Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 10 стр.

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ВГУ | Воронеж

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Ɋɢɫ. 6. ɉɪɢɧɰɢɩɢɚɥɶɧɚɹ ɫɯɟɦɚ
ɞɢɮɮɭɡɢɨɧɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ
ɗɮɮɟɤɬɢɜɧɨɫɬɶ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɞɢɮɮɭɡɢɨɧɧɨɝɨ ɫɨɩɥɚ ɨɩɪɟɞɟɥɹɟɬɫɹ ɫɤɨɪɨ-
ɫɬɶɸ ɞɜɢɠɟɧɢɹ ɫɬɪɭɢ ɩɚɪɚ, ɟɟ ɧɚɩɪɚɜɥɟɧɧɨɫɬɶɸ ɨɬɧɨɫɢɬɟɥɶɧɨ ɨɯɥɚɠɞɟɧ-
ɧɨɣ ɫɬɟɧɤɢ, ɩɥɨɳɚɞɶɸ ɦɢɧɢɦɚɥɶɧɨɝɨ ɫɟɱɟɧɢɹ ɤɨɥɶɰɟɜɨɝɨ ɡɚɡɨɪɚ ɦɟɠɞɭ
ɫɬɟɧɤɨɣ ɧɚɫɨɫɚ ɢ ɫɨɩɥɨɦ, ɚ ɬɚɤɠɟ ɩɨɥɧɨɬɨɣ ɤɨɧɞɟɧɫɚɰɢɢ ɩɚɪɚ ɧɚ ɨɯɥɚɠ-
ɞɟɧɧɨɣ ɫɬɟɧɤɟ.
Ⱦɢɮɮɭɡɢɨɧɧɵɟ ɫɨɩɥɚ ɦɨɝɭɬ ɨɛɟɫɩɟɱɢɬɶ ɩɨɥɭɱɟɧɢɟ ɜɚɤɭɭɦɚ ɞɨ 10
-5
ɉɚ
ɢ ɜɵɲɟ ɩɪɢ ɛɵɫɬɪɨɬɟ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɞɨ 10 ɦ
3
/ɫ, ɧɨ ɧɭɠɞɚɸɬɫɹ ɜ ɬɳɚɬɟɥɶɧɨɦ
ɩɪɟɞɜɚɪɢɬɟɥɶɧɨɦ ɪɚɡɪɟɠɟɧɢɢ. ɉɨɷɬɨɦɭ ɫɨɜɪɟɦɟɧɧɵɟ ɜɵɫɨɤɨɜɚɤɭɭɦɧɵɟ
ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ ɞɟɥɚɸɬ ɦɧɨɝɨɫɬɭɩɟɧɱɚɬɵɦɢ. ȼ ɡɚɜɢɫɢɦɨɫɬɢ ɨɬ ɧɚɡ-
ɧɚɱɟɧɢɹ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɜ ɧɢɯ ɦɨɝɭɬ ɛɵɬɶ ɩɪɢɦɟɧɟɧɵ ɞɢɮɮɭɡɢɨɧ-
ɧɵɟ ɢɥɢ ɷɠɟɤɬɨɪɧɵɟ, ɚ ɜ ɧɟɤɨɬɨɪɵɯ ɫɥɭɱɚɹɯ ɨɞɧɨɜɪɟɦɟɧɧɨ ɢ ɬɟ ɢ ɞɪɭɝɢɟ
ɫɨɩɥɚ.
ɇɚ ɪɢɫ. 7 ɩɨɤɚɡɚɧɚ ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢɹ ɦɧɨɝɨɫɬɭɩɟɧɱɚɬɨɝɨ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɨɝɨ
ɧɚɫɨɫɚ, ɜ ɤɨɬɨɪɨɦ ɢɫɩɨɥɶɡɨɜɚɧɵ ɞɜɟ ɞɢɮɮɭɡɢɨɧɧɵɟ 1 ɢ 2 ɢ ɷɠɟɤɬɨɪɧɚɹ
4 ɫɬɭɩɟɧɢ ɨɬɤɚɱɤɢ, ɩɢɬɚɸɳɢɟɫɹ ɨɬ ɨɞɧɨɝɨ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɚ 5. Ʉɨɪɩɭɫ ɧɚɫɨɫɚ
3 ɨɯɥɚɠɞɚɟɬɫɹ ɜɨɞɨɣ.
Ʉ ɪɚɛɨɱɢɦ ɠɢɞɤɨɫɬɹɦ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɩɪɟɞɴɹɜɥɹɸɬɫɹ ɫɥɟɞɭɸ-
ɳɢɟ ɬɪɟɛɨɜɚɧɢɹ: 1) ɦɢɧɢɦɚɥɶɧɚɹ ɭɩɪɭɝɨɫɬɶ ɩɚɪɨɜ ɩɪɢ ɤɨɦɧɚɬɧɨɣ ɬɟɦɩɟɪɚ-
ɬɭɪɟ ɢ ɦɚɤɫɢɦɚɥɶɧɚɹ ɩɪɢ ɪɚɛɨɱɟɣ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɟ ɜ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɟ; 2) ɫɬɨɣ-
ɤɨɫɬɶ ɤ ɪɚɡɥɨɠɟɧɢɸ ɩɪɢ ɧɚɝɪɟɜɚɧɢɢ; 3) ɦɢɧɢɦɚɥɶɧɚɹ ɫɩɨɫɨɛɧɨɫɬɶ ɪɚɫɬɜɨ-
ɪɹɬɶ ɝɚɡɵ; 4) ɯɢɦɢɱɟɫɤɚɹ ɫɬɨɣɤɨɫɬɶ ɩɨ ɨɬɧɨɲɟɧɢɸ ɤ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɵɦ ɝɚɡɚɦ ɢ
ɩɨ ɨɬɧɨɲɟɧɢɸ ɤ ɦɚɬɟɪɢɚɥɚɦ ɧɚɫɨɫɚ; 5) ɦɚɥɚɹ ɬɟɩɥɨɬɚ ɩɚɪɨɨɛɪɚɡɨɜɚɧɢɹ.
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                                        Ɋɢɫ. 6. ɉɪɢɧɰɢɩɢɚɥɶɧɚɹ ɫɯɟɦɚ
                                           ɞɢɮɮɭɡɢɨɧɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ




     ɗɮɮɟɤɬɢɜɧɨɫɬɶ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɞɢɮɮɭɡɢɨɧɧɨɝɨ ɫɨɩɥɚ ɨɩɪɟɞɟɥɹɟɬɫɹ ɫɤɨɪɨ-
ɫɬɶɸ ɞɜɢɠɟɧɢɹ ɫɬɪɭɢ ɩɚɪɚ, ɟɟ ɧɚɩɪɚɜɥɟɧɧɨɫɬɶɸ ɨɬɧɨɫɢɬɟɥɶɧɨ ɨɯɥɚɠɞɟɧ-
ɧɨɣ ɫɬɟɧɤɢ, ɩɥɨɳɚɞɶɸ ɦɢɧɢɦɚɥɶɧɨɝɨ ɫɟɱɟɧɢɹ ɤɨɥɶɰɟɜɨɝɨ ɡɚɡɨɪɚ ɦɟɠɞɭ
ɫɬɟɧɤɨɣ ɧɚɫɨɫɚ ɢ ɫɨɩɥɨɦ, ɚ ɬɚɤɠɟ ɩɨɥɧɨɬɨɣ ɤɨɧɞɟɧɫɚɰɢɢ ɩɚɪɚ ɧɚ ɨɯɥɚɠ-
ɞɟɧɧɨɣ ɫɬɟɧɤɟ.
     Ⱦɢɮɮɭɡɢɨɧɧɵɟ ɫɨɩɥɚ ɦɨɝɭɬ ɨɛɟɫɩɟɱɢɬɶ ɩɨɥɭɱɟɧɢɟ ɜɚɤɭɭɦɚ ɞɨ 10-5 ɉɚ
ɢ ɜɵɲɟ ɩɪɢ ɛɵɫɬɪɨɬɟ ɞɟɣɫɬɜɢɹ ɞɨ 10 ɦ3/ɫ, ɧɨ ɧɭɠɞɚɸɬɫɹ ɜ ɬɳɚɬɟɥɶɧɨɦ
ɩɪɟɞɜɚɪɢɬɟɥɶɧɨɦ ɪɚɡɪɟɠɟɧɢɢ. ɉɨɷɬɨɦɭ ɫɨɜɪɟɦɟɧɧɵɟ ɜɵɫɨɤɨɜɚɤɭɭɦɧɵɟ
ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɟ ɧɚɫɨɫɵ ɞɟɥɚɸɬ ɦɧɨɝɨɫɬɭɩɟɧɱɚɬɵɦɢ. ȼ ɡɚɜɢɫɢɦɨɫɬɢ ɨɬ ɧɚɡ-
ɧɚɱɟɧɢɹ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɜ ɧɢɯ ɦɨɝɭɬ ɛɵɬɶ ɩɪɢɦɟɧɟɧɵ ɞɢɮɮɭɡɢɨɧ-
ɧɵɟ ɢɥɢ ɷɠɟɤɬɨɪɧɵɟ, ɚ ɜ ɧɟɤɨɬɨɪɵɯ ɫɥɭɱɚɹɯ ɨɞɧɨɜɪɟɦɟɧɧɨ ɢ ɬɟ ɢ ɞɪɭɝɢɟ
ɫɨɩɥɚ.
     ɇɚ ɪɢɫ. 7 ɩɨɤɚɡɚɧɚ ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢɹ ɦɧɨɝɨɫɬɭɩɟɧɱɚɬɨɝɨ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɨɝɨ
ɧɚɫɨɫɚ, ɜ ɤɨɬɨɪɨɦ ɢɫɩɨɥɶɡɨɜɚɧɵ ɞɜɟ ɞɢɮɮɭɡɢɨɧɧɵɟ 1 ɢ 2 ɢ ɷɠɟɤɬɨɪɧɚɹ
4 ɫɬɭɩɟɧɢ ɨɬɤɚɱɤɢ, ɩɢɬɚɸɳɢɟɫɹ ɨɬ ɨɞɧɨɝɨ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɚ 5. Ʉɨɪɩɭɫ ɧɚɫɨɫɚ
3 ɨɯɥɚɠɞɚɟɬɫɹ ɜɨɞɨɣ.
     Ʉ ɪɚɛɨɱɢɦ ɠɢɞɤɨɫɬɹɦ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɩɪɟɞɴɹɜɥɹɸɬɫɹ ɫɥɟɞɭɸ-
ɳɢɟ ɬɪɟɛɨɜɚɧɢɹ: 1) ɦɢɧɢɦɚɥɶɧɚɹ ɭɩɪɭɝɨɫɬɶ ɩɚɪɨɜ ɩɪɢ ɤɨɦɧɚɬɧɨɣ ɬɟɦɩɟɪɚ-
ɬɭɪɟ ɢ ɦɚɤɫɢɦɚɥɶɧɚɹ ɩɪɢ ɪɚɛɨɱɟɣ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɟ ɜ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɟ; 2) ɫɬɨɣ-
ɤɨɫɬɶ ɤ ɪɚɡɥɨɠɟɧɢɸ ɩɪɢ ɧɚɝɪɟɜɚɧɢɢ; 3) ɦɢɧɢɦɚɥɶɧɚɹ ɫɩɨɫɨɛɧɨɫɬɶ ɪɚɫɬɜɨ-
ɪɹɬɶ ɝɚɡɵ; 4) ɯɢɦɢɱɟɫɤɚɹ ɫɬɨɣɤɨɫɬɶ ɩɨ ɨɬɧɨɲɟɧɢɸ ɤ ɨɬɤɚɱɢɜɚɟɦɵɦ ɝɚɡɚɦ ɢ
ɩɨ ɨɬɧɨɲɟɧɢɸ ɤ ɦɚɬɟɪɢɚɥɚɦ ɧɚɫɨɫɚ; 5) ɦɚɥɚɹ ɬɟɩɥɨɬɚ ɩɚɪɨɨɛɪɚɡɨɜɚɧɢɹ.




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