Методы получения высокого и сверхвысокого вакуума. Дикарев Ю.И - 11 стр.

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ВГУ | Воронеж

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Ɇɢɧɢɦɚɥɶɧɚɹ ɭɩɪɭɝɨɫɬɶ ɩɚɪɨɜ ɩɪɢ ɤɨɦɧɚɬɧɨɣ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɟ ɬɪɟɛɭɟɬɫɹ
ɞɥɹ ɩɨɥɭɱɟɧɢɹ ɧɚɢɦɟɧɶɲɟɝɨ ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɝɨ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɧɚɫɨɫɚ. Ɇɚɤɫɢɦɚɥɶɧɨɟ
ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɩɚɪɨɜ ɩɪɢ ɪɚɛɨɱɟɣ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɟ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɚ ɭɜɟɥɢɱɢɜɚɟɬ ɜɵɩɭ-
ɫɤɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɧɚɫɨɫɚ ɢ ɭɦɟɧɶɲɚɟɬ ɬɪɟɛɭɟɦɭɸ ɦɨɳɧɨɫɬɶ ɩɨɞɨɝɪɟɜɚɬɟɥɹ.
ɋɬɨɣɤɨɫɬɶ ɤ ɪɚɡɥɨɠɟɧɢɸ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɩɪɢ ɧɚɝɪɟɜɚɧɢɢ ɜɥɢɹɟɬ ɧɚ
ɫɪɨɤ ɫɥɭɠɛɵ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɢ ɦɚɤɫɢɦɚɥɶɧɨɟ ɜɵɩɭɫɤɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ.
Ɋɚɫɬɜɨɪɢɦɨɫɬɶ ɝɚɡɨɜ ɜ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɩɪɢɜɨɞɢɬ ɤ ɭɜɟɥɢɱɟɧɢɸ ɨɛɪɚɬ-
ɧɨɝɨ ɩɨɬɨɤɚ ɝɚɡɨɜ ɱɟɪɟɡ ɫɨɩɥɨ ɜɦɟɫɬɟ ɫ ɩɚɪɨɜɨɣ ɫɬɪɭɟɣ. ɏɢɦɢɱɟɫɤɚɹ ɫɬɨɣ-
ɤɨɫɬɶ ɨɩɪɟɞɟɥɹɟɬ ɫɪɨɤ ɫɥɭɠɛɵ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɢ ɨɝɪɚɧɢɱɢɜɚɟɬ ɜɵɛɨɪ
ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢɨɧɧɵɯ ɦɚɬɟɪɢɚɥɨɜ ɧɚɫɨɫɨɜ. ɉɪɢ ɦɚɥɨɣ ɬɟɩɥɨɬɟ ɩɚɪɨɨɛɪɚ-
ɡɨɜɚɧɢɹ ɬɪɟɛɭɟɬɫɹ ɦɟɧɶɲɚɹ ɦɨɳɧɨɫɬɶ ɩɨɞɨɝɪɟɜɚɬɟɥɹ ɧɚɫɨɫɚ.
Ɋɢɫ. 7. ɋɯɟɦɚ ɦɧɨɝɨɫɬɭɩɟɧɱɚɬɨɝɨ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ
ȼ ɤɚɱɟɫɬɜɟ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɩɪɢɦɟɧɹɟɬɫɹ
ɪɬɭɬɶ, ɦɢɧɟɪɚɥɶɧɵɟ ɦɚɫɥɚ, ɫɥɨɠɧɵɟ ɷɮɢɪɵ ɨɪɝɚɧɢɱɟɫɤɢɯ ɫɩɢɪɬɨɜ ɢ ɤɢ-
ɫɥɨɬ, ɤɪɟɦɧɢɣɨɪɝɚɧɢɱɟɫɤɢɟ ɫɨɟɞɢɧɟɧɢɹ.
Ɋɬɭɬɶ (Ɋ-1, Ɋ-2), ɤɚɤ ɪɚɛɨɱɚɹ ɠɢɞɤɨɫɬɶ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ, ɢɦɟɟɬ
ɫɥɟɞɭɸɳɢɟ ɞɨɫɬɨɢɧɫɬɜɚ: ɧɟ ɨɤɢɫɥɹɟɬɫɹ ɜɨɡɞɭɯɨɦ, ɨɞɧɨɪɨɞɧɚ ɩɨ ɫɨɫɬɚɜɭ ɢ
ɧɟ ɪɚɡɥɚɝɚɟɬɫɹ ɩɪɢ ɪɚɛɨɱɢɯ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɚɯ ɧɚɫɨɫɚ, ɪɚɫɬɜɨɪɹɟɬ ɦɚɥɨɟ ɤɨɥɢ-
ɱɟɫɬɜɨ ɝɚɡɨɜ ɢ ɢɦɟɟɬ ɜɵɫɨɤɭɸ ɭɩɪɭɝɨɫɬɶ ɩɚɪɚ ɩɪɢ ɪɚɛɨɱɟɣ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɟ ɜ
ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɟ. ɇɟɞɨɫɬɚɬɤɢ ɪɬɭɬɢ: ɬɨɤɫɢɱɧɨɫɬɶ, ɯɢɦɢɱɟɫɤɚɹ ɚɤɬɢɜɧɨɫɬɶ ɩɨ
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    Ɇɢɧɢɦɚɥɶɧɚɹ ɭɩɪɭɝɨɫɬɶ ɩɚɪɨɜ ɩɪɢ ɤɨɦɧɚɬɧɨɣ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɟ ɬɪɟɛɭɟɬɫɹ
ɞɥɹ ɩɨɥɭɱɟɧɢɹ ɧɚɢɦɟɧɶɲɟɝɨ ɩɪɟɞɟɥɶɧɨɝɨ ɞɚɜɥɟɧɢɹ ɧɚɫɨɫɚ. Ɇɚɤɫɢɦɚɥɶɧɨɟ
ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɩɚɪɨɜ ɩɪɢ ɪɚɛɨɱɟɣ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɟ ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɚ ɭɜɟɥɢɱɢɜɚɟɬ ɜɵɩɭ-
ɫɤɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ ɧɚɫɨɫɚ ɢ ɭɦɟɧɶɲɚɟɬ ɬɪɟɛɭɟɦɭɸ ɦɨɳɧɨɫɬɶ ɩɨɞɨɝɪɟɜɚɬɟɥɹ.
ɋɬɨɣɤɨɫɬɶ ɤ ɪɚɡɥɨɠɟɧɢɸ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɩɪɢ ɧɚɝɪɟɜɚɧɢɢ ɜɥɢɹɟɬ ɧɚ
ɫɪɨɤ ɫɥɭɠɛɵ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɢ ɦɚɤɫɢɦɚɥɶɧɨɟ ɜɵɩɭɫɤɧɨɟ ɞɚɜɥɟɧɢɟ.
Ɋɚɫɬɜɨɪɢɦɨɫɬɶ ɝɚɡɨɜ ɜ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɩɪɢɜɨɞɢɬ ɤ ɭɜɟɥɢɱɟɧɢɸ ɨɛɪɚɬ-
ɧɨɝɨ ɩɨɬɨɤɚ ɝɚɡɨɜ ɱɟɪɟɡ ɫɨɩɥɨ ɜɦɟɫɬɟ ɫ ɩɚɪɨɜɨɣ ɫɬɪɭɟɣ. ɏɢɦɢɱɟɫɤɚɹ ɫɬɨɣ-
ɤɨɫɬɶ ɨɩɪɟɞɟɥɹɟɬ ɫɪɨɤ ɫɥɭɠɛɵ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɢ ɨɝɪɚɧɢɱɢɜɚɟɬ ɜɵɛɨɪ
ɤɨɧɫɬɪɭɤɰɢɨɧɧɵɯ ɦɚɬɟɪɢɚɥɨɜ ɧɚɫɨɫɨɜ. ɉɪɢ ɦɚɥɨɣ ɬɟɩɥɨɬɟ ɩɚɪɨɨɛɪɚ-
ɡɨɜɚɧɢɹ ɬɪɟɛɭɟɬɫɹ ɦɟɧɶɲɚɹ ɦɨɳɧɨɫɬɶ ɩɨɞɨɝɪɟɜɚɬɟɥɹ ɧɚɫɨɫɚ.




          Ɋɢɫ. 7. ɋɯɟɦɚ ɦɧɨɝɨɫɬɭɩɟɧɱɚɬɨɝɨ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɨɝɨ ɧɚɫɨɫɚ

     ȼ ɤɚɱɟɫɬɜɟ ɪɚɛɨɱɟɣ ɠɢɞɤɨɫɬɢ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ ɩɪɢɦɟɧɹɟɬɫɹ
ɪɬɭɬɶ, ɦɢɧɟɪɚɥɶɧɵɟ ɦɚɫɥɚ, ɫɥɨɠɧɵɟ ɷɮɢɪɵ ɨɪɝɚɧɢɱɟɫɤɢɯ ɫɩɢɪɬɨɜ ɢ ɤɢ-
ɫɥɨɬ, ɤɪɟɦɧɢɣɨɪɝɚɧɢɱɟɫɤɢɟ ɫɨɟɞɢɧɟɧɢɹ.
     Ɋɬɭɬɶ (Ɋ-1, Ɋ-2), ɤɚɤ ɪɚɛɨɱɚɹ ɠɢɞɤɨɫɬɶ ɩɚɪɨɫɬɪɭɣɧɵɯ ɧɚɫɨɫɨɜ, ɢɦɟɟɬ
ɫɥɟɞɭɸɳɢɟ ɞɨɫɬɨɢɧɫɬɜɚ: ɧɟ ɨɤɢɫɥɹɟɬɫɹ ɜɨɡɞɭɯɨɦ, ɨɞɧɨɪɨɞɧɚ ɩɨ ɫɨɫɬɚɜɭ ɢ
ɧɟ ɪɚɡɥɚɝɚɟɬɫɹ ɩɪɢ ɪɚɛɨɱɢɯ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɚɯ ɧɚɫɨɫɚ, ɪɚɫɬɜɨɪɹɟɬ ɦɚɥɨɟ ɤɨɥɢ-
ɱɟɫɬɜɨ ɝɚɡɨɜ ɢ ɢɦɟɟɬ ɜɵɫɨɤɭɸ ɭɩɪɭɝɨɫɬɶ ɩɚɪɚ ɩɪɢ ɪɚɛɨɱɟɣ ɬɟɦɩɟɪɚɬɭɪɟ ɜ
ɤɢɩɹɬɢɥɶɧɢɤɟ. ɇɟɞɨɫɬɚɬɤɢ ɪɬɭɬɢ: ɬɨɤɫɢɱɧɨɫɬɶ, ɯɢɦɢɱɟɫɤɚɹ ɚɤɬɢɜɧɨɫɬɶ ɩɨ
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