Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 8 стр.

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ɞɟɥɟɧɢɟ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɨɝɨ ɝɚɡɚ ɢ ɪɚɛɨɱɟɝɨ ɩɚɪɚ ɨɫɭɳɟɫɬɜɥɹɟɬɫɹ ɜ ɤɚɦɟɪɟ 5 ɜ
ɩɪɨɰɟɫɫɟ ɤɨɧɞɟɧɫɚɰɢɢ ɪɚɛɨɱɟɝɨ ɩɚɪɚ ɧɚ ɨɯɥɚɠɞɟɧɧɵɯ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɹɯ, ɩɨɫɥɟ
ɱɟɝɨ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɵɣ ɝɚɡ ɜɵɯɨɞɢɬ ɢɡ ɧɚɫɨɫɚ ɱɟɪɟɡ ɜɵɯɨɞɧɨɣ ɩɚɬɪɭɛɨɤ, ɚ
ɫɤɨɧɞɟɧɫɢɪɨɜɚɜɲɢɣɫɹ ɩɚɪ ɩɨɫɬɭɩɚɟɬ ɩɨ ɬɪɭɛɨɩɪɨɜɨɞɭ 7 ɜ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤ 8,
ɝɞɟ ɜɧɨɜɶ ɢɫɩɚɪɹɟɬɫɹ ɢ ɩɨ ɩɚɪɨɩɪɨɜɨɞɭ 9 ɩɨɩɚɞɚɟɬ ɜ ɪɚɛɨɱɟɟ ɫɨɩɥɨ 2, ɨɛɟɫ-
ɩɟɱɢɜɚɹ ɧɟɩɪɟɪɵɜɧɨɫɬɶ ɩɪɨɰɟɫɫɚ ɨɬɤɚɱɤɢ.
Ɋɢɫ. 4. ɋɯɟɦɚ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɨɣ ɨɬɤɚɱɤɢ
ȼɡɚɢɦɨɞɟɣɫɬɜɢɟ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɨɝɨ ɝɚɡɚ ɫ ɩɚɪɨɜɨɣ ɫɬɪɭɟɣ ɡɚɜɢɫɢɬ ɨɬ ɫɬɟ-
ɩɟɧɢ ɜɚɤɭɭɦɚ. ɉɪɢ ɧɢɡɤɨɦ ɜɚɤɭɭɦɟ ɦɨɥɟɤɭɥɵ, ɧɚɯɨɞɹɳɢɟɫɹ ɜ ɩɨɝɪɚɧɢɱɧɨɦ
ɫ ɩɚɪɨɜɨɣ ɫɬɪɭɟɣ ɫɥɨɟ, ɡɚ ɫɱɟɬ ɜɧɭɬɪɟɧɧɟɝɨ ɬɪɟɧɢɹ ɭɜɥɟɤɚɸɬ ɞɪɭɝɢɟ ɫɥɨɢ
ɝɚɡɚ. Ɍɚɤɢɟ ɧɚɫɨɫɵ ɧɚɡɵɜɚɸɬ ɷɠɟɤɬɨɪɧɵɦɢ.
ȼ ɨɛɥɚɫɬɢ ɜɵɫɨɤɨɝɨ ɜɚɤɭɭɦɚ ɜɫɟ ɦɨɥɟɤɭɥɵ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɨɝɨ ɝɚɡɚ, ɩɟɪɟ-
ɦɟɳɚɹɫɶ ɡɚ ɫɱɟɬ ɫɚɦɨɞɢɮɮɭɡɢɢ, ɧɟɩɨɫɪɟɞɫɬɜɟɧɧɨ ɜɡɚɢɦɨɞɟɣɫɬɜɭɸɬ ɫ ɞɜɢ-
ɠɭɳɟɣɫɹ ɫɬɪɭɟɣ ɩɚɪɚ, ɚ ɧɚɫɨɫɵ, ɪɚɛɨɬɚɸɳɢɟ ɜ ɬɚɤɢɯ ɭɫɥɨɜɢɹɯ, ɧɚɡɵɜɚɸɬ
ɞɢɮɮɭɡɢɨɧɧɵɦɢ.
ɉɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ ɧɟ ɦɨɝɭɬ ɪɚɛɨɬɚɬɶ ɫɚɦɨɫɬɨɹɬɟɥɶɧɨ, ɚ ɜɫɟɝɞɚ ɫɨ-
ɫɬɚɜɥɹɸɬ ɟɞɢɧɵɣ ɚɝɪɟɝɚɬ ɫ ɧɚɫɨɫɨɦ ɩɪɟɞɜɚɪɢɬɟɥɶɧɨɝɨ ɪɚɡɪɟɠɟɧɢɹ. ȼ ɤɚɱɟ-
ɫɬɜɟ ɩɨɫɥɟɞɧɟɝɨ ɱɚɳɟ ɜɫɟɝɨ ɢɫɩɨɥɶɡɭɸɬ ɦɟɯɚɧɢɱɟɫɤɢɟ ɧɚɫɨɫɵ ɫ ɦɚɫɥɹɧɵɦ
ɭɩɥɨɬɧɟɧɢɟɦ.
Ɋɚɫɫɦɨɬɪɢɦ ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢɢ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ. ɋɯɟɦɚ ɷɠɟɤɬɨɪɧɨɝɨ
ɧɚɫɨɫɚ ɩɨɤɚɡɚɧɚ ɧɚ ɪɢɫ. 5. ɇɚɫɨɫ ɫɨɫɬɨɢɬ ɢɡ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɚ 1, ɫɜɟɪɯɡɜɭɤɨɜɨ-
ɝɨ ɷɠɟɤɬɨɪɧɨɝɨ ɫɨɩɥɚ Ʌɚɜɚɥɹ 2, ɤɚɦɟɪɵ ɫɦɟɲɟɧɢɹ 5, ɜɩɭɫɤɧɨɝɨ ɢ ɜɵɩɭɫɤ-
ɧɨɝɨ ɮɥɚɧɰɟɜ 3 ɢ 4. Ʉɚɦɟɪɚ ɫɦɟɲɟɧɢɹ ɬɟɩɥɨɢɡɨɥɢɪɨɜɚɧɚ ɨɬ ɤɨɪɩɭɫɚ ɧɚɫɨɫɚ.
ɇɚ ɜɵɩɭɫɤɧɨɦ ɩɚɬɪɭɛɤɟ ɢɦɟɟɬɫɹ ɯɨɥɨɞɢɥɶɧɢɤ 6, ɨɯɥɚɠɞɚɟɦɵɣ ɩɪɨɬɨɱɧɨɣ
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ɞɟɥɟɧɢɟ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɨɝɨ ɝɚɡɚ ɢ ɪɚɛɨɱɟɝɨ ɩɚɪɚ ɨɫɭɳɟɫɬɜɥɹɟɬɫɹ ɜ ɤɚɦɟɪɟ 5 ɜ
ɩɪɨɰɟɫɫɟ ɤɨɧɞɟɧɫɚɰɢɢ ɪɚɛɨɱɟɝɨ ɩɚɪɚ ɧɚ ɨɯɥɚɠɞɟɧɧɵɯ ɩɨɜɟɪɯɧɨɫɬɹɯ, ɩɨɫɥɟ
ɱɟɝɨ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɵɣ ɝɚɡ ɜɵɯɨɞɢɬ ɢɡ ɧɚɫɨɫɚ ɱɟɪɟɡ ɜɵɯɨɞɧɨɣ ɩɚɬɪɭɛɨɤ, ɚ
ɫɤɨɧɞɟɧɫɢɪɨɜɚɜɲɢɣɫɹ ɩɚɪ ɩɨɫɬɭɩɚɟɬ ɩɨ ɬɪɭɛɨɩɪɨɜɨɞɭ 7 ɜ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤ 8,
ɝɞɟ ɜɧɨɜɶ ɢɫɩɚɪɹɟɬɫɹ ɢ ɩɨ ɩɚɪɨɩɪɨɜɨɞɭ 9 ɩɨɩɚɞɚɟɬ ɜ ɪɚɛɨɱɟɟ ɫɨɩɥɨ 2, ɨɛɟɫ-
ɩɟɱɢɜɚɹ ɧɟɩɪɟɪɵɜɧɨɫɬɶ ɩɪɨɰɟɫɫɚ ɨɬɤɚɱɤɢ.




                   Ɋɢɫ. 4. ɋɯɟɦɚ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɨɣ ɨɬɤɚɱɤɢ

     ȼɡɚɢɦɨɞɟɣɫɬɜɢɟ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɨɝɨ ɝɚɡɚ ɫ ɩɚɪɨɜɨɣ ɫɬɪɭɟɣ ɡɚɜɢɫɢɬ ɨɬ ɫɬɟ-
ɩɟɧɢ ɜɚɤɭɭɦɚ. ɉɪɢ ɧɢɡɤɨɦ ɜɚɤɭɭɦɟ ɦɨɥɟɤɭɥɵ, ɧɚɯɨɞɹɳɢɟɫɹ ɜ ɩɨɝɪɚɧɢɱɧɨɦ
ɫ ɩɚɪɨɜɨɣ ɫɬɪɭɟɣ ɫɥɨɟ, ɡɚ ɫɱɟɬ ɜɧɭɬɪɟɧɧɟɝɨ ɬɪɟɧɢɹ ɭɜɥɟɤɚɸɬ ɞɪɭɝɢɟ ɫɥɨɢ
ɝɚɡɚ. Ɍɚɤɢɟ ɧɚɫɨɫɵ ɧɚɡɵɜɚɸɬ ɷɠɟɤɬɨɪɧɵɦɢ.
     ȼ ɨɛɥɚɫɬɢ ɜɵɫɨɤɨɝɨ ɜɚɤɭɭɦɚ ɜɫɟ ɦɨɥɟɤɭɥɵ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɨɝɨ ɝɚɡɚ, ɩɟɪɟ-
ɦɟɳɚɹɫɶ ɡɚ ɫɱɟɬ ɫɚɦɨɞɢɮɮɭɡɢɢ, ɧɟɩɨɫɪɟɞɫɬɜɟɧɧɨ ɜɡɚɢɦɨɞɟɣɫɬɜɭɸɬ ɫ ɞɜɢ-
ɠɭɳɟɣɫɹ ɫɬɪɭɟɣ ɩɚɪɚ, ɚ ɧɚɫɨɫɵ, ɪɚɛɨɬɚɸɳɢɟ ɜ ɬɚɤɢɯ ɭɫɥɨɜɢɹɯ, ɧɚɡɵɜɚɸɬ
ɞɢɮɮɭɡɢɨɧɧɵɦɢ.
     ɉɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ ɧɟ ɦɨɝɭɬ ɪɚɛɨɬɚɬɶ ɫɚɦɨɫɬɨɹɬɟɥɶɧɨ, ɚ ɜɫɟɝɞɚ ɫɨ-
ɫɬɚɜɥɹɸɬ ɟɞɢɧɵɣ ɚɝɪɟɝɚɬ ɫ ɧɚɫɨɫɨɦ ɩɪɟɞɜɚɪɢɬɟɥɶɧɨɝɨ ɪɚɡɪɟɠɟɧɢɹ. ȼ ɤɚɱɟ-
ɫɬɜɟ ɩɨɫɥɟɞɧɟɝɨ ɱɚɳɟ ɜɫɟɝɨ ɢɫɩɨɥɶɡɭɸɬ ɦɟɯɚɧɢɱɟɫɤɢɟ ɧɚɫɨɫɵ ɫ ɦɚɫɥɹɧɵɦ
ɭɩɥɨɬɧɟɧɢɟɦ.
     Ɋɚɫɫɦɨɬɪɢɦ ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢɢ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ. ɋɯɟɦɚ ɷɠɟɤɬɨɪɧɨɝɨ
ɧɚɫɨɫɚ ɩɨɤɚɡɚɧɚ ɧɚ ɪɢɫ. 5. ɇɚɫɨɫ ɫɨɫɬɨɢɬ ɢɡ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɚ 1, ɫɜɟɪɯɡɜɭɤɨɜɨ-
ɝɨ ɷɠɟɤɬɨɪɧɨɝɨ ɫɨɩɥɚ Ʌɚɜɚɥɹ 2, ɤɚɦɟɪɵ ɫɦɟɲɟɧɢɹ 5, ɜɩɭɫɤɧɨɝɨ ɢ ɜɵɩɭɫɤ-
ɧɨɝɨ ɮɥɚɧɰɟɜ 3 ɢ 4. Ʉɚɦɟɪɚ ɫɦɟɲɟɧɢɹ ɬɟɩɥɨɢɡɨɥɢɪɨɜɚɧɚ ɨɬ ɤɨɪɩɭɫɚ ɧɚɫɨɫɚ.
ɇɚ ɜɵɩɭɫɤɧɨɦ ɩɚɬɪɭɛɤɟ ɢɦɟɟɬɫɹ ɯɨɥɨɞɢɥɶɧɢɤ 6, ɨɯɥɚɠɞɚɟɦɵɣ ɩɪɨɬɨɱɧɨɣ
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