Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 6 стр.

    Ɋɚɡɪɚɛɨɬɚɧɵ ɬɭɪɛɨɦɨɥɟɤɭɥɹɪɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ ɜɟɪɬɢɤɚɥɶɧɨɣ ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢɢ
010ȼ-3500-006 ɢ 01ɇȼɌ-160-1Ⱥ (ɪɢɫ. 2), ɜ ɤɨɬɨɪɵɯ ɮɥɚɧɰɵ ɜɵɩɨɥɧɟɧɵ
ɩɨɞ ɪɟɡɢɧɨɜɵɟ ɭɩɥɨɬɧɟɧɢɹ, ɞɨɩɭɫɤɚɸɳɢɟ ɩɪɨɝɪɟɜ ɜ ɨɛɥɚɫɬɢ ɜɩɭɫɤɧɨɝɨ
ɮɥɚɧɰɚ ɞɨ 100–120 °ɋ.




      Ɋɢɫ. 2. Ɍɭɪɛɨɦɨɥɟɤɭɥɹɪɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ 010ȼ-3500-006 ɢ 01ɇȼɌ-160-1Ⱥ
                         ɜɟɪɬɢɤɚɥɶɧɨɣ ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢɢ

    Ɍɟɯɧɢɱɟɫɤɢɟ ɯɚɪɚɤɬɟɪɢɫɬɢɤɢ ɬɭɪɛɨɦɨɥɟɤɭɥɹɪɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ
                                 010ȼ-3500-006    01ɇȼɌ-160-1Ⱥ
    ɉɪɟɞɟɥɶɧɨɟ ɨɫɬɚɬɨɱɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ, ɉɚ     2.10-5      4.10-5
    Ȼɵɫɬɪɨɬɚ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɧɚ ɜɨɡɞɭɯɟ, ɥ/ɫ      2500        130
    ɑɚɫɬɨɬɚ ɜɪɚɳɟɧɢɹ ɪɨɬɨɪɚ, ɨɛ/ɦɢɧ        13500       36000
    ɍɫɥɨɜɧɵɣ ɩɪɨɯɨɞ ɜɯɨɞɧɨɝɨ ɮɥɚɧɰɚ, ɦɦ 400            100
    ɍɪɨɜɟɧɶ ɜɢɛɪɚɰɢɢ, ɞȻ                   80          -

     ɇɚɞɟɠɧɨɫɬɶ ɌɆɇ ɦɨɠɧɨ ɭɜɟɥɢɱɢɬɶ ɩɭɬɟɦ ɡɚɦɟɧɵ ɩɨɞɲɢɩɧɢɤɨɜ ɤɚ-
ɱɟɧɢɹ, ɤɨɬɨɪɵɟ ɫɥɭɠɚɬ ɨɩɨɪɧɵɦɢ ɭɡɥɚɦɢ, ɦɚɝɧɢɬɧɨɣ ɩɨɞɜɟɫɤɨɣ ɪɨɬɨɪɚ,
ɤɚɤ ɷɬɨ ɫɞɟɥɚɧɨ ɜ ɧɚɫɨɫɟ ɌɆɇ-400 Ɇɉ ɫ ɛɵɫɬɪɨɬɨɣ ɞɟɣɫɬɜɢɹ 400 ɥ/ɫ
(ɪɢɫ. 3). Ȼɟɫɤɨɧɬɚɤɬɧɚɹ ɦɚɝɧɢɬɧɚɹ ɩɨɞɜɟɫɤɚ ɪɨɬɨɪɚ ɨɛɟɫɩɟɱɢɜɚɟɬɫɹ ɜ ɨɫɟ-
ɜɨɦ ɧɚɩɪɚɜɥɟɧɢɢ ɷɥɟɤɬɪɨɦɚɝɧɢɬɚɦɢ, ɜ ɪɚɞɢɚɥɶɧɨɦ – ɩɨɫɬɨɹɧɧɵɦɢ ɦɚɝɧɢ-
ɬɚɦɢ. ɇɚɫɨɫ ɯɚɪɚɤɬɟɪɢɡɭɟɬɫɹ ɩɨɜɵɲɟɧɧɨɣ ɧɚɞɟɠɧɨɫɬɶɸ ɢ ɦɚɥɵɦ ɜɟɫɨɦ.


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