸɳɟɦɫɹ
ɪɚɛɨɱɟɦ ɨɛɴɟɦɟ ɧɚɫɨɫɚ, ɬɭɪɛɨɦɨɥɟɤɭɥɹɪɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ ɨɬɤɚɱɢɜɚɸɬ ɝɚɡɵ ɜ ɪɟ-
ɡɭɥɶɬɚɬɟ ɫɨɨɛɳɟɧɢɹ ɢɯ ɦɨɥɟɤɭɥɚɦ ɧɚɩɪɚɜɥɟɧɧɨɝɨ ɩɟɪɟɦɟɳɟɧɢɹ ɛɵɫɬɪɨ-
ɜɪɚɳɚɸɳɢɦɢɫɹ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɹɦɢ ɪɨɬɨɪɚ. Ɍɚɤɨɟ ɭɞɚɥɟɧɢɟ ɝɚɡɚ ɢɡ ɜɚɤɭɭɦɧɨɣ
ɫɢɫɬɟɦɵ ɧɚɡɵɜɚɟɬɫɹ ɦɨɥɟɤɭɥɹɪɧɨɣ ɨɬɤɚɱɤɨɣ.
    ɋɭɳɟɫɬɜɭɟɬ ɞɜɟ ɤɨɧɫɬɪɭɤɬɢɜɧɵɯ ɪɚɡɧɨɜɢɞɧɨɫɬɢ ɌɆɇ: ɫ ɨɞɢɧɚɤɨɜɵɦ
ɧɚɩɪɚɜɥɟɧɢɟɦ ɞɜɢɠɟɧɢɹ ɝɚɡɚ ɢ ɫɬɟɧɤɢ ɤɚɧɚɥɚ ɢ ɫ ɜɡɚɢɦɧɨ ɩɟɪɩɟɧɞɢɤɭɥɹɪ-
ɧɵɦ ɞɜɢɠɟɧɢɟɦ ɪɚɛɨɱɢɯ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɟɣ ɢ ɩɨɬɨɤɚ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɵɯ ɝɚɡɨɜ. Ȼɨ-
ɥɟɟ ɲɢɪɨɤɨɟ ɪɚɫɩɪɨɫɬɪɚɧɟɧɢɟ ɩɨɥɭɱɢɥɚ ɩɨɫɥɟɞɧɹɹ ɪɚɡɧɨɜɢɞɧɨɫɬɶ. Ʉɨɧɫɬ-
ɪɭɤɰɢɢ ɌɆɇ, ɢɫɩɨɥɶɡɭɸɳɢɟ ɷɬɨɬ ɩɪɢɧɰɢɩ, ɤɥɚɫɫɢɮɢɰɢɪɭɸɬɫɹ ɩɨ ɪɚɫɩɨ-
ɥɨɠɟɧɢɸ ɜɚɥɚ ɪɨɬɨɪɚ – ɝɨɪɢɡɨɧɬɚɥɶɧɵɟ ɢ ɜɟɪɬɢɤɚɥɶɧɵɟ. Ȼɨɥɶɲɨɟ ɜɥɢɹɧɢɟ
ɧɚ ɯɚɪɚɤɬɟɪɢɫɬɢɤɢ ɧɚɫɨɫɚ ɨɤɚɡɵɜɚɟɬ ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢɹ ɨɩɨɪɧɵɯ ɭɡɥɨɜ: ɧɚ ɫɦɚ-
ɡɵɜɚɟɦɵɯ ɩɨɞɲɢɩɧɢɤɚɯ ɤɚɱɟɧɢɹ, ɧɚ ɦɚɝɧɢɬɧɵɯ ɨɩɨɪɚɯ ɢɥɢ ɝɚɡɨɜɨɣ ɩɨ-
ɞɭɲɤɟ.
     ɋɯɟɦɵ ɧɚɫɨɫɨɜ ɫ ɝɨɪɢɡɨɧɬɚɥɶɧɵɦ ɢ ɜɟɪɬɢɤɚɥɶɧɵɦ ɪɚɫɩɨɥɨɠɟɧɢɟɦ ɜɚ-
ɥɚ ɪɨɬɨɪɚ ɩɨɤɚɡɚɧɵ ɧɚ ɪɢɫ. 1a, ɛ. ȼ ɤɨɪɩɭɫɟ 2 ɭɫɬɚɧɨɜɥɟɧɵ ɧɟɩɨɞɜɢɠɧɵɟ
ɫɬɚɬɨɪɧɵɟ ɤɨɥɟɫɚ 4, ɦɟɠɞɭ ɤɨɬɨɪɵɦɢ ɜɪɚɳɚɸɬɫɹ ɤɨɥɟɫɚ 3, ɡɚɤɪɟɩɥɟɧɧɵɟ
ɧɚ ɪɨɬɨɪɟ 1. Ɋɨɬɨɪɧɵɟ ɤɨɥɟɫɚ ɜɵɩɨɥɧɹɸɬɫɹ ɜ ɜɢɞɟ ɞɢɫɤɨɜ ɫ ɩɪɨɪɟɡɹɦɢ. ȼ
ɫɬɚɬɨɪɧɵɯ ɤɨɥɟɫɚɯ ɢɦɟɸɬɫɹ ɡɟɪɤɚɥɶɧɨ ɪɚɫɩɨɥɨɠɟɧɧɵɟ ɩɪɨɪɟɡɢ ɬɚɤɨɣ ɠɟ
ɮɨɪɦɵ.
     ɉɪɢ ɝɨɪɢɡɨɧɬɚɥɶɧɨɦ ɩɨɥɨɠɟɧɢɢ ɪɨɬɨɪɚ ɞɜɢɠɟɧɢɟ ɝɚɡɚ ɜ ɧɚɫɨɫɟ ɩɨɫɥɟ
ɜɯɨɞɚ ɜɨ ɜɫɚɫɵɜɚɸɳɢɣ ɩɚɬɪɭɛɨɤ ɪɚɡɜɟɬɜɥɹɟɬɫɹ ɧɚ ɞɜɚ ɩɨɬɨɤɚ, ɤɨɬɨɪɵɟ ɫɨ-
ɟɞɢɧɹɸɬɫɹ ɜ ɜɵɯɥɨɩɧɨɦ ɩɚɬɪɭɛɤɟ.
     ȼ ɫɜɹɡɢ ɫ ɦɚɥɵɦɢ ɤɨɷɮɮɢɰɢɟɧɬɚɦɢ ɤɨɦɩɪɟɫɫɢɢ ɤɚɠɞɨɣ ɫɬɭɩɟɧɢ ɜ
ɬɭɪɛɨɦɨɥɟɤɭɥɹɪɧɨɦ ɧɚɫɨɫɟ ɦɨɠɧɨ ɭɜɟɥɢɱɢɬɶ ɪɚɛɨɱɢɟ ɡɚɡɨɪɵ. ɉɪɢ ɞɢɚɦɟɬ-
ɪɟ ɪɚɛɨɱɢɯ ɤɨɥɟɫ 200 ɦɦ ɨɫɟɜɨɣ (ɦɟɠɞɭ ɤɨɥɟɫɚɦɢ) ɢ ɪɚɞɢɚɥɶɧɵɣ (ɦɟɠɞɭ
ɤɨɪɩɭɫɨɦ ɢ ɪɨɬɨɪɧɵɦ ɤɨɥɟɫɨɦ ɢɥɢ ɪɨɬɨɪɨɦ ɢ ɫɬɚɬɨɪɧɵɦ ɤɨɥɟɫɨɦ) ɡɚɡɨɪɵ
ɦɨɝɭɬ ɫɨɫɬɚɜɥɹɬɶ 1 ... 1,2 ɦɦ, ɱɬɨ ɩɨɡɜɨɥɹɟɬ ɡɧɚɱɢɬɟɥɶɧɨ ɩɨɜɵɫɢɬɶ ɧɚɞɟɠ-


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